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1. 发明申请

WO2010139342A8 LENS AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME 审中-公开
公开(公告)号：WO2010139342A8
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/EP2009/003928
申请日：2009-06-02
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E. V. , DUPARRÉ, Jacques , WIPPERMANN, Frank , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
发明人： DUPARRÉ, Jacques , WIPPERMANN, Frank , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： B29D11/00
摘要： In a method for manufacturing a lens, a substrate (100) is provided which comprises recess (106) in a first surface (102) thereof. A lens structure (108) having a first desired lens surface and a second desired lens surface is formed in the substrate's recess (106).

2. 发明申请

WO2011085879A1 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTUR, OPTISCHES BAUTEIL, OPTISCHER SCHICHTSTAPEL 审中-公开
标题翻译：一种用于生产结构，光学元件，光学薄膜叠堆
公开(公告)号：WO2011085879A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：PCT/EP2010/069293
申请日：2010-12-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jaques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
发明人： WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jaques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： B29C33/52 , B29D11/00
CPC分类号： G02B3/00 , B29C33/52 , B29D11/00009 , B29L2011/00 , G02B13/0085
摘要： Die vorliegende Erfindung beschreibt ein Verfahren zur Herstellen einer Struktur aus aushärtbaren Material. Dabei wird eine erste Struktur (220) aus einem ersten aushärtbaren Material auf einem Substrat (210) abgeformt und ausgehärtet. Weiterhin wird eine zweite Struktur (230) aus einem zweiten aushärtbaren Material auf einer dem Substrat abgewandeten ersten Oberfläche der ersten Struktur abgeformt und ausgehärtet, so dass sich an der ersten Oberfläche der ersten Struktur eine Grenzfläche zwischen der ersten Struktur und der zweiten Struktur ausbildet und so, dass die erste Struktur von der zweiten Struktur an einem Durchgangsbereich (240) nicht bedeckt ist. Ferner wird ein Lösungsmittel in den Durchgangsbereich eingebracht, um das erste aushärtbare Material der ersten Struktur zu lösen, so dass ein Leerraum (270) zwischen der zweiten Struktur und der ersten Oberfläche des Substrates gebildet wird, wobei das erste aushärtbare Material nach Aushärtung löslich für das Lösungsmittel ist und das zweite aushärtbare Material nach Aushärtung unlöslich für das Lösungsmittel ist. Weiterhin werden ein optisches Bauteil aus aushärtbarem Material, sowie ein optischer Schichtstapel aus aushärtbarem Material beschrieben.
摘要翻译：本发明描述了一种用于制造由可硬化材料制成的结构的方法。在这种情况下，从基板（210）上的第一可固化材料的第一结构（220）被成形和固化。此外，从一个第二可固化材料的第二结构（230）从所述第一结构的所述衬底第一表面模制的遥控器上并固化，从而使所述第一结构和这样的第一表面上形成的第一结构和第二结构之间的边界表面从所述第二结构在一个通道部分（240）所述第一结构不被覆盖。此外，溶剂被引入到通道区域，以解决所述第一结构的所述第一可固化材料，从而使一个空的空间（270）的所述第二结构和所述衬底的所述第一表面之间形成，其中，所述第一可固化材料的可溶性固化后溶剂和固化后的第二可固化材料是不溶于该溶剂。此外，可固化的材料的光学部件，和可固化材料的光学堆叠层进行说明。

3. 发明申请

WO2009052980A8 MIKROLINSEN-ARRAY MIT INTEGRIERTER BELEUCHTUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2009052980A8
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/EP2008/008734
申请日：2008-10-15
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG , SCHMÄLZLE, Philipp , DUPARRÉ, Jacques , PUNKE, Martin , DANNBERG, Peter , VÖLKEL, Reinhard , BRÄUER, Andreas
发明人： SCHMÄLZLE, Philipp , DUPARRÉ, Jacques , PUNKE, Martin , DANNBERG, Peter , VÖLKEL, Reinhard , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： G02B3/00 , G02B27/00 , H01L27/146
摘要： Die Erfindung betrifft ein Mikrolinsenarray mit integrierter Beleuchtung, ein Abbildungssystem mit einem solchen Mikrolinsenarray, eine Bilderfassungsvorrichtung sowie ein Verfahren zur Herstellung des Mikrolinsenarrays. Das Mikrolinsenarray besitzt einen flächigen, optisch transparenten Grundkörper (8), eine Vielzahl von auf, an, in und/oder hinter einer ersten Seite des optisch transparenten Grundkörpers angeordneten Mikrolinsen (9) und zumindest eine Lichtquelle (5), welche an, in oder auf dem flächigen optisch transparenten Grundkörper angeordnet ist, wobei die Projektion der zumindest einen Lichtquelle in Richtung der optischen Achsen der Mikrolinsen auf die erste Seite des optisch transparenten Grundkörpers zwischen den Mikrolinsen liegt.

4. 发明申请

WO2007082781A1 BILDERFASSUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG MINDESTENS EINES BILDERFASSUNGSSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：图像拍摄系统和方法用于生产至少一个图像检测系统
公开(公告)号：WO2007082781A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/EP2007/000813
申请日：2007-01-23
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DUPARRÉ, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÜCKNER, Andreas , BRÄUER, Andreas
发明人： DUPARRÉ, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÜCKNER, Andreas , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： G02B3/00 , H04N5/335 , H04N5/225
CPC分类号： G02B3/0056 , G02B3/0031 , H01L27/14603 , H01L27/14627 , H04N5/2254 , H04N5/335 , Y10T29/49002
摘要： Erfindungsgemäß enthält das Bilderfassungssystem nebeneinander angeordnete optische Kanäle mit jeweils zugeordneter Mikrolinse mit Apertur und jeweils mindestens einem in der Bildebene liegenden Detektor, wobei die Detektoren derart angeordnet sind, dass die Richtungen der jeweils die Verbindungslinien zwischen Linsenscheiteln und Zentrum der Detektoren bildenden optischen Achsen eine Funktion der Position des jeweiligen optischen Kanals darstellen, wobei zwischen den Mikrolinsen (1') mit Apertur (2') und den Detektoren (61, 8) mindestens eine Aperturblendenanordnung (4) vorgesehen ist, wobei der Mittenabstand der Aperturblenden (4') zwischen dem Scheitelabstand der Mikrolinsen (1') und dem Mittenabstand der Detektoren (6', 8) liegt, derart, dass je nach Position der Kanäle die Aperturblenden (41) unterschiedlich versetzt zu den Mikrolinsen (1') und den Detektoren (6', 8) angeordnet sind und mit diesen jeweils auf einer Geraden liegen.
摘要翻译：根据本发明，该图像采集系统包括：并置的光信道，每个具有相关联的微透镜孔和至少一个位于在图像平面检测器，所述检测器被布置为使得每个透镜波峰和形成光学轴检测器的中心之间的连接线的方向是的函数代表每个光信道，其中，所述微透镜（1“）与所述孔（2”）之间的位置和所述检测器（61，8）的至少一个孔径光阑（4）设置，其中，所述顶点距离之间的孔径光阑（4“）的中心的距离微透镜（1“）和所述检测器的中心间距（6”，8），使得根据所述信道的位置，孔径光阑（41）是不同的相对于所述微透镜（1“）的偏移量和检测器（6”，8）在一条直线上每种情况下被布置和与这些。

5. 发明申请

WO2005069607A1 BILDERFASSUNGSSYSTEM UND DESSEN VERWENDUNG 审中-公开
标题翻译：图像拍摄系统及其用途
公开(公告)号：WO2005069607A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/EP2005/000495
申请日：2005-01-19
申请人： FRAUHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DUPARRÉ, Jacques , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , VÖLKEL, Reinhard , BRÄUER, Andreas
发明人： DUPARRÉ, Jacques , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , VÖLKEL, Reinhard , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： H04N5/335
CPC分类号： H04N5/335 , G02B3/0012 , G02B3/0043 , G02B3/0056 , G02B3/0075 , G02B13/0055 , G06K9/00046 , H04N5/2254
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein digitales Bilderfassungssystem mit minimaler Baulänge von weniger als einem Millimeter. Das Bilderfassungssystem besteht hierbei aus einem Mikrolinsenarray, einem Detektorarray und optional einem Pinhole-Array. Die Funktionsweise dieses Bilderfassungssystems beruht auf einer getrennten Abbildung verschiedener Raumwinkelsegemente des Objektraumes durch eine Vielzahl von parallelen optischen Kanälen. Die optischen Achsen der einzelnen optischen Kanäle weisen dabei unterschiedliche Neigungen auf, sodass sie eine Funktion des Abstands des optischen Kanals vom Mittelpunkt der zum Bild gewandten Seite des Bilderfassungssystems darstellen, wodurch das Verhältnis der Größe des Gesichtsfelds zur Bildfeldgröße gezielt bestimmbar ist. Es werden dabei Detektoren mit derart hoher Empfindlichkeit eingesetzt, dass die Detektoren einen großen Pitch bei kleiner aktiver Fläche aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及具有小于一毫米的最小总长度的数字成像系统。成像系统由这里的微透镜阵列，检测器阵列和任选的针孔阵列的。该成像系统的操作由多个并行的光学信道的基于对象空间的单独的成像各种Raumwinkelsegemente。在这种情况下，各个光信道的光轴具有不同的倾角，从而使它们代表从面向成像系统，由此可以具体地确定的视场的大小与像场尺寸的比率的像侧的中心处的光信道的距离的函数。它的检测器与这样的高灵敏度使用该检测器具有小有源表面大节距。

6. 发明申请

WO2011085880A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM HERSTELLEN EINER STRUKTUR 审中-公开
标题翻译：方法和制造装置的结构
公开(公告)号：WO2011085880A1
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：PCT/EP2010/069296
申请日：2010-12-09
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
发明人： WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： B29C35/08 , B29D11/00 , B29C37/00
CPC分类号： B29D11/00442 , B29C33/405 , B29C35/0894 , B29C37/005 , B29C2035/0827 , B29D11/00153
摘要： Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer Struktur aus aushärtbarem Material durch Abformung beschrieben. In einem ersten Schritt des Verfahren wird ein Abformwerkzeug (310) oberhalb einer Oberfläche (330) angeordnet, so dass in einem Bereich (340) zwischen dem Abformwerkzeug und der Oberfläche das aushärtbare Material (320) an die Oberfläche und eine der Oberfläche zugewandten Abformfläche (312) des Abformwerkzeugs angrenzt, und so dass weiteres aushärtbares Material (321) in den Bereich nachfließen kann. In einem zweiten Schritt wird das aushärtbare Material lokal variierend in dem Bereich bestrahlt, so dass das aushärtbare Material lateral variierend unterschiedlich schnell aushärtet, und Schrumpfungen beim Aushärten des aushärtbaren Materials durch das weitere aushärtbare Material ausgeglichen werden. In einem dritten Schritt des Verfahrens wird ein konstanter Druck an das weitere aushärtbare Material angelegt. Weiterhin werden ein zweites Verfahren und eine Vorrichtung zum Herstellen einer Struktur aus aushärtbarem Material durch Abformung und ein Abformwerkzeug für ein optisches Bauteil beschrieben.
摘要翻译：产生通过模制所描述的可固化材料的结构的方法。在一个表面（330）上述方法中，成形工具（310）的第一步骤被布置成使得在一个区域（340），所述可固化材料（320）的表面与所述成形工具和所述表面成型面之间面对的表面（模制工具的312）相邻，并且使得另一可固化材料（321）可以流入该区域。在第二步骤中，可固化材料被局部照射的范围内变化，使得所述可固化材料固化横向以不同的速率变化，并且通过所述多个可固化材料中的可固化材料的固化收缩得到补偿。在该方法的第三步骤的恒定压力施加到其他可固化材料被施加。此外，第二制造方法和通过模制制成可硬化材料的结构的装置，以及用于光学部件的成型工具进行说明。

7. 发明申请

WO2011045324A2 VORRICHTUNG, BILDVERARBEITUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR OPTISCHEN ABBILDUNG 审中-公开
标题翻译：设备，图像处理设备和方法用于光学图像
公开(公告)号：WO2011045324A2
公开(公告)日：2011-04-21
申请号：PCT/EP2010/065290
申请日：2010-10-12
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , BRÜCKNER, Andreas , DUPARRE, Jacques , WIPPERMANN, Frank , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
发明人： BRÜCKNER, Andreas , DUPARRE, Jacques , WIPPERMANN, Frank , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： H04N5/225 , G02B3/00
CPC分类号： H04N5/2254 , G02B3/0056 , H04N5/23229 , H04N5/3572
摘要： Es wird eine optische Vorrichtung zur Abbildung mit mindestens einem Mikrolinsenfeld mit mindestens zwei Mikrolinsen und einem Bildsensor mit mindestens zwei Bilddetektorenmatrizen beschrieben. Die zumindest zwei Bilddetektorenmatrizen umfassen jeweils eine Mehrzahl von Bilddetektoren umfassen und es besteht eine Zuordnung zwischen den Bilddetektorenmatrizen und den Mikrolinsen, so dass jede Mikrolinse zusammen mit einer Bilddetektorenmatrize einen optischen Kanal bildet. Die Mittelpunkte der Bilddetektorenmatrizen sind lateral unterschiedlich weit gegenüber auf die Bilddetektorenmatrizen projizierten Flächenschwerpunkten der Mikrolinsenaperturen der zugehörigen optischen Kanäle verschoben, so dass die optischen Kanäle unterschiedliche teilweise überlappende Erfassungsbereiche aufweisen und dass ein Überlappbereich der Erfassungsbereiche zweier Kanäle im Hinblick auf ein Bilddetektorraster der Bilddetektorenmatrizen versetzt, auf die Bilddetektorenmatrizen abgebildet wird. Weiterhin werden eine Bildverarbeitungsvorrichtung und ein Verfahren zur optischen Abbildung beschrieben.
摘要翻译：我们将描述具有至少两个微透镜和具有至少两个Bilddetektorenmatrizen的图像传感器用于成像的至少一个微透镜阵列的光学装置。所述至少两个Bilddetektorenmatrizen各自包括多个图像检测器包括与存在Bilddetektorenmatrizen和微透镜之间的映射，使得每个微透镜形成具有Bilddetektorenmatrize的光信道。所述Bilddetektorenmatrizen的中心横向地到不同的程度相对于投影到Mikrolinsenaperturen的Bilddetektorenmatrizen质心相关联的光通道移位，使得光信道具有不同的部分重叠的检测区域，并且在加入到两个信道相对于检测区域的至Bilddetektorenmatrizen的图像检测器网格的重叠所述Bilddetektorenmatrizen被映射。此外，图像处理装置和用于光学成像的方法进行说明。

8. 发明申请

WO2011076634A1 OPTISCHER SCHICHTSTAPEL UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：光学层叠堆和方法及其
公开(公告)号：WO2011076634A1
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/EP2010/069779
申请日：2010-12-15
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
发明人： WIPPERMANN, Frank , DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： G02B7/00 , G02B7/02 , G02B13/00
CPC分类号： G02B7/028 , G02B7/025
摘要： Ein Optischer Schichtstapel (100) mit einer ersten Schicht (102), einer zweiten Schicht (104), einem der ersten Schicht zugeordneten ersten Abstandshalterteil (106), und einem der zweiten Schicht zugeordneten zweiten Abstandshalterteil (108), wobei die zwei Abstandshalterteile (106; 108) Nut und Feder (110; 112) für ein Ineinandergreifen in einer Stapelrichtung des optischen Schichtstapels aufweisen, um eine Verbindung zwischen dem ersten und dem zweiten Abstandshalterteil (106; 108) und eine Beabstandung der ersten und zweiten Schicht (102; 104) in Stapelrichtung herzustellen, und wobei das erste und das zweite Abstandshalterteil (106; 108) mittels eines Adhäsivs zwischen Nut (110) und Feder (112) miteinander verbunden sind.
摘要翻译：光学层堆叠（100）的第一层（102），第二层（104），所述第一层中的一个相关联的第一间隔部件（106）和所述第二层相关联的第二间隔部件（108），其中，所述两个间隔件（106 ; 108）的榫槽（110;用于在光学层堆叠的堆叠方向上的互锁以创建第一和第二间隔部件（106之间的连接112）; 108）和所述第一层和第二层（102的间距; 104）产生在层叠方向上，并且其中所述第一和第二间隔部件（106; 108）通过所述凹槽（110）和弹簧（112）之间的粘合剂连接在一起。

9. 发明申请

WO2006010622A1 KAMERAMODUL, HIERAUF BASIERENDES ARRAY UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：相机模块，在其中基于阵列和方法及其
公开(公告)号：WO2006010622A1
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：PCT/EP2005/008222
申请日：2005-07-28
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FRESNEL OPTICS GMBH , DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , BITZER, Martin , BRÄUER, Andreas
发明人： DUPARRE, Jacques , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , BITZER, Martin , BRÄUER, Andreas
IPC分类号： G02B13/00 , H04N5/225
CPC分类号： G02B13/0025 , G02B13/0035 , G02B13/006 , H01L27/14618 , H01L27/14625 , H01L27/1464 , H01L2924/0002 , H04N5/2253 , H04N5/2254 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft die Entwicklung kostengünstiger Kameramodule mit darin enthaltenen objektiven mit minimaler Baulänge und hervorragenden optischen Eigenschaften. Hierdurch wird ermöglicht, dass derartige Kameramodule in Mobiltelefonen oder Kleincomputern, wie PDAs (Personal Digital Assistant) einge setzt werden können.
摘要翻译：本发明涉及一种包含具有最小的总长度和优良的光学特性在其中目标便宜的相机模块的开发。这使得有可能在手机和小型电脑这样的相机模块，如PDA（个人数字助理）被设置为。

10. 发明申请

WO2003021237A2 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON TRANSLATIONSBEWEGUNGEN ZWISCHEN EINER OBERFLÄCHE UND EINER MESSVORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：用于测量翻译方法及设备移动之间的表面和测量装置
公开(公告)号：WO2003021237A2
公开(公告)日：2003-03-13
申请号：PCT/DE2002/002982
申请日：2002-08-14
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , BRÄUER, Andreas , BRUNNER, Herbert , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , STEEGMÜLLER, Ulrich , ZEITNER, Uwe
发明人： BRÄUER, Andreas , BRUNNER, Herbert , DANNBERG, Peter , SCHREIBER, Peter , STEEGMÜLLER, Ulrich , ZEITNER, Uwe
IPC分类号： G01N21/00
CPC分类号： G01D5/38
摘要： Zwischen einer Messanordnung (1) und einer Oberfläche (7) werden Translationsbewegungen gemessen, indem eine Lichtquelle (2) einen kohärenten Lichtstrahl (c) mit einer Hauptausbreitungskomponente in z-Richtung auf die sich relativ zu der Messanordnung in der x-y-Ebene bewegende Oberfläche (7) richtet und vor der Oberfläche ein teilreflektierendes Beugungsgitter (4) positioniert wird, das derart ausgebildet ist, dass das daran reflektierte Licht mehrere Beugungsordnungen (r-y, r+y, r-x) Ausbreitungskomponenten in -y - Richtung, in +y - Richtung, in -x - Richtung und in +x - Richtung aufweist, die gleich stark sind, und dass es einen anderen Teil des kohärenten Lichtstrahls (t) durchlässt, um an der Oberfläche (7) gestreut zu werden und sich mit dem am Beugungsgitter reflektierten Licht zu überlagern. Das an der Oberfläche gestreute Licht wird außerdem zirkularpolarisiert. Mehrere Detektoranordnungen (9-y, 9+y, 9-x) empfangen das an dem Beugungsgitter reflektierte Licht, das sich mit dem an der Oberfläche gestreuten Licht (s) überlagert, wobei die Detektoranordnungen jeweils einen Strahlteiler (11) und zwei Detektoren (12, 13) zur Erfassung eines ersten bzw. zweiten Messsignals aufweisen und zwischen den Strahlteilern (11) und den Detektoren (12, 13) eine Vorrichtung (14, 15) zur Erzeugung einer Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal vorgesehen ist. Schließlich werden das erste und das zweite Messsignal einer Auswerteschaltung zugeführt, um die Bewegungsrichtung in y-Richtung und in x-Richtung aus den Vorzeichen der Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal und den Betrag der Bewegung in y-Richtung und in x-Richtung aus der Frequenz der Amplitudenänderungen des ersten und des zweiten Messsignals zu ermitteln.
摘要翻译：的测量装置（1）和一个表面（7）之间的平移运动是由一个光源（2）相干光束（c）与在z方向上的相对于xy平面表面测量装置移动主传播成分（测量 7）对齐，并且表面部分反射衍射光栅（4）被定位时，其被设计为使得光在其上的光的多个衍射级的反射之前（RY，R + Y，RX）散布在-y部件 - 在+ y方向 - 方向，具有方向，这也同样强，并且所述相干光束的另一部分（t）的传递，在所述表面（7）中扩散，并通过衍射光栅反射的光 - 在-x - 方向和在+ x 为叠加。散射光的表面上的光被圆也极化。多个检测器安排（-9-基，9 + Y，9-X）接收所述衍射光栅的反射光与散射的光（S）的表面上的光，其中，所述检测器组件（每一个分束器（11）和两个检测器干扰 12，13），用于检测第一和第二测量信号，以及（分束器11）和用于产生第一和第二测量信号之间的相位差的检测器（12，13）的装置（14，15）之间设置。最后，第一和第二测量信号来评估电路被馈送到运动的在y方向上和在与所述第一和第二测量信号和运动的沿y方向和x方向上的量之间的相位差的正负号x方向上的方向从第一和第二测量信号的振幅变化的频率来确定。

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