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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER EWT-SOLARZELLE
    • 一种用于生产EWT太阳能电池
    • WO2010149294A2
    • 2010-12-29
    • PCT/EP2010/003583
    • 2010-06-15
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.MINGIRULLI, NicolaBIRO, DanielPREU, Ralf
    • MINGIRULLI, NicolaBIRO, DanielPREU, Ralf
    • H01L31/18
    • H01L31/068H01L21/223H01L21/2255H01L31/022458H01L31/1804Y02E10/547Y02P70/521
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer EWT-Solarzelle aus einem Halbleitersubstrat (1) eines ersten Dotierungstyps mit einer Vorder- und einer Rückseite und einer Mehrzahl von Ausnehmungen, welche sich jewei ls von der Vorder- zu der Rückseite des Hal bleitersubstrates erstrecken, folgende Verfahrensschritte umfassend: A Erzeugen zumindest folgender Emitterbereiche eines zweiten, zum ersten Dotierungstyp entgegengesetzten Dotierungstyps in dem Halbleitersubstrat (1): ein Vorderseitenemitter, welcher die Vorderseite des Halbleitersubstrates zumindest teilweise bedeckt, ein Rückseitenemitter, welcher die Rückseite des Halbleitersubstrates teilweise bedeckt und eine Mehrzahl von Verbindungsemittern, welche jeweils die Wand einer Ausnehmung zumindest teilweise bedecken, sodass der Vorderseitenemitter über die Verbindungsemitter elektrisch leitend mit dem Rückseitenem itter verbunden ist, wobei die Emitterbereiche jeweils einen pn-Übergang zu dem Halbleitersubstrat (1) ausbilden, B Aufbringen mindestens einer Basiskontaktierungsstruktur und mindestens einer Emitterkontaktierungsstruktur jeweils auf die Rückseite des Halbleitersubstrates, gegebenenfalls nach Aufbringen weiterer Zwischenschichten, wobei die Basiskontaktierungsstruktur mit mindestens einem nicht durch Emitter bedeckten Bereich des Halbleitersubstrates und die Emitterkontaktierungsstruktur mit dem Rückseitenemitter elektrisch leitend verbunden sind. Wesentlich ist, dass vor Verfahrensschritt A eine Vorderseitenschichtstruktur auf die Vorderseite des Halbleitersubstrates aufgebracht wird, wobei die Vorderseitenschichtstruktur mindestens eine den Durchtritt von Dotierstoffen hemmende Diffusionsbarrierenschicht, welche keinen Dotierstoff des zweiten Dotierungstyps enthält und/oder mindestens eine den Dotierstoff des zweiten Dotierungstyps enthaltende Vorderseitendotierschicht umfasst und dass in Verfahrenschritt A eine Diffusion mittels mindestens eines Dotierstoffes des zweiten Dotierungstyps aus der Gasphase zur Erzeugung zumindest des Rückseitenemitters und der Mehrzahl von Verbindungsemittern durchgeführt wird, wobei diese Diffusion aus der Gasphase und die Erzeugung des Vorderseitenemitters in situ in einem Diffusionsofen ausgeführt werden.
    • 本发明涉及一种用于制备由第一掺杂类型与前和后侧和多个凹部,其bleitersubstrates从前哈尔的背面延伸jewei LS的半导体衬底(1)的EWT太阳能电池中,以下 一个产生至少一个第二的下面发射极区域,相反的在半导体衬底中的第一掺杂类型的掺杂类型(1):的方法,包括以下步骤的前发射器,其中所述半导体衬底的前侧上至少部分地覆盖的后侧发射器,其在半导体基板的背面侧部分地覆盖和多个连接的发射器的 其分别覆盖凹部的壁至少部分地,这样的发射极连接在发射极的前侧导电地与所述itterRückseitenem连接,其中每个所述发射极区具有pn结的Halbleitersubstra T(1)的形式,B施加至少一个Basiskontaktierungsstruktur和至少一个Emitterkontaktierungsstruktur每种情况下在半导体衬底的背面,任选的另外的中间层应用程序之后,Basiskontaktierungsstruktur导电与至少一种不包括在半导体基板的发射极区和与后侧面发射的Emitterkontaktierungsstruktur连接 是。 重要的是,一个前层结构被应用到处理步骤A中,前表面层结构的至少一个掺杂剂抑制不含有第二掺杂类型的掺杂剂和/或包括至少一个包含所述第二掺杂类型Vorderseitendotierschicht的掺杂扩散阻挡层的通道和现有的半导体衬底的前侧 至少发射极的后侧和所述多个的扩散是在方法步骤a通过从气相中的第二掺杂类型,以产生通过连接的发射器执行的至少一种掺杂剂,所述从气相和原位前侧发射器的生成扩散是在扩散炉中进行。
    • 3. 发明申请
    • SOLARZELLE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE AUS EINEM SILIZIUMSUBSTRAT
    • 太阳能电池及其方法从硅衬底制造太阳能电池
    • WO2010081505A2
    • 2010-07-22
    • PCT/EP2009/008605
    • 2009-12-03
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BIRO, DanielSCHULTZ-WITTMANN, OliverLEMKE, AnkeRENTSCH, JochenCLEMENT, FlorianHOFMANN, MarcWOLF, AndreasGAUTERO, LucaMACK, SebastianPREU, Ralf
    • BIRO, DanielSCHULTZ-WITTMANN, OliverLEMKE, AnkeRENTSCH, JochenCLEMENT, FlorianHOFMANN, MarcWOLF, AndreasGAUTERO, LucaMACK, SebastianPREU, Ralf
    • H01L31/068
    • H01L31/1868H01L31/02245H01L31/068Y02E10/547Y02P70/521
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mit einer Vorder- und einer Rückseite aus einem Siliziumsubstrat (1), insbesondere einem Siliziumwafer, folgende Verfahrensschritte umfassend: A Texturierung mindestens einer Seite des Siliziumsubstrates (1) zur Verbesserung der Absorption bei Beaufschlagung der Solarzelle mit elektromagnetischer Strahlung und/oder Entfernen des Sägeschadens an mindestens einer Seite des Siliziumsubstrates (1), B Erzeugen zumindest eines Emitterbereiches (2) zumindest an Teilbereichen zumindest einer Seite des Siliziumsubstrates (1 ) durch Eindiffundieren mindestens eines Dotierstoffes, zur Ausbildung mindestens eines pn-Überganges, C Entfernen einer Glasschicht auf mindestens einer Seite des Siliziumsubstrates (1), wobei die Glasschicht den Dotierstoff enthält, D Aufbringen einer Maskierungsschicht (3) zumindest auf einem Teilbereich zumindest einer Seite des Siliziumsubstrates (1), wobei die Maskierungsschicht (3) eine dielektrische Schicht ist, E Abtragen zumindest eines Teil des Materials des Siliziumsubstrates (1) an mindestens einer Seite des Siliziumsubstrates (1) und/oder Konditionieren mindestens einer Seite des Siliziumsubstrates (1), F Aufbringen von Metallisierungsstrukturen (5, 6) auf Vorderseite (1a) und/oder Rückseite (1b) des Siliziumsubstrates (1), zur elektrischen Kontaktierung der Solarzelle. Wesentlich ist, dass zwischen den Verfahrensschritten E und F in einem Verfahrensschritt E2 eine thermische Oxidation durchgeführt wird, zur Ausbildung einer Oxidschicht (4) zumindest in einem Teilbereich der Vorder- und/oder Rückseite des Siliziumsubstrates (1), welcher nicht durch die in Schritt D aufgebrachte Maskierungsschicht (3) bedeckt ist und dass die Maskierungsschicht (3) und die Oxidschicht (4) im Wesentlichen in den nachfolgenden Prozessschritten auf dem Siliziumsubstrat (1) verbleiben.
    • 本发明涉及一种方法,用于制造具有一个前侧和一个硅衬底(1)的背面侧的太阳能电池,特别是硅晶片,其步骤包括:一个纹理化的硅衬底(1)的至少一侧,以在施用时的太阳能电池的与提高吸收 电磁辐射和/或在硅衬底的至少一个侧去除切割损伤的(1),B产生至少一个发射区(2)至少在硅衬底(1)的至少一侧的部分区域通过扩散至少一种掺杂剂,以形成至少一个pn结 ,C在硅衬底(1),其中,所述玻璃层中含有的掺杂剂的至少一个侧移除玻璃层,D至少在硅衬底(1)的至少一个侧面的一部分,其中,所述掩蔽层(3)介电施加一掩蔽层(3) IC层为E去除至少一个硅衬底(1)的材料的在硅衬底(1)和/或调节在硅衬底(1)的至少一个侧面的至少一个侧部,F施加的金属化(5,6)(在所述前 1a)和/或背面侧(1b)中的硅衬底(1),用于所述太阳能电池的电接触。 至关重要的是,E和F在处理步骤之间的步骤E2对于其中未在工序中使用的硅衬底(1)的前侧和/或后侧的部分区域中形成至少一个氧化物层(4)进行热氧化 d应用掩蔽层(3)覆盖,并且所述掩模层(3)和氧化物层(4)基本上是在硅衬底上的随后的工艺步骤(1)保持。
    • 5. 发明申请
    • PHOTOVOLTAISCHE SOLARZELLE UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER PHOTOVOLTAISCHEN SOLARZELLE
    • WO2012007143A3
    • 2012-01-19
    • PCT/EP2011/003451
    • 2011-07-11
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.THAIDIGSMANN, BenjaminCLEMENT, FlorianBIRO, DanielWOLF, AndreasPREU, Ralf
    • THAIDIGSMANN, BenjaminCLEMENT, FlorianBIRO, DanielWOLF, AndreasPREU, Ralf
    • H01L31/0224
    • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer photovoltaischen Solarzelle mit einer zur Lichteinkopplung ausgebildeten Vorderseite, folgende Verfahrensschritte umfassend: A Erzeugen einer Mehrzahl von Ausnehmungen in einem Halbleitersubstrat eines Basisdotierungstyps, B Erzeugen eines oder mehrerer Emitterbereiche eines Emitterdotierungstyps zumindest an der Vorderseite des Halbleitersubstrates, wobei der Emitterdotierungstyp entgegengesetzt zu dem Basisdotierungstyp ist, C Aufbringen einer elektrisch isolierenden Isolierungsschicht und D Erzeugen von metallischen Durchleitungsstrukturen in den Ausnehmungen, von mindestens einer metallischen Basiskontaktstruktur an der Rückseite der Solarzelle, welche elektrisch leitend mit dem Halbleitersubstrat in einem Basisdotierbereich ausgebildet wird, von mindestens einer metallischen Vorderseitenkontaktstruktur an der Vorderseite der Solarzelle, welche elektrisch leitend mit dem Emitterbereich an der Vorderseite des Halbleitersubstrates ausgebildet wird und von mindestens einer Rückseitenkontaktstruktur an der Rückseite der Solarzelle, welche mit der Durchleitungskontaktstruktur elektrisch leitend verbunden ausgebildet wird. Die Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass in Verfahrensschritt B und/oder einem weiteren Verfahrensschritt zusätzlich in dem Halbleitersubstrat an den Wänden der Ausnehmungen jeweils ein sich von der Vorder- zur Rückseite erstreckender Durchleitungsemitterbereich des Emitterdotierungstyps ausgebildet wird, dass in Verfahrensschritt C die Isolierungsschicht die Rückseite des Halbleitersubstrates, gegebenenfalls weitere zwischenliegende Zwischenschichten, bedeckend aufgebracht wird, dass in Verfahrensschritt D die Rückseitenkontaktstruktur auf die Isolierungsschicht, gegebenenfalls auf weitere Zwischenschichten, aufgebracht wird, derart, dass die Rückseitenkontaktstruktur Bereiche des Halbleitersubstrates mit Basisdotierung erstreckt und in diesen Bereichen aufgrund der dazwischenliegenden Isolierungsschicht eine elektrische Isolierung zwischen Rückseitenkontaktstruktur und Halbleitersubstrat ausgebildet wird und die Basiskontaktstruktur auf die Isolierungsschicht, gegebenenfalls auf weitere Zwischenschichten, aufgebracht wird, derart, dass die Basiskontaktstruktur die Isolierungsschicht zumindest Bereichsweise durchdringt, so dass eine elektrisch leitende Verbindung zwischen Basiskontaktstruktur und Halbleitersubstrat erzeugt wird. Die Erfindung betrifft weiterhin eine photovoltaische Solarzelle.
    • 6. 发明申请
    • SOLARZELLE UND SOLARZELLENMODUL MIT EINSEITIGER VERSCHALTUNG
    • 太阳能电池和太阳能电池模块的一面接线
    • WO2010022911A2
    • 2010-03-04
    • PCT/EP2009/006138
    • 2009-08-25
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BIRO, DanielMINIGIRULLI, NicolaCLEMENT, FlorianPREU, RalfWOEHL, Robert
    • BIRO, DanielMINIGIRULLI, NicolaCLEMENT, FlorianPREU, Ralf
    • H01L31/0224
    • H01L31/0516H01L31/022441Y02E10/50
    • Die Erfindung betrifft eine Solarzelle insbesondere zur Verschaltung in einem Solarzellenmodul, umfassend mindestens einen metallischen Basiskontakt, mindestens einen metallischen Emitterkontakt (5) sowie eine Halbleiterstruktur, welche mindestens einen Basis- und mindestens einen Emitterbereich (3) aufweist, wobei Basis- und Emitterbereich (2,3) zumindest teilweise aneinander angrenzen, zur Ausbildung eines pn-Übergangs, der Basiskontakt (6) elektrisch leitend mit dem Basisbereich (2) und der Emitterkontakt (5) elektrisch leitend mit dem Emitterbereich (3) verbunden ist und sowohl Basis- als auch Emitterkontakt (6,5) an einer Kontaktierungsseite (1 ) der Solarzelle angeordnet sind. Wesentlich ist, dass die Solarzelle mehrere metallische Emitterkontakte, die jeweils elektrisch leitend mit dem Emitterbereich (3) verbunden sind und mehrere metallischen Basiskontakte, die jeweils elektrisch leitend mit dem Basisbereich (2) verbunden sind, aufweist, wobei die Emitterkontakte (5) untereinander auf der dem Emitterbereich (3) abgewandten Seite keine elektrisch leitende Verbindung aufweisen und die Basiskontakten auf der dem Basisbereich (2) abgewandten Seite keine elektrisch leitende Verbindung aufweisen. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Solarzellenmodul, welches mindestens zwei erfindungsgemäße Solarzellen umfasst.
    • 本发明涉及一种太阳能电池,尤其是用于太阳能电池组件中,其包括至少一个金属基极接触的互连,至少一个金属发射极接触(5)和包含至少一种碱和至少一个发射极区域的半导体结构(3),所述基极和发射极区(2 ,3)至少部分地彼此相邻,以形成pn结,基极接触(6)是导电的(与基区2)和发射极(5)接触导电连接到所述发射极区域(3)和基本的和 发射极触点(6.5)在所述太阳能电池的接触侧(1)被布置。 至关重要的是,所述太阳能电池包括多个金属发射极接触,其导电地连接到发射极区域(3)和多个金属基极触点,每个导电连接到基极区(2)连接,发射极触点(5)彼此上 发射极区域(3)的背离不具有导电的连接侧,并且在所述基区的基极触点(2)由不具有导电的连接背向侧。 本发明进一步涉及包含根据本发明的至少两个太阳能电池的太阳能电池模块。