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    • 3. 发明申请
    • PROCÉDÉ DE TRANSFERT D'UNE COUCHE MINCE AVEC APPORT D'ÉNERGIE THERMIQUE À UNE ZONE FRAGILISÉE VIA UNE COUCHE INDUCTIVE
    • 用于通过电感层将热能供给薄层转移到脆弱区域的方法
    • WO2014207184A1
    • 2014-12-31
    • PCT/EP2014/063665
    • 2014-06-27
    • COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIES ALTERNATIVES
    • SIGNAMARCHEIX, ThomasAUGENDRE, EmmanuelBENAISSA, Lamine
    • H01L21/762
    • H01L21/76254H01L21/428H01L24/83H01L2224/29147H01L2224/83895
    • L'invention porte sur un procédé de transfert d'une couche mince (3) d'un premier substrat (B) vers un deuxième substrat (A) présentant des coefficients de dilation thermique différents, comprenant les étapes de : - fourniture d'au moins une couche intermédiaire (1) présentant un échauffement par induction, lorsqu'elle est soumise à un champ électromagnétique, supérieur à celui du premier et du deuxième substrats, - mise en contact du premier substrat (B) et du deuxième substrat (A), avec l'au moins une couche intermédiaire (1) intercalée entre eux, - fracture du premier substrat au niveau d'une zone fragilisée comprenant un apport d'énergie thermique au niveau de la zone fragilisée (Z) réalisé par application d'un champ électromagnétique à l'hétérostructure formée par la mise en contact du premier substrat et du deuxième substrat, ladite application générant un échauffement par induction localisé au niveau de la couche intermédiaire qui induit un gradient thermique dont la valeur locale au niveau de la zone fragilisée active le mécanisme de fracture.
    • 本发明涉及一种用于将薄层(3)从第一衬底(B)转移到具有不同热膨胀系数的第二衬底(A)的方法,包括以下步骤: - 提供至少一个中间层(1),其具有 感应加热,当其经受比第一和第二基板的电磁场大的电磁场时, - 将第一基板(B)和第二基板(A)放置成与插入其间的至少一个中间层(1)接触, - 在脆弱区域破碎第一衬底,包括通过施加通过使第一衬底和第二衬底彼此接触而形成的异质结构电磁场而在脆弱区域(Z)提供热能,所述应用通过 在中间层处局部诱导,这导致热梯度,其脆性区域的局部值激活压裂机构。