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1. 发明申请

WO2005114328A3 QUARZGLASROHLING UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DESSELBEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2005114328A3
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：PCT/EP2005/005059
申请日：2005-05-11
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , ENGLISCH, Wolfgang , TAKKE, Ralf , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , KÖPPLER, Rainer
发明人： ENGLISCH, Wolfgang , TAKKE, Ralf , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , KÖPPLER, Rainer
IPC分类号： C03C3/06 , G21K1/00 , G03F7/00 , C03B20/00 , G02B1/00
摘要： Die Erfindung betrifft einen Quarzglasrohling für ein optisches Bauteil zur Übertragung von Strahlung einer Wellenlänge von 15 nm und kürzer aus einem hochreinen, mit Titan und/oder Fluor dotiertem Quarzglas, das durch eine extrem hohe Homogenität gekennzeichnet ist. Die Homogenität bezieht sich auf folgende Merkmale: a) Mikroinhomogenitäten durch lokale Varianz der TiO 2 -Verteilung ( 2 , gemittelt über ein Volumenelement von (5µm) 3 gegenüber dem Mittelwert des TiO 2 Gehalts), b) eine absolute, maximale Inhomogenität im thermischen Ausdehnungskoeffizienten Δα in Hauptfunktionsrichtung (

2. 发明申请

WO2005114328A2 QUARTZ GLASS BLANK AND METHOD FOR PRODUCING SAID BLANK 审中-公开
标题翻译：石英玻璃坯料和方法生产同样
公开(公告)号：WO2005114328A2
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：PCT/EP2005005059
申请日：2005-05-11
申请人： HERAEUS QUARZGLAS , SHINETSU QUARTZ PROD , ENGLISCH WOLFGANG , TAKKE RALF , KUEHN BODO , UEBBING BRUNO , KOEPPLER RAINER
发明人： ENGLISCH WOLFGANG , TAKKE RALF , KUEHN BODO , UEBBING BRUNO , KOEPPLER RAINER
IPC分类号： C03B19/01 , C03B19/14 , C03C3/06 , G03F7/00
CPC分类号： C03B19/1469 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2201/42
摘要： The invention relates to a quartz glass blank for an optical component for transmitting radiation with a wavelength of 15 nm and shorter. Said blank consists of a highly pure quartz glass, doped with titanium and/or fluorine, which is characterised by an extremely high degree of homogeneity. The homogeneity relates to the following characteristics: a) micro-inhomogeneities caused by a local variance of the TiO2 distribution ( in relation to the mean value of the TiO2 content), b) an absolute, maximum inhomogeneity in the thermal expansion coefficient Deltaalpha in the main functional direction (
摘要翻译：本发明涉及一种石英玻璃坯料的光学组件，用于发射波长为15nm和更短的高纯度的的辐射，与钛和/或氟掺杂的石英玻璃，其特点是非常高的均匀性。均一性是指以下特征：a）通过在TiO 2分布的局部方差微不均匀性（<0.05％的TiO 2，平均超过（5微米的体积元素）<3>相比TiO2Gehalts的平均值），b）中的绝对最大不均匀性在主工作方向（<5ppb的/ K）的热膨胀德尔塔阿尔法的系数，c）中具有超过最大0.4 ppb的/（K'cm）的的石英玻璃坯料的可用表面的热膨胀系数的径向变化; D）在最大为2纳米/厘米的主要功能，特定历史，以及e）根据（b）中德尔塔阿尔法光学表面上的平均的特定路线的方向633nm的应力双折射（SDB）。此石英玻璃坯料是仅获得由通过火焰水解而得到的产物和含钛和/或含氟化合物掺杂的石英玻璃的形状为大体积的含硅基，棒状起始体进入由若干成形步骤和均化装置空白的均匀的石英玻璃。

3. 发明申请

WO2004065314A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SYNTHETISCHEM QUARZGLAS 审中-公开
标题翻译：用于生产合成石英玻璃
公开(公告)号：WO2004065314A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/EP2004/000442
申请日：2004-01-21
申请人： HERAEUS QUARZGLAS GMBH & CO. KG , SHIN-ETSU QUARTZ PRODUCTS CO., LTD. , TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , SCHÄFER, Jürgen , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , BAUSCHER, Heinz
发明人： TROMMER, Martin , OCHS, Stefan , SCHÄFER, Jürgen , KÜHN, Bodo , UEBBING, Bruno , BAUSCHER, Heinz
IPC分类号： C03B19/14
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1415 , C03B2207/30 , C03B2207/32 , C03B2207/34
摘要： Ein bekanntes Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas umfasst die Verfahrensschritte: Bilden eines Gasstromes mit einer verdampfbare Ausgangssubstanz, die durch Oxidation oder durch Flammenhydrolyse zu SiO 2 umgesetzt werden kann, Zuführen des Gasstromes in eine Reaktionszone, in der die Ausgangssubstanz unter Bildung amorpher Teilchen aus SiO 2 umgesetzt wird, Abscheiden der amorphen SiO 2 -Teilchen auf einem Träger unter Bildung einer SiO 2 -Schicht und Verglasen der SiO 2 -Schicht entweder beim Abscheiden der SiO 2 -Teilchen oder nach dem Abscheiden, unter Bildung des Quarzglases. Um hiervon ausgehend ein wirtschaftliches Verfahren zur Herstellung von synthetischem Quarzglas anzugeben, das sich durch ein günstiges Schädigungsverhalten gegenüber kurzwelliger UV-Strahlung auszeichnet, und das für die Herstellung eines optischen Bauteils für die Übertragung energiereicher ultravioletter Strahlung einer Wellenlänge von 250 nm oder kürzer besonders geeignet ist, wird erfindungsgemäss vorgeschlagen, dass als Ausgangssubstanz ein Gemisch aus einer ein singuläres Si-Atom enthaltenden, monomeren Siliciumverbindung und aus einer mehrere Si-Atome enthaltenden, oligomeren Siliciumverbindung eingesetzt wird, mit der Massgabe, dass die oligomere Siliciumverbindung in der Mischung weniger als 70 % zum Gesamt-Siliciumgehalt beiträgt.
摘要翻译：用于制造合成石英玻璃的已知方法包括以下步骤：形成具有一种可蒸发的起始材料，其可通过氧化或火焰水解成SiO 2被转换的气流中，在实施的起始材料的反应区进料气流中，以形成二氧化硅的无定形颗粒是，在载体上无定形二氧化硅颗粒的沉积，以形成SiO 2层的SiO 2层和玻璃化，无论在SiO 2颗粒的沉积或沉积之后，形成石英玻璃。以指定此基础上制备合成石英玻璃，其特征是低损伤行为短波UV辐射经济的方法，这是特别适合于生产光学部件的用于发送的250纳米或更短的波长的高能量的紫外线辐射，根据本发明，提出了含有作为起始物质的单数的Si原子，单体的硅化合物和低聚硅化合物的混合物被用于从多个Si原子的含有，条件是在该混合物中的低聚硅化合物是小于70％有助于总硅含量。

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