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1. 发明申请

WO2004018963A2 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG TRIBOLOGISCHER EIGENSCHAFTEN EINER PROBENOBERFLÄCHE MITTELS EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS (RKM) SOWIE EIN DIESBEZÜGLICHES RKM 审中-公开
标题翻译：一种用于确定样品表面的摩擦学性能BY原子力显微镜（AFM）和相关RKM
公开(公告)号：WO2004018963A2
公开(公告)日：2004-03-04
申请号：PCT/EP2003/009054
申请日：2003-08-14
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG e. V. , REINSTÄDTLER, Michael , RABE, Ute , ARNOLD, Walter
发明人： REINSTÄDTLER, Michael , RABE, Ute , ARNOLD, Walter
IPC分类号： G01B7/00
CPC分类号： G01Q60/28 , G01H3/00 , G01N29/22 , G01N29/346 , G01N2291/02827 , G01N2291/101 , G01Q60/26
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur Untersuchung einer Probenoberfläche mittels eines Rasterkraftmikroskops (RKM), das einen über eine Längserstreckung verfügenden Federbalken aufweist, längs dessen eine Messspitze angebracht ist, die über Steilmittel relativ zur Probenoberfläche gezielt angeordnet und deren räumliche Lage mit einer Sensoreinheit erfasst wird, sowie wenigstens einen Ultraschallwellengenerator vorsieht, der mit einer vorgebbaren Anregungsfrequenz eine Schwingungsanregung zwischen der Probenoberfläche und dem Federbalken, dessen Messspitze in Kontakt mit der Probenoberfläche gebracht wird, derart initiiert, dass die Messspitze in lateral zur Probenoberfläche und orthogonal zur Längserstreckung des Federbalkens orientierte Oszillationen angeregt wird und dass in dem Federbalken sich ausbildende Torsionsschwingungen erfasst und mittels einer Auswerteeinheit analysiert werden. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, - dass die Schwingungsanregung derart erfolgt, dass die von der Messspitze ausgeführten Oszillationen höher harmonische Schwingungsanteile zur Anregungsfrequenz aufweisen, - dass die Schwingungsanregung mit Anregungsamplituden durchgeführt wird, die innerhalb des Federbalkens zu Torsionsamplituden führen, deren Torsionsamplitudenmaxima trotz zunehmenden Anregungsamplituden einen weitgehend konstanten Plateauwert annehmen und deren Resonanzspektren im Bereich der Torsionsamplitudenmaxima eine spektrale resonante Verbreiterung erfahren, die durch eine Plateaubreite bestimmbar ist, und - dass zur Untersuchung der Probenoberfläche die Resonanzspektren, vorzugsweise der Plateauwert, die Plateaubreite und/oder die Steigung der jeweiligen Resonanzspektren verwendet werden.
摘要翻译：
描述的是用于测定Probenoberfl＆AUML的方法;枝装置原子力显微镜（AFM），其具有导航用途包括收缩弹簧梁，L＆AUML的;计算值的L BEAR纵向延伸设有其中一个探针尖端附接到导航用途NGS，所述过球装置相对于Probenoberfl＆AUML;枝针对性和其R＆AUML; umliche位置与传感器单元，以及提供至少设置有Probenoberfl＆AUML之间的预定激发频率的振动激励的超声波发生器检测;枝和弹簧条，其测量尖端与接触被带到澈，在这样一种方式，测量末端侧向给Probenoberfl BEAR启动;所述Probenoberfl＆AUML表面且垂直于L＆AUML;面向所述悬臂振荡的纵向延伸被激发并在形成扭转及由评估单元分析的弹簧束检测。本发明的特征在于 - 所述振动激励发生，使得从所述测量末端导航用途执行艰辛振荡H＆ouml;所述具有用于所述激励频率的谐波分量， - 所述振动激励用的激励幅值进行导航用途是HRT，悬臂到Torsionsamplituden˚F导航使用的内部 ;铅其Torsionsamplitudenmaxima尽管增加的激励幅值假定基本恒定的平稳值，找到在由一高原宽度决定Torsionsamplitudenmaxima的光谱谐振加宽的范围其共振谱，以及 - 对于Probenoberfl＆AUML的调查;枝共振谱，优选平稳值，该可以使用平台宽度和/或各个共振谱的斜率。

2. 发明申请

WO2018172438A1 VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER SPITZE EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS 审中-公开
公开(公告)号：WO2018172438A1
公开(公告)日：2018-09-27
申请号：PCT/EP2018/057226
申请日：2018-03-22
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： GLUCH, Jürgen , KOPYCINSKA-MÜLLER, Malgorzata , KÖHLER, Bernd , RABE, Ute
IPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/32 , G01Q60/36
CPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/32 , G01Q60/363 , G01Q60/366
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Kalibrieren einer Spitze (1) eines Rasterkraftmikroskops, bei dem zunächst eine Steifigkeit-Kraft-Kurve (k*(F)) einer Referenzprobe (2) mit bekannten mechanischen Eigenschaften mit der zu kalibrierenden Spitze (1) aufgenommen wird. Anschließend wird der Kehrwert (1/k*(F)) der Steifigkeit-Kraft-Kurve (k*(F)) gebildet, wobei der Kehrwert (1/k*(F)) als eine Summe aus dem Kehrwert der Steifigkeit (K) nach dem Modell von Batog und einem weiteren Kehrwert der Steifigkeit (k ma ), der von Oberflächenunebenheiten der Spitze (1) abhängt, gebildet wird. Es wird eine Ausgleichsrechnung mit dem Kehrwert der aufgenommenen Steifigkeit-Kraft-Kurve (1/k*(F)) mit der Steifigkeit (K) nach dem Modell von Batog und einem Vorfaktor (B), der in den Kehrwert der Steifigkeit (k ma ), der von Oberflächenunebenheiten der Spitze (1) abhängt, eingeht, als Parameter erstellt wird und abschließend einen Radius der Spitze (1) und die Spitzensteifigkeit (k tip ) berechnet.

3. 发明申请

WO2007104432A1 VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER DOTIERUNGSDICHTE IN EINER HALBLEITERPROBE 审中-公开
标题翻译：掺杂浓度在半导体样品计算
公开(公告)号：WO2007104432A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/EP2007/001736
申请日：2007-02-28
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
发明人： ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/40
摘要： Beschrieben wird ein Verfahren zur Ermittlung einer Dotierstoffdichte an einer Oberfläche und/oder in einem oberflächennahen Schichtbereich einer Halbleiterprobe mit einem Rasterkraftmikroskop, dessen Blattfederspitze unter Ausbildung einer Schottky-Barriere in Kontakt mit der Halbleiterprobe gebracht wird, wobei im Bereich der Schottky-Barriere zwischen der Blattfederspitze und der Halbleiterprobe ein elektrisches Wechselpotential derart angelegt wird, dass eine die räumliche Ausdehnung der Schottky-Barriere bestimmende Raumladungszone innerhalb der Halbleiterprobe bezüglich ihrer räumlichen Ausdehnung zu Schwingungen angeregt wird, die auf die Blattfeder übertragen, detektiert und der Ermittlung der Dotierstoffdichte zugrunde gelegt werden.
摘要翻译：公开了一种用于使用原子力显微镜，其片簧前端被带入与所述半导体样品接触上的表面和/或在邻近的半导体样品的表面区域的层确定的掺杂剂浓度，形成了肖特基势垒，其特征在于，在板簧末端之间的肖特基势垒的区域的方法和半导体样品，交变电位被施加，使得它们的空间范围振动被激励，肖特基势垒确定所述半导体样品内部空间电荷区相对于该传递至板簧的空间范围，被检测和用于杂质的计算。

4. 发明申请

WO2007019913A1 VORRICHTUNG ZUR SCHWINGUNGSANREGUNG EINES EINSEITIG IN EINEM RASTERKRAFTMIKROSKOP BEFESTIGTEN FEDERBALKENS 审中-公开
标题翻译：设备技术的一侧固定弹簧束原子力显微镜振动刺激
公开(公告)号：WO2007019913A1
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：PCT/EP2006/006382
申请日：2006-06-30
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
发明人： ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q60/32 , G01Q60/38
摘要： Beschrieben wird eine Vorrichtung zur Schwingungsanregung einer einseitig in einem Rasterkraftmikroskop (RKM) befestigten und aus Halbleitermaterial, das über keine piezoelektrischen Eigenschaften verfügt, bestehenden Blattfeder, an deren freien Ende eine Spitze angebracht ist, die in Kontakt mit einer zu untersuchenden Probenoberfläche bringbar ist. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass die Blattfeder zumindest abschnittweise mit einer Metallschicht unter Ausbildung eines Schottky-Kontaktes verbunden ist, und dass eine elektrische Spannungs- oder Feldquelle vorgesehen ist, die im Bereich des Schottky-Kontaktes eine elektrische Wechselspannung erzeugt.
摘要翻译：用于原子力显微镜片面的振动激励（AFM）的装置被描述固定并在其自由端，尖端附接可以与被接触到被检查试样表面由半导体材料制成，不具有压电特性，现有的板簧，的。本发明的特征在于，所述板簧是至少部分地连接到形成肖特基接触的金属层，并且提供了一种电电压或场源，其产生在所述肖特基接触的面积的电交流电压。

5. 发明授权

EP3497016B1 UNBEMANNTES LUFTFAHRZEUG ZUR ZERSTÖRUNGSFREIEN PRÜFUNG EINER DREIDIMENSIONALEN STRUKTUR 有权转让
公开(公告)号：EP3497016B1
公开(公告)日：2020-07-08
申请号：EP17757695.6
申请日：2017-08-07
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： MORYSON, Ralf , PUDOVIKOV, Sergey , RABE, Ute , JÄCKEL, Patrick , NIESE, Frank , HERRMANN, Hans-Georg
IPC分类号： B64C39/02 , G01M5/00

6. 发明公开

EP1994395A1 VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER DOTIERUNGSDICHTE IN EINER HALBLEITERPROBE 有权
标题翻译：掺杂浓度在半导体样品计算
公开(公告)号：EP1994395A1
公开(公告)日：2008-11-26
申请号：EP07711715.8
申请日：2007-02-28
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： ARNOLD, Walter , SCHWARZ, Kerstin , RABE, Ute
IPC分类号： G01N13/16 , G12B21/08
CPC分类号： G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/40
摘要： The invention relates to a method for determining a dopant concentration on a surface and/or in a layer region lying close to the surface of a semiconductor sample, using an atomic force microscope, whose leaf-spring tip is brought into contact with the semiconductor sample, forming a Schottky barrier. According to the invention, an electric alternating potential is applied between the spring-leaf tip and the semiconductor sample in the region of the Schottky barrier in such a way that a space charge region inside the semiconductor sample defining the three-dimensional extension of the Schottky barrier is excited and begins to oscillate within the confines of its three-dimensional extension. Said oscillations are transmitted to the leaf-spring, are detected and form the basis for determining the dopant concentration.

7. 发明授权

EP0711406B1 AKUSTISCHES MIKROSKOP 失效
标题翻译：声学显微镜
公开(公告)号：EP0711406B1
公开(公告)日：1998-02-25
申请号：EP94920374.9
申请日：1994-06-30
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： ARNOLD, Walter , RABE, Ute
IPC分类号： G01H3/12
CPC分类号： G01H3/125 , G01H9/00 , G01N29/06 , G01N29/2418 , G01N29/46 , G01N2291/011 , G01N2291/02827 , G01N2291/0421 , G01Q60/32 , Y10S977/86 , Y10S977/87
摘要： An acoustic microscope allows both the topography and the elasticity properties of a sample (11) to be measured at the same time. For that purpose, the deviation of a measurement point (1) is measured by the deflection of a laser beam (22). In order to measure the topography, the mean deviation of the measurement point (1) is held constant by a regulation circuit. The regulation circuit consists of a segmented photodiode (24) which supplies a neutral signal to the output of a standardising amplifier (29) when the deviation of the measurement point (1) is an average deviation. Deviations from the neutral signal may be compensated by a z-electrode (8) of a piezoelectric crystal. The elasticity properties of the sample (11) may be measured by coupling ultra-sound into the sample (11) by means of a transmission head (9) and the high-frequency deviation of the measurement point (1) may be detected by a second detection device that consists of a shadowing device (36) and of a rapid photodiode (37). The second detection device may also consist of a heterodyne propagation time interferometer or of a purely electronic capacitive detection device.

8. 发明公开

EP1535020A2 VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG TRIBOLOGISCHER EIGENSCHAFTEN EINER PROBENOBERFL CHE MITTELS EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS (RKM) SOWIE EIN DIESBEZ GLICHES RKM 审中-公开
标题翻译：用于确定的原子力显微镜的摩擦学PROBENOBERFL CHE装置（AFM）和性能的方法的diesbez GLICHES RKM
公开(公告)号：EP1535020A2
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：EP03792324.0
申请日：2003-08-14
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung
发明人： REINSTÄDTLER, Michael , RABE, Ute , ARNOLD, Walter
IPC分类号： G01B7/00
CPC分类号： G01Q60/28 , G01H3/00 , G01N29/22 , G01N29/346 , G01N2291/02827 , G01N2291/101 , G01Q60/26
摘要： The invention concerns a method for examining the surface of samples using a scanning microscope (SEM) comprising a flexible beam with longitudinal extension, whereof the longitudinal measuring tip is arranged precisely relative to a sample surface by means of a fixing device, the spatial position of said measuring tip being sensed by a sensing unit. The microscope is further equipped with at least one ultrasound generator which initiates an oscillation at a give excitation frequency between the sample surface and the flexible beam, whereof the measuring tip is in contact with the sample surface, such that the oscillations imparted to the measuring tip are oriented laterally to the sample surface and perpendicularly to the length of the flexible beam. The torsional oscillations of the flexible beam are sensed and analyzed by means of an evaluation unit. The invention is characterized in that the generation of oscillations is such that the oscillations produced by the measuring tip have a higher harmonic vibration relative to the excitation frequency, the oscillation generation is produced at amplitudes which provoke torsional amplitudes in the flexible beam. Those torsional amplitudes have maximum values which form a substantially constant plateau, even when the torsional amplitudes increase, and, in the range of maximum values, said torsional amplitudes have resonance spectra which develop a dispersion capable of being determined by a plateau width. The method for examining a sample surface consists in using the resonance spectra and, preferably, the plateau value, the plateau width and/or the corresponding resonance spectra increase.

9. 发明公开

EP0711406A1 AKUSTISCHES MIKROSKOP 失效
标题翻译：声学显微镜
公开(公告)号：EP0711406A1
公开(公告)日：1996-05-15
申请号：EP94920374.0
申请日：1994-06-30
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： ARNOLD, Walter , RABE, Ute
IPC分类号： G01N29 , B81B3 , G01H3 , G01H9
CPC分类号： G01H3/125 , G01H9/00 , G01N29/06 , G01N29/2418 , G01N29/46 , G01N2291/011 , G01N2291/02827 , G01N2291/0421 , G01Q60/32 , Y10S977/86 , Y10S977/87
摘要： An acoustic microscope allows both the topography and the elasticity properties of a sample (11) to be measured at the same time. For that purpose, the deviation of a measurement point (1) is measured by the deflection of a laser beam (22). In order to measure the topography, the mean deviation of the measurement point (1) is held constant by a regulation circuit. The regulation circuit consists of a segmented photodiode (24) which supplies a neutral signal to the output of a standardising amplifier (29) when the deviation of the measurement point (1) is an average deviation. Deviations from the neutral signal may be compensated by a z-electrode (8) of a piezoelectric crystal. The elasticity properties of the sample (11) may be measured by coupling ultra-sound into the sample (11) by means of a transmission head (9) and the high-frequency deviation of the measurement point (1) may be detected by a second detection device that consists of a shadowing device (36) and of a rapid photodiode (37). The second detection device may also consist of a heterodyne propagation time interferometer or of a purely electronic capacitive detection device.

10. 发明公开

EP3602081A1 VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER SPITZE EINES RASTERKRAFTMIKROSKOPS 有权转让
公开(公告)号：EP3602081A1
公开(公告)日：2020-02-05
申请号：EP18714195.7
申请日：2018-03-22
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： GLUCH, Jürgen , KOPYCINSKA-MÜLLER, Malgorzata , KÖHLER, Bernd , RABE, Ute
IPC分类号： G01Q40/00 , G01Q60/32 , G01Q60/36

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