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1. 发明申请

WO2010066247A3 MICROWAVE PLASMA SOURCE AND METHOD FOR FORMING A LINEARLY EXTENDED PLASMA UNDER ATMOSPHERIC PRESSURE CONDITIONS 审中-公开
标题翻译：微波等离子体源及在大气压力条件下形成线性长运行等离子体的方法
公开(公告)号：WO2010066247A3
公开(公告)日：2010-11-11
申请号：PCT/DE2009001765
申请日：2009-12-08
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , ROCH JULIUS , DANI INES , KASKEL STEFAN
发明人： ROCH JULIUS , DANI INES , KASKEL STEFAN
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/46 , H05H2001/463
摘要： The invention relates to a microwave plasma source and to a method for forming a linearly extended plasma under atmospheric pressure conditions. The aim of the invention is to provide a possibility for a large-scale modification of substrate surfaces using a plasma formed under atmospheric pressure conditions, wherein constant conditions can be maintained over the entire surface to be modified. For a microwave plasma source according to the invention, at least one plasma outlet nozzle and at least one inlet for a plasma gas are present at a plasma chamber. At least two units, each having at least one magnetron and a slit antenna, are disposed outside of the plasma chamber at two diametrically opposite sides on a plasma chamber having non-rotationally symmetrical cross sections. The magnetrons can be operated in alternating pulsed mode.
摘要翻译：微波等离子体源和用于在大气压条件下形成线性伸长的等离子体的方法本发明的目的是提供用大气压条件下形成的等离子体对衬底表面进行大规模改性的可能性，其中可在整个待改性表面上保持恒定条件。在根据本发明的微波等离子体源中，等离子体室上存在至少一个等离子体出口喷嘴和至少一个等离子体气体供应源。被连接到等离子体腔室具有非旋转对称的横截面的至少两个单元，它们与至少一种磁控管，和一个缝隙天线形成的，设置在所述等离子体腔室外侧的两个在直径上相对的两侧。 Magentrons将交替脉冲运行。

2. 发明申请

WO2009124542A2 METHOD AND DEVICE FOR IGNITING AN ARC 审中-公开
标题翻译：用于点燃电弧闪光的方法和装置
公开(公告)号：WO2009124542A2
公开(公告)日：2009-10-15
申请号：PCT/DE2009000498
申请日：2009-04-07
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , GRABAU PATRICK , ROCH JULIUS , HOPFE VOLKMAR , DANI INES
发明人： GRABAU PATRICK , ROCH JULIUS , HOPFE VOLKMAR , DANI INES
IPC分类号： H05H1/24
CPC分类号： H05H1/2406 , H05H2001/2412 , H05H2001/3426
摘要： The invention relates to a method and a device for igniting an arc between an anode and a cathode of a plasma source at ambient atmosphere conditions, said cathode being arranged at a distance to the anode and the plasma source being suitable to produce a substrate surface modification. The aim of the invention is to reduce the effort required for igniting an arc and to make the ignition process safer. The invention is characterized in that a barrier discharge is ignited by means of a supplied gas by means of two electrodes that are arranged in parallel to the longitudinal axis between the anode and the cathode, the electrodes being connected to a high voltage generator and being supplied with high-frequency alternating current voltage during ignition. When a direct current voltage is applied to the anode and the cathode, the charge carriers present due to the barrier discharge between the anode and the cathode allow ignition of an arc.
摘要翻译：本发明涉及一种用于点燃在等离子体源一定距离处布置的阳极和阴极之间的电弧的方法和装置，其可以用于在环境大气条件下进行衬底表面改性。本发明的目的是降低点燃等离子体源电弧的费用并使点火过程更安全。在本发明中，该过程是这样的，即通过两个平行于与高压发生器连接的阳极和阴极排列的电极之间的纵向轴线并且在利用高频交流电压点燃时采用供应气体点燃阻挡放电。结果，当施加施加到阳极和阴极的直流电压时，在由阳极和阴极之间的阻挡放电所携带的电荷载流子的情况下，电弧可以被点燃。

3. 发明专利

DE102008018589A1 未知
公开(公告)号：DE102008018589A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：DE102008018589
申请日：2008-04-08
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： GRABAU PATRICK , ROCH JULIUS , HOPFE VOLKMAR , DANI INES
IPC分类号： H05H1/26
摘要： A method and an apparatus relate to an ignition an arc between an anode and a cathode of a plasma source which can be used for a substrate surface modification at environmental atmosphere conditions. The cathode is arranged at a spacing from the anode. This method and the apparatus may reduce the effort for the ignition of an arc of a plasma source and to make the ignition process safer. The method is such that a barrier discharge is ignited with a supplied gas by means of two electrodes which are arranged parallel to the longitudinal axis between the anode and the cathode and are connected to a high-voltage generator and are supplied with a radio frequency electric AC voltage on the ignition. When an electric DC voltage is applied to the anode and to the cathode, an arc can thereby be ignited by means of the charge carriers present between the anode and the cathode due to the barrier discharge.

4. 发明专利

DE102008062619B8 Mikrowellenplasmaquelle und Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasmas beiAtmosphärendruckbedingungen 未知
公开(公告)号：DE102008062619B8
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：DE102008062619
申请日：2008-12-10
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： ROCH JULIUS , DANI INES DR , KASKEL STEFAN PROF DR
IPC分类号： H05H1/46 , H05H1/30

5. 发明专利

DE102008062619B4 Mikrowellenplasmaquelle und Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasma bei Atmosphärendruckbedingen 未知
公开(公告)号：DE102008062619B4
公开(公告)日：2012-01-19
申请号：DE102008062619
申请日：2008-12-10
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： ROCH JULIUS , DANI INES DR , KASKEL STEFAN PROF DR
IPC分类号： H05H1/46 , H05H1/30
摘要： Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle und ein Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasma bei Atmosphärendruckbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, Möglichkeiten für eine großflächige Modifizierung von Substratoberflächen mit einem bei Atmosphärendruckbedingungen gebildeten Plasma zu schaffen, bei denen konstante Bedingungen über die gesamte zu modifizierende Oberfläche eingehalten werden können. Bei einer erfindungsgemäßen Mikrowellenplasmaquelle sind an einer Plasmakammer mindestens eine Plasmaaustrittsdüse und mindestens eine Zuführung für ein Plasmagas vorhanden. An einer Plasmakammer mit nicht rotationssymmetrischem Querschnitt sind mindestens zwei Einheiten, die mit jeweils mindestens einem Magnetron und einer Schlitzantenne gebildet sind, außerhalb der Plasmakammer an zwei sich diametral gegenüberliegenden Seiten angeordnet. Die Magentrons sollen alternierend gepulst betrieben werden.

6. 发明专利

DE102021202964A1 Verfahren und Vorrichtung zum Schneiden einer metallhaltigen Folie und Laser-geschnittene metallhaltige Folie 未知
公开(公告)号：DE102021202964A1
公开(公告)日：2022-09-29
申请号：DE102021202964
申请日：2021-03-25
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： ECKL MAXIMILIAN JOSEF , MÄDER GERRIT , ROCH JULIUS , THÜMMLER PHILIPP , ABENDROTH THOMAS
IPC分类号： B23K26/40 , B23K26/38 , H01L31/18
摘要： Es wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Schneiden einer Folie, die mindestens eine Schicht aus Metall (insbesondere: Lithium) enthält oder daraus besteht, bereitgestellt. Das Verfahren und die Vorrichtung zeichnen sich dadurch aus, dass ein Laser zum Schneiden der Folie und/oder ein Mittel zum Positionieren einer Folie so gesteuert werden, dass gepulste Laserstrahlung, die der Laser in Richtung einer von dem Mittel zum Positionieren einer Folie positionierten Folie strahlt, die mindestens eine Schicht aus Metall der Folie auf eine Art und Weise durchschneidet, dass das Metall der Folie hauptsächlich sublimiert und kaum schmilzt. Mit dem Verfahren und der Vorrichtung ist es möglich, eine Laser-geschnittene Folie bereitzustellen, die keine bzw. nur sehr kleine Wulststrukturen und/oder Metallspritzer aus erstarrtem Metall im Schneidbereich aufweist. Wird die Folie als Bestandteil einer Batterie verwendet, ist deren elektrische Leistungsfähigkeit und Langzeitstabilität höher und das Risiko von Kurzschlüssen in der Batteriezelle geringer.

7. 发明专利

DE102017205417A1 Verfahren zur Ausbildung einer mit poly- oder einkristallinem Diamant gebildeten Schicht 未知
公开(公告)号：DE102017205417A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：DE102017205417
申请日：2017-03-30
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： MÄDER GERRIT , ROCH JULIUS , DIETRICH GEORG
IPC分类号： C23C16/27 , C30B25/18 , C30B29/04
摘要： Bei dem Verfahren zur Ausbildung einer mit poly- oder einkristallinem Diamant gebildeten Schicht auf der Oberfläche eines Substrates oder einer auf einer Oberfläche eines Substrates ausgebildeten Schicht wird in einem ersten Verfahrensschritt eine erste Keimschicht, die mit Kohlenstoff in der sp2- und der sp3-Modifikation gebildet ist, mittels physikalischer Dampfabscheidung von Kohlenstoff auf der jeweiligen Oberfläche abgeschieden wird, wobei als Kohlenstoffquelle ein Target eingesetzt wird, das mit reinem Kohlenstoff gebildet ist, ausgebildet. Mit mindestens einem weiteren Verfahrensschritt wird eine Modifizierung oder Entfernung von abgeschiedenem Kohlenstoff in der sp2-Modifikation sowie ein Wachstum von einkristallinem Diamant auf der Keimschicht mittels chemischer Dampfabscheidung durchgeführt, bei dem als Kohlenstoffquelle eine chemische Kohlenstoffverbindung in Form eines Gases oder einer Flüssigkeit eingesetzt wird.

8. 发明专利

DE102008062619A1 Mikrowellenplasmaquelle und Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasma bei Atmosphärendruckbedingen 未知
公开(公告)号：DE102008062619A1
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：DE102008062619
申请日：2008-12-10
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： ROCH JULIUS , DANI INES , KASKEL STEFAN
IPC分类号： H05H1/46 , H05H1/30
摘要： Die Erfindung betrifft eine Mikrowellenplasmaquelle und ein Verfahren zur Bildung eines linear langgestreckten Plasma bei Atmosphärendruckbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, Möglichkeiten für eine großflächige Modifizierung von Substratoberflächen mit einem bei Atmosphärendruckbedingungen gebildeten Plasma zu schaffen, bei denen konstante Bedingungen über die gesamte zu modifizierende Oberfläche eingehalten werden können. Bei einer erfindungsgemäßen Mikrowellenplasmaquelle sind an einer Plasmakammer mindestens eine Plasmaaustrittsdüse und mindestens eine Zuführung für ein Plasmagas vorhanden. An einer Plasmakammer mit nicht rotationssymmetrischem Querschnitt sind mindestens zwei Einheiten, die mit jeweils mindestens einem Magnetron und einer Schlitzantenne gebildet sind, außerhalb der Plasmakammer an zwei sich diametral gegenüberliegenden Seiten angeordnet. Die Magnetrons sollen alternierend gepulst betrieben werden.

9. 发明专利

DE102007063380A1 未知
公开(公告)号：DE102007063380A1
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：DE102007063380
申请日：2007-12-20
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： MAEDER GERRIT , ROCH JULIUS , KAPHENGST FELIX
IPC分类号： C23C16/44

10. 发明专利

DE102017205613B4 Abscheidevorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102017205613B4
公开(公告)日：2018-10-11
申请号：DE102017205613
申请日：2017-04-03
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG
发明人： ROCH JULIUS , MÄDER GERRIT
IPC分类号： C23C16/511 , C23C16/27
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abscheidevorrichtung und ein Verfahren zum Abscheiden. Die Abscheidevorrichtung weist eine Prozesskammer (1), in der ein Probenhalter (2) und dem Probenhalter (2) gegenüberliegend eine Antenne (3) und eine Kurzschlussplatte (4) angeordnet sind, einen Mikrowellengenerator (5), der elektrisch mit der Antenne (3) verbunden ist, und eine Gaszuführvorrichtung (6) zum Zuführen mindestens eines Prozessgases in die Prozesskammer (1) auf. Die Antenne (3) ist derart angeordnet, dass ein elektromagnetisches Mikrowellenfeld mit einer festen Mode in der Prozesskammer (1) ausgebildet ist, so dass sich oberhalb des Probenhalters (2) ein Plasma (7) aus dem Prozessgas ausbildet, mit dem eine Beschichtung einer Oberfläche einer am Probenhalter (2) angeordneten Probe (11) erreichbar ist. Die Antenne (3) und/oder die Kurzschlussplatte (4) ist gegenüber einer Längsachse (8) der Prozesskammer (1) durch eine Antriebsvorrichtung (9) in mindestens einer translatorischen Bewegung rechtwinklig zu der Längsachse (8) der Prozesskammer (1) und/oder mindestens einer rotatorischen Bewegung um eine von der Längsachse (8) der Prozesskammer (1) abgewinkelte Achse beweglich.

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