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    • 1. 发明申请
    • VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM MESSEN VON TRANSLATIONSBEWEGUNGEN ZWISCHEN EINER OBERFLÄCHE UND EINER MESSVORRICHTUNG
    • 用于测量翻译方法及设备移动之间的表面和测量装置
    • WO2003021237A2
    • 2003-03-13
    • PCT/DE2002/002982
    • 2002-08-14
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.BRÄUER, AndreasBRUNNER, HerbertDANNBERG, PeterSCHREIBER, PeterSTEEGMÜLLER, UlrichZEITNER, Uwe
    • BRÄUER, AndreasBRUNNER, HerbertDANNBERG, PeterSCHREIBER, PeterSTEEGMÜLLER, UlrichZEITNER, Uwe
    • G01N21/00
    • G01D5/38
    • Zwischen einer Messanordnung (1) und einer Oberfläche (7) werden Translationsbewegungen gemessen, indem eine Lichtquelle (2) einen kohärenten Lichtstrahl (c) mit einer Hauptausbreitungskomponente in z-Richtung auf die sich relativ zu der Messanordnung in der x-y-Ebene bewegende Oberfläche (7) richtet und vor der Oberfläche ein teilreflektierendes Beugungsgitter (4) positioniert wird, das derart ausgebildet ist, dass das daran reflektierte Licht mehrere Beugungsordnungen (r-y, r+y, r-x) Ausbreitungskomponenten in -y - Richtung, in +y - Richtung, in -x - Richtung und in +x - Richtung aufweist, die gleich stark sind, und dass es einen anderen Teil des kohärenten Lichtstrahls (t) durchlässt, um an der Oberfläche (7) gestreut zu werden und sich mit dem am Beugungsgitter reflektierten Licht zu überlagern. Das an der Oberfläche gestreute Licht wird außerdem zirkularpolarisiert. Mehrere Detektoranordnungen (9-y, 9+y, 9-x) empfangen das an dem Beugungsgitter reflektierte Licht, das sich mit dem an der Oberfläche gestreuten Licht (s) überlagert, wobei die Detektoranordnungen jeweils einen Strahlteiler (11) und zwei Detektoren (12, 13) zur Erfassung eines ersten bzw. zweiten Messsignals aufweisen und zwischen den Strahlteilern (11) und den Detektoren (12, 13) eine Vorrichtung (14, 15) zur Erzeugung einer Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal vorgesehen ist. Schließlich werden das erste und das zweite Messsignal einer Auswerteschaltung zugeführt, um die Bewegungsrichtung in y-Richtung und in x-Richtung aus den Vorzeichen der Phasendifferenz zwischen dem ersten und dem zweiten Messsignal und den Betrag der Bewegung in y-Richtung und in x-Richtung aus der Frequenz der Amplitudenänderungen des ersten und des zweiten Messsignals zu ermitteln.
    • 的测量装置(1)和一个表面(7)之间的平移运动是由一个光源(2)相干光束(c)与在z方向上的相对于xy平面表面测量装置移动主传播成分(测量 7)对齐,并且表面部分反射衍射光栅(4)被定位时,其被设计为使得光在其上的光的多个衍射级的反射之前(RY,R + Y,RX)散布在-y部件 - 在+ y方向 - 方向, 具有方向,这也同样强,并且所述相干光束的另一部分(t)的传递,在所述表面(7)中扩散,并通过衍射光栅反射的光 - 在-x - 方向和在+ x 为叠加。 散射光的表面上的光被圆也极化。 多个检测器安排(-9-基,9 + Y,9-X)接收所述衍射光栅的反射光与散射的光(S)的表面上的光,其中,所述检测器组件(每一个分束器(11)和两个检测器干扰 12,13),用于检测第一和第二测量信号,以及(分束器11)和用于产生第一和第二测量信号之间的相位差的检测器(12,13)的装置(14,15)之间设置。 最后,第一和第二测量信号来评估电路被馈送到运动的在y方向上和在与所述第一和第二测量信号和运动的沿y方向和x方向上的量之间的相位差的正负号x方向上的方向 从第一和第二测量信号的振幅变化的频率来确定。
    • 2. 发明申请
    • ELEKTROMAGNETISCHE STRAHLUNG STREUENDES ELEMENT
    • 电磁辐射杂散电流元
    • WO2014128298A1
    • 2014-08-28
    • PCT/EP2014/053543
    • 2014-02-24
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
    • ECKSTEIN, Hans-ChristophZEITNER, Uwe
    • G02B5/18G02B27/09G02B5/02
    • G02B5/0221G01B11/24G02B5/0268G02B5/0284G02B5/18G02B27/0012
    • Die Erfindung betrifft ein elektromagnetische Strahlung diffus streuendes optisches Element. Solche optischen Elemente können in nahezu allen Projektionsanwendungen, wie Front- und Rückprojektion, Displayanwendungen, (Kino-) Leinwände und Ähnlichem eingesetzt werden. An einem erfindungsgemäßen optischen Element, ist an dessen Oberfläche ein Oberflächenprofil, das keine sich wiederholende regelmäßige Oberflächenstruktur bildet, vorhanden. Dabei sind Erhebungen ausgebildet, die eine Höhe aufweisen, mit der ein Phasenhub Δφ, der größer als das Zweieinhalbfache der größten eingesetzten Wellenlänge ist, erreichbar und die Erhebungen weisen eine laterale Ausdehnung in jeweils einer Ebene in alle Achsrichtungen auf, die größer als das Fünffache der größten eingesetzten Wellenlänge ist. Die einzelnen Erhebungen sind in den drei Raumachsrichtungen kontinuierlich ausgebildet und dabei sind an den Erhebungen keine Kanten Absätze sowie Sprünge ausgebildet.
    • 本发明涉及一种漫散射的光学元件的电磁辐射。 这样的光学元件可以屏等在几乎所有的投影应用中,如前投和背投显示器应用(电影)被使用。 上的本发明的光学元件是在其表面的表面轮廓,其不形成规则的重复表面结构,本。 这里,在形成隆起具有一高度,在其相位偏移.DELTA;ϕ,其大于两倍半最大波长使用,到达,并且所述隆起具有在一个平面内的横向延伸在所有轴方向,其大于 是五次使用的最长波长。 而在调查未形成边缘和脚跟裂纹各个调查是在三个连续Raumachsrichtungen。