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1. 发明申请

WO2011147906A1 VERFAHREN FÜR DIE HERSTELLUNG EINES QUARZGLASTIEGELS MIT TRANSPARENTER INNENSCHICHT AUS SYNTHETISCH ERZEUGTEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃坩埚用合成石英玻璃制成的透明内层生产
公开(公告)号：WO2011147906A1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/EP2011/058624
申请日：2011-05-26
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
发明人： LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
IPC分类号： C03B19/09 , C03B19/14 , C03C17/02
CPC分类号： C03B19/1492 , C03C17/004 , C03C17/02 , C03C21/003 , C03C23/0025 , C03C2217/213 , C03C2218/1525
摘要： Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Quarzglastiegels mit einer Innenschicht aus transparentem, blasenarmem und reinem Quarzglas mit langer Standzeit anzugeben. Diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch ein Verfahren gelöst, das folgende Verfahrensschritte umfasst: (a) Bereitstellen eines eine Innenseite aufweisenden Tiegelbasiskörpers aus Quarzglas, (b) Erzeugen einer porösen SiO 2 -Sootschicht auf mindestens einer Teilfläche der Innenseite des Tiegelbasiskörpers durch Gasphasenabscheidung, Trocknen der porösen SiO 2 -Sootschicht zur Reduzierung des Hydroxylgruppengehalts und Sintern der Sootschicht zu der Innenschicht aus transparentem Quarzglas in einer wasserstoffarmen Atmosphäre, so dass sich in dem Quarzglas der Innenschicht ein Hydroxylgruppengehalt von weniger als 100 Gew.-ppm einstellt.
摘要翻译：本发明的基本目的是提供一种具有透明石英玻璃blasenarmem的内层和纯具有使用寿命长制造石英玻璃坩埚的方法。根据本发明通过包括以下步骤的方法解决了这个问题：（a）提供具有石英玻璃坩埚基体上的内侧，（b）关于坩埚基体的通过气相沉积在内部的至少一个部分区域产生多孔的SiO 2烟灰层，干燥多孔二氧化硅烟灰层，以减少羟基和烧结煤烟层，以透明石英玻璃的内侧层中的贫氢气氛中，使得在内层的石英玻璃小于100重量ppm的羟基含量。

2. 发明申请

WO2011147866A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON QUARZGLASKÖRNUNG 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃砂
公开(公告)号：WO2011147866A1
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：PCT/EP2011/058547
申请日：2011-05-25
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
发明人： LEHMANN, Walter , KAYSER, Thomas , TROMMER, Martin , NASAROW, Christian
IPC分类号： C03B19/10
CPC分类号： C03B19/1095
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung von Quarzglaskörnung durch Sintern einer Schüttung eines rieselfähigen SiO 2 -Granulats aus porösen Granulatteilchen wird diese erhitzt und unter Bildung von Quarzglasteilchen verglast. Um ausgehend von porösem SiO 2 -Granulat eine kontinuierliche und preisgünstige Herstellung transparenter synthetischer Quarzglaskörnung mit geringem Hydroxylgruppengehalt zu ermöglichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Verglasen der porösen Granulatteilchen unter Vakuum oder in einer Helium enthaltenden Atmosphäre mittels mindestens eines Laserstrahls erfolgt, indem die Granulat-Schüttung auf einem Träger erzeugt und mittels oder auf diesem beim Verglasen relativ zum Laserstrahl kontinuierlich bewegt wird, wobei die Granulatteilchen eine mittlere Korngröße zwischen 200 und 1000 μm aufweisen und der Laserstrahl in streifendem Einfall auf die Granulat-Schüttung gerichtet ist.
摘要翻译：在用于通过烧结的多孔的SiO 2颗粒的自由流动的颗粒床制备二氧化硅颗粒的公知的方法将其加热并玻璃化，形成熔凝硅石。为了使多孔的SiO 2颗粒的起始具有连续和成本效益的生产具有低羟基含量透明合成二氧化硅颗粒的，本发明提出通过使用粒状的床，在真空下或在含氦的气氛的多孔颗粒的玻璃化是通过至少一个激光束的装置来实现产生在载体上和通过的或在该装置相对于所述激光束，其中，所述颗粒具有200至1000微米和在掠入射的激光束之间的平均颗粒尺寸被引导到颗粒床玻璃化过程中连续移动。

3. 发明申请

WO2011054574A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES QUARZGLASZYLINDERS SOWIE TRÄGER ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS 审中-公开
标题翻译：用于生产石英玻璃圆柱体和运营商用于执行该方法
公开(公告)号：WO2011054574A1
公开(公告)日：2011-05-12
申请号：PCT/EP2010/063438
申请日：2010-09-14
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SCHUSTER, Anke , SOWA, Rene , TROMMER, Martin , PEPER, Udo
发明人： SCHUSTER, Anke , SOWA, Rene , TROMMER, Martin , PEPER, Udo
IPC分类号： C03B19/14 , C03B37/014
CPC分类号： C03B19/1492 , C03B37/01493 , Y10T428/22 , Y10T428/2918
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung eines Quarzglaszylinders wird durch Abscheiden von SiO 2 -Partikeln auf einer Zylindermantelfläche eines um seine Längsachse rotierenden Trägers, der eine Schicht aus Siliciumcarbid (SiC-Schicht) aufweist, ein poröses Sootrohr hergestellt, das zu dem Quarzglaszylinder gesintert wird. Um hiervon ausgehend einen Träger mit hoher Bruchfestigkeit anzugeben, der sich einerseits leicht entfernen lässt und von dem andererseits eine geringe Kontaminationsgefahr für den Sootkörper ausgeht, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass die SiC-Schicht vor dem Abscheiden der SiO 2 -Partikel bei hoher Temperatur in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre behandelt wird, derart, dass durch Oxidation eine SiO 2 -Schutzschicht mit einer Dicke von mindestens 0,1 μm erzeugt wird.
摘要翻译：在用于制造石英玻璃圆柱体公知的方法，多孔烟炱管是通过在绕具有碳化硅（SiC）层，其被烧结到石英玻璃圆柱体的层其纵向支撑件的气缸表面上沉积SiO 2个颗粒形成。以指示与高压碎强度从该开始，其可以在一方面和另一方面容易地除去载体，所述烟灰体前进的污染的风险较低，本发明提出的SiO 2个颗粒在高温下的沉积之前在SiC层的含氧具有的厚度至少为0.1微米的在SiO 2保护层是由氧化产生的气氛被处理这样。

4. 发明申请

WO2009106134A1 METHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL COMPONENT OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：用于生产QUARTZ玻璃的光学部件的方法
公开(公告)号：WO2009106134A1
公开(公告)日：2009-09-03
申请号：PCT/EP2008/052370
申请日：2008-02-27
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , ZWARG, Steffen , KUEHN, BODO
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , ZWARG, Steffen , KUEHN, BODO
IPC分类号： C03B19/14 , C03C3/06
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1453 , C03B2201/21 , C03B2201/23 , C03C4/0085 , C03C2201/23 , C03C2201/24 , Y02P40/57
摘要： To provide a method for the reproducible and reliable production of synthetic, UV- radiation resistant quartz glass which has a predetermined hydroxyl group content and containshardly any chlorine and oxygen defect centers, if possible, the present invention suggests a method which comprises the following steps: (a) producing an SiO 2 soot body, (b) drying the soot body such that a mean hydroxyl group content of less than 60 wtppm is obtained, and (c) vitrifying the soot body with formation of a cylindrical quartz glass blank which is further processed into the optical component, wherein prior to vitrification according to method step (c) the soot body is subjected to a conditioning treatment which comprises a treatment with a nitrogen containing gas, preferably a nitrogen oxide,or a sequence of treatments with ammonia and an oxidizing agent.
摘要翻译：为了提供一种可重复且可靠地生产具有预定羟基含量并且包含任何氯和氧缺陷中心的合成耐紫外线辐射石英玻璃的方法，如果可能，本发明提出了一种方法，包括以下步骤：（a）生产SiO2烟灰体，（b）干燥烟灰体，使得得到小于60重量ppm的平均羟基含量，和（c）使形成圆柱形石英玻璃坯料的烟灰体玻璃化，其进一步加工成光学部件，其中根据方法步骤（c）在玻璃化之前，对烟灰体进行调理处理，其包括用含氮气体，优选氮氧化物的处理，或用氨和氧化剂。

5. 发明申请

WO2010052163A1 VERFAHREN UND ZYLINDERFÖRMIGES HALBZEUG ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：方法和圆柱半成品用于生产光学元件
公开(公告)号：WO2010052163A1
公开(公告)日：2010-05-14
申请号：PCT/EP2009/064269
申请日：2009-10-29
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , KRAUSE, Thomas , TROMMER, Martin
发明人： KRAUSE, Thomas , TROMMER, Martin
IPC分类号： C03B37/014
CPC分类号： C03B37/01446 , C03B2201/12 , Y10T428/1317 , Y10T428/2964
摘要： Bei einem bekannten Verfahren für die Herstellung eines maßhaltigen Halbzeugs zum Einsatz bei der Faserherstellung aus synthetischem Quarzglas wird auf der Außenwandung eines Quarzglas-Innenzylinders eine SiO 2 -Sootschicht aufgebracht und diese einer Sinterbehandlung unterzogen, bei der eine Sinterzone von außen nach innen durch die SiO 2 -Sootschicht wandert. Um hiervon ausgehend einerseits eine maßgenaue und verformungsarme Herstellung und andererseits eine hohe Kosteneffizienz zu erreichen, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, die Sinterbehandlung zu unterbrechen, bevor die Sinterzone die Außenwandung des Innenzylinders erreicht, so dass an der Innenzylinder-Außenwandung eine Zwischenschicht aus Poren enthaltendem, synthetischem Quarzglas verbleibt. Dass so erhaltene Halbzeug wird zu dem optischen Bauteil elongiert, wobei die Zwischenschicht vollständig zu transparentem Quarzglas sintert.
摘要翻译：在用于生产用于合成石英玻璃的纤维制造中使用的尺寸稳定的半成品的一个公知的方法，在SiO 2烟灰层沉积在石英玻璃内筒的外壁上，并将它们进行烧结处理，其中，从所述外部向内部通过在SiO 2烟灰层烧结区移民。为了此基础上实现一方面尺寸精确和低变形制造和在另一方面，较高的成本，本发明提出以中断烧结处理的烧结区到达内筒的外壁上之前，使在含有孔的中间层内筒外壁上，合成石英玻璃仍然存在。半成品由此得到的产物被拉长成光学部件，其中，所述中间层完全烧结到透明的石英玻璃。

6. 发明申请

WO2008055833A1 VERFAHREN UND HALBZEUG ZUR HERSTELLUNG VON OPAKEM QUARZGLAS, SOWIE AUS DEM HALBZEUG HERGESTELLTES BAUTEIL 审中-公开
标题翻译：方法和半成品FOR PRODUCING不透明石英玻璃，并从半成品分量产生
公开(公告)号：WO2008055833A1
公开(公告)日：2008-05-15
申请号：PCT/EP2007/061746
申请日：2007-10-31
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , TROMMER, Martin , LEBER, Helmut
发明人： TROMMER, Martin , LEBER, Helmut
IPC分类号： C03B19/06 , C03C14/00
CPC分类号： C03C14/002 , C03B19/06 , C03B19/066 , C03B20/00 , C03C2214/02 , C03C2214/32
摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung von opakem Quarzglas bekannt, bei denen eine amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltende Suspension erzeugt, daraus ein poröser Grünkörper gebildet, der Grünkörper getrocknet und dieser durch Sintern unter Bildung des opaken Quarzglases verdichtet wird. Um hiervon ausgehend eine reproduzierbare Herstellung von wenig rissanfälligem opakem Quarzglas nach der Schlickermethode zu ermöglichen, und einen Grünkörper (Halbzeug) bereitzustellen, der sich durch eine geringe Rissanfälligkeit auszeichnet, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, ein Grünkörper aus einer SiO 2 -Matrix und darin eingebetteten Filamenten aus Quarzglas gebildet wird. Der nach dem Verfahren erhaltene Grünkörper zeichnet sich dadurch aus, dass in einer durch Formgießen und Trocknen einer amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltenden Suspension erzeugten Matrix Filamente aus Quarzglas eingebettet sind.
摘要翻译：过程用于生产不透明石英玻璃的，其中的无定形的SiO _{2产生含有悬浮颗粒，由多孔生坯，干燥形成已知的，生坯和通过烧结，以形成所述不透明石英玻璃压实。到开始其根据Schlickermethode可再现生产小rissanfälligem不透明石英玻璃构成，坯体（半成品），以提供，其特征在于低的易感性的裂化许可，则根据本发明，生坯从由SiO _{2 提出矩阵和石英玻璃的嵌入其中的长丝形成。通过该方法获得的生坯的特征在于，在通过模制一个含有和干燥的无定形的SiO _{2 颗粒嵌入石英玻璃的悬浮液中产生的矩阵的长丝。}}}

7. 发明申请

WO2006021415A2 BESCHICHTETES BAUTEIL AUS QUARZGLAS SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES BAUTEILS 审中-公开
标题翻译：来自石英玻璃的涂覆组分和生产组分的方法
公开(公告)号：WO2006021415A2
公开(公告)日：2006-03-02
申请号：PCT/EP2005/009073
申请日：2005-08-23
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , KIRST, Ulrich , STANG, Wolfgang , WEBER, Jürgen , WERDECKER, Waltraud , TROMMER, Martin , BECKER, Jörg
发明人： KIRST, Ulrich , STANG, Wolfgang , WEBER, Jürgen , WERDECKER, Waltraud , TROMMER, Martin , BECKER, Jörg
IPC分类号： C03C17/02 , C03C17/25 , C03B19/02
CPC分类号： C03C17/25 , C03B19/066 , C03C17/02 , C03C2217/213 , Y10T428/26
摘要： Es sind Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Bauteils aus Quarzglas bekannt, bei denen die Bauteil-Oberfläche mindestens teilweise mit einer SiO 2 -Glasmasse versehen wird, die sich vom Quarzglas des Basiskörpers unterscheidet. Um hiervon ausgehend eine neue Art der Beschichtung eines Quarzglas-Bauteils mit einer SiO 2 -Glasmasse anzugeben, die kostengünstig und reproduzierbar und in beliebiger Stärke hergestellt werden kann, und die je nach ihrer konkreten Ausgestaltung unterschiedliche Funktionen erfüllen kann, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass ein amorphe SiO 2 -Teilchen enthaltender Schlicker erzeugt und auf der Oberfläche des Basiskörpers unter Bildung einer Schlicker-Schicht aufgebracht wird, die Schlicker-Schicht getrocknet und anschließend unter Bildung der SiO 2 -Glasmasse verglast wird. Die so beschichteten Quarzglas-Bauteil sind insbesondere in der Halbleiterfertigung vorteilhaft einsetzbar.
摘要翻译：
有已知的用于制造石英玻璃的涂覆部件的方法是已知的，其中在构件表面BEAR表面至少部分地涂覆有二氧化硅<子> 2 提供-Glasmasse从石英玻璃延伸的基体。至<子> 2 指定它们，开始一个新的类型涂覆具有的SiO -Glasmasse，成本导航使用廉价的瑞士和可再现地和在石英玻璃部件的任何圣＆AUML;可以制备强度，并根据其特定的设计根据本发明可以执行不同的功能。建议形成含有无定形SiO 2颗粒的浆料并将其涂覆到基体的表面上以形成浆料层，将浆料层干燥，然后得到浆料 SiO 2玻璃块被玻璃化。以这种方式涂覆的石英玻璃部件可以特别有利地用于半导体生产。

8. 发明申请

WO2004065314A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产合成石英玻璃
公开(公告)号：WO2004065314A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/EP2004/000442
申请日：2004-01-21
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , SCHÄFER, Jürgen , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , BAUSCHER, Heinz
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , SCHÄFER, Jürgen , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , BAUSCHER, Heinz
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1415 , C03B2207/30 , C03B2207/32 , C03B2207/34
摘要： Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas umfasst die Verfahrensschritte: Bilden eines Gasstromes mit einer verdampfbare Ausgangssubstanz, die durch Oxidation oder durch Flammenhydrolyse zu SiO 2 umgesetzt werden kann, Zuführen des Gasstromes in eine Reaktionszone, in der die Ausgangssubstanz unter Bildung amorpher Teilchen aus SiO 2 umgesetzt wird, Abscheiden der amorphen SiO 2 -Teilchen auf einem Träger unter Bildung einer SiO 2 -Schicht und Verglasen der SiO 2 -Schicht entweder beim Abscheiden der SiO 2 -Teilchen oder nach dem Abscheiden, unter Bildung des Quarzglases. Um hiervon ausgehend ein wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas anzugeben, das sich durch ein günstiges Schädigungsverhalten gegenüber kurzwelliger UV-Strahlung auszeichnet, und das für die Herstellung eines optischen Bauteils für die Übertragung energiereicher ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm oder kürzer besonders geeignet ist, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass als Ausgangssubstanz ein Gemisch aus einer ein singuläres Si-Atom enthaltenden, monomeren Siliciumverbindung und aus einer mehrere Si-Atome enthaltenden, oligomeren Siliciumverbindung eingesetzt wird, mit der Massgabe, dass die oligomere Siliciumverbindung in der Mischung weniger als 70 % zum Gesamt-Siliciumgehalt beiträgt.
摘要翻译：用于制造合成石英玻璃的已知方法包括以下步骤：形成具有一种可蒸发的起始材料，其可通过氧化或火焰水解成SiO 2被转换的气流中，在实施的起始材料的反应区进料气流中，以形成二氧化硅的无定形颗粒是，在载体上无定形二氧化硅颗粒的沉积，以形成SiO 2层的SiO 2层和玻璃化，无论在SiO 2颗粒的沉积或沉积之后，形成石英玻璃。以指定此基础上制备合成石英玻璃，其特征是低损伤行为短波UV辐射经济的方法，这是特别适合于生产光学部件的用于发送的250纳米或更短的波长的高能量的紫外线辐射，根据本发明，提出了含有作为起始物质的单数的Si原子，单体的硅化合物和低聚硅化合物的混合物被用于从多个Si原子的含有，条件是在该混合物中的低聚硅化合物是小于70％有助于总硅含量。

9. 发明申请

WO2010010036A2 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIT STICKSTOFF DOTIERTEM QUARZGLAS SOWIE ZUR DURCHFÜHRUNG DES VERFAHRENS GEEIGNETE QUARZGLASKÖRNUNG 审中-公开
标题翻译：生产氮化石英玻璃和实施石英玻璃分级方法
公开(公告)号：WO2010010036A2
公开(公告)日：2010-01-28
申请号：PCT/EP2009/059141
申请日：2009-07-16
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , WEBER, Juergen , WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , LEBER, Helmut
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , WEBER, Juergen , WERDECKER, Waltraud , TRAEGER, Norbert , LEBER, Helmut
IPC分类号： C03B17/04 , C03B19/01 , C03B19/04 , C03B19/09 , C03B20/00 , C03B19/06
CPC分类号： C03B19/1095 , C03B17/04 , C03B19/095 , C03B19/106 , C03B2201/24 , Y02P40/57 , Y10T428/268 , Y10T428/2982
摘要： Bei einem bekannten Verfahren zur Herstellung von mit Stickstoff dotiertem Quarzglas wird ein SiO 2 -Basisprodukt in Form von SiO 2 -Körnung oder eines aus der SiO 2 -Körnung erzeugten, porösen Halbzeugs bereitgestellt und das SiO 2 -Basisprodukt in einem Heißprozess in einer ein stickstoffhaltiges Reaktionsgas enthaltenden Atmosphäre zu dem Quarzglas mit darin chemisch gebundenem Stickstoff verarbeitet. Hiervon ausgehend ist ein Verfahren anzugeben, mittels dem in Quarzglas eine Stickstoffdotierung mit einem möglichst hohen Anteil an chemisch gebundenem Stickstoff erreichbar ist. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass als stickstoffhaltiges Reaktionsgas ein Stickoxid eingesetzt wird, und dass ein SiO 2 -Basisprodukt eingesetzt wird, das beim Heißprozess eine Konzentration an Sauerstoffmangeldefekten von mindestens 2 x 10 15 cm -3 aufweist, wobei das SiO 2 -Basisprodukt aus SiO 2 -Teilchen mit einer mittleren Teilchengröße im Bereich von 200 nm bis 300 μm besteht (D 50 -Wert).
摘要翻译：在已知的用于生产氮掺杂石英玻璃的方法中，以SiO 2簇或SiO 2形式的SiO 2亚-2基产物由SiO 2子结构制备的SiO 2子结构和SiO 2子基产物在含有含氮反应气体石英玻璃用其中化学结合的氮进行处理。在此基础上，将规定一种方法，借助于该方法可以在石英玻璃中实现具有最大化学键合氮的氮掺杂。该目的根据本发明来实现。其特征在于凝胶＆ouml; ST，作为含氮的反应气体，氮氧化物被使用，并且由SiO <子> 2 -Basisprodukt采用，当开平＆的大街过程具有至少2×10 ^{15氧缺乏缺陷浓度< 其中SiO 2基本产物由平均粒径在该范围内的SiO 2颗粒组成从200nm到300μm（D 50值）。}

10. 发明申请

WO2007104683A1 METHOD AND DEVICE FOR DRAWING A TUBULAR STRAND OF QUARTZ GLASS 审中-公开
标题翻译：用于绘制QUARTZ玻璃管状条的方法和装置
公开(公告)号：WO2007104683A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/EP2007/052119
申请日：2007-03-07
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , HORN, Roland , LEBER, Helmut , TROMMER, Martin , WHIPPEY, Nigel , BERG, Rainer , BECKER, Joerg , GERHARDT, Rolf
发明人： HORN, Roland , LEBER, Helmut , TROMMER, Martin , WHIPPEY, Nigel , BERG, Rainer , BECKER, Joerg , GERHARDT, Rolf
IPC分类号： C03B17/04
CPC分类号： C03B17/04 , C03B5/0336
摘要： In a known method for drawing a tubular quartz glass strand, a crucible is fed with SiO 2 -containing start material, the start material is softened in the crucible and, as a softened quartz glass mass, is drawn vertically downwards as a tubular quartz glass strand along a drawing axis through an annular gap between an outer member and an inner member, which is arranged in a through hole of the outer member, of a drawing nozzle provided in the bottom area of the crucible. To improve the known method with respect to less inhomogeneity in the drawn-off tubular strand and thereby to permit the manufacture of homogeneous, defect-free hollow cylinders of quartz glass by drawing from the melt, it is suggested according to the invention that the inner member of the drawing nozzle, viewed in the direction of the drawing axis, is held suspended and radially movable inside the through hole of the outer member, and that the annular gap of the drawing nozzle has a longitudinal section "L" in which its cross-sectional nozzle area is reduced in size from the top to the bottom.
摘要翻译：在用于绘制管状石英玻璃线的已知方法中，向坩埚供给含SiO 2的起始材料，起始材料在坩埚中软化，并且作为软化的石英玻璃块被拉伸垂直向下作为管状石英玻璃股沿着拉伸轴线穿过设置在坩埚底部区域中的拉丝喷嘴布置在外部构件的通孔中的外部构件和内部构件之间的环形间隙。为了改进已知的方法，关于拉出的管状股线中的较小的不均匀性，从而允许通过从熔体中拉拔来制造均匀的，无缺陷的石英玻璃中空圆柱体，根据本发明，建议内部从拉伸轴方向观察的拉丝喷嘴的构件被保持在外部构件的通孔内部并可径向移动，并且拉伸喷嘴的环形间隙具有纵向截面“L”，其横截面截面喷嘴面积从顶部到底部减小。

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