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1. 发明申请

WO2003076086A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DEKONTAMINATION OPTISCHER OBERFLÄCHEN 审中-公开
标题翻译：方法和装置光学表面去污
公开(公告)号：WO2003076086A1
公开(公告)日：2003-09-18
申请号：PCT/EP2003/002464
申请日：2003-03-11
申请人： CARL ZEISS SMT AG , LÜDECKE, Jens , ZAZCEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜHLPFORDT, Annette , THIER, Michael , WIESNER, Stefan
发明人： LÜDECKE, Jens , ZAZCEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜHLPFORDT, Annette , THIER, Michael , WIESNER, Stefan
IPC分类号： B08B7/00
CPC分类号： G03F7/70925 , B08B7/0057
摘要： 1. Verfahren und Vorrichtung zur Dekontamination optischer Oberflächen. 2.1. Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Dekontamination von Oberflächen strahlführender Optiken unter Verwendung von UV-Strahlung in einer Reinigungsatmosphäre. 2.2. Erfindungsgemäss liegt die Wellenlänge der verwendeten UV-Strahlung in einem Bereich starker Sauerstoffabsorption, und die Reinigungsatmosphäre weist eine Sauerstoffkonzentration kleiner als diejenige von Luft auf. 2.3. Verwendung z.B. zur Reinigung der Oberflächen strahlführender Optiken von Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlagen.
摘要翻译： 1.一种用于光学表面的净化方法和设备。 2.1。本发明涉及一种用于光束导向光学器件的表面的净化的方法和装置，用紫外辐照在清洁的气氛。 2.2。根据本发明，在氧的强吸收的区域所使用的UV辐射，并且清洁大气的波长的氧浓度小于空气的。 2.3。例如使用用于清洁微光刻投射曝光系统的光束导向光学元件的表面上。

2. 发明申请

WO2006053705A1 VERFAHREN ZUM SCHUTZ EINES METALLSPIEGELS GEGEN DEGRADATION SOWIE METALLSPIEGEL 审中-公开
标题翻译：一种保护金属镜抗降解和金属镜
公开(公告)号：WO2006053705A1
公开(公告)日：2006-05-26
申请号：PCT/EP2005/012197
申请日：2005-11-15
申请人： CARL ZEISS SMT AG , ZACZEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜLLENDER, Angelika , HAIDL, Markus , FELDERMANN, Horst
发明人： ZACZEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜLLENDER, Angelika , HAIDL, Markus , FELDERMANN, Horst
IPC分类号： G02B5/08 , G02B1/11
CPC分类号： G02B5/283 , G02B1/111 , G02B5/0808
摘要： Bei einem Verfahren zum Schutz eines Metallspiegels für Ultraviolettstrahlung mit Wellenlängen zwischen ca. 120 nm und ca. 260 nm gegen Degradation von Reflexionseigenschaften durch Umwelteinflüsse wird ein Metallspiegel, der bei einer bevorzugten Ausführungsform eine Metallschicht aus Aluminium hat, mit einer Schutzschicht beschichtet, die bei einer bevorzugten Variante aus Chiolith (Na5AI3F14) besteht. Ein derartig dielektrisch geschützter Metallspiegel weist im Vergleich zu herkömmlichen dielektrisch geschützten Metallspiegeln eine geringere Degradation des Reflexionsvermögens bei Lagerung in Umgebungsatmosphäre auf. Auch die Beständigkeit gegen Degradation durch UV-Strahlung ist gegenüber herkömmlichen dielektrisch geschützten Metallspiegeln verbessert.
摘要翻译：在用于保护金属反射镜为约120nm至约260 nm至的反射特性由于环境影响降解之间的波长的紫外辐射的方法中，具有的铝金属层的金属镜，在一个优选实施例中，在涂有保护层锥冰晶石的优选的变体（Na5AI3F14）组成。这样的电介质保护层的金属反射镜，相对于传统的介质保护金属反射镜反射率的下降解当存储在环境大气中。另外，为了降解抗性通过UV辐射比常规的介电保护的金属反射镜提高。

3. 发明申请

WO2004025370A1 OPTISCHES ABBILDUNGSSYSTEM, INSBESONDERE KATADIOPTRISCHES REDUKTIONSOBJEKTIV 审中-公开
标题翻译：光影像系统，尤其是反折射缩小透镜
公开(公告)号：WO2004025370A1
公开(公告)日：2004-03-25
申请号：PCT/EP2003/009253
申请日：2003-08-21
申请人： CARL ZEISS SMT AG , ZACZEK, Christoph , MECKING, Birgit , ULLMANN, Jens , WAGNER, Christian
发明人： ZACZEK, Christoph , MECKING, Birgit , ULLMANN, Jens , WAGNER, Christian
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G02B17/0892 , G02B17/08 , G03F7/70225 , G03F7/70308 , G03F7/70566
摘要： Ein optisches Abbildungssystem, das beispielsweise als katadioptrisches Projektionsobjektiv ausgebildet sein kann, hat eine optische Achse, einen ersten Umlenkspiegel, der gegenüber der optischen Achse um einen ersten Kippwinkel gekippt ist und einen zweiten Umlenkspiegel, der gegenüber der optischen Achse um einen zweiten Kippwinkel gekippt ist. Bei einem der Umlenkspiegel ist ein Verhältnis Rsp zwischen dem Reflexionsgrad Rs für s-polarisiertes Licht und dem Reflexionsgrad Rp für p-polarisiertes Licht in einem den Kippwinkel umfassenden Inzidenzwinkelbereich größer als eins, während das entsprechende Verhältnis beim anderen Umlenkspiegel kleiner als eins ist. Dadurch kann eine polarisationsanhängige Beeinflussung des durchtretenden Lichtes durch die Umlenkspiegel gering gehalten werden.
摘要翻译：其可以例如为具有一个光轴的反射折射投影物镜形成的成像光学系统中，第一偏转镜，其由第一倾斜角和第二反射镜，其由一个第二倾斜角相对于光轴倾斜相对于光学轴线倾斜。在偏转镜中的一个是所述反射率R S为s偏振光和在入射角范围大于一的一个综合的倾斜角的反射率卢比为p偏振光之间的比率RSP，而在另一个偏转反射镜的相应比例是小于一。此可以保持低偏振未决通过反射镜影响透射光。

4. 发明公开

EP1483063A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DEKONTAMINATION OPTISCHER OBERFLÄCHEN 有权
标题翻译：方法和装置光学表面去污
公开(公告)号：EP1483063A1
公开(公告)日：2004-12-08
申请号：EP03718683.0
申请日：2003-03-11
申请人： Carl Zeiss SMT AG
发明人： LÜDECKE, Jens , ZAZCEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜHLPFORDT, Annette , THIER, Michael , WIESNER, Stefan
IPC分类号： B08B7/00
CPC分类号： G03F7/70925 , B08B7/0057
摘要： The invention relates to a method and device for the decontamination of the surfaces of beam guiding lenses using UV-radiation in a cleaning atmosphere. According to the invention, the wavelength of the UV-radiation thus used lies in a region of high oxygen absorption and the cleaning atmosphere has an oxygen concentration lower than that of the air.

5. 发明授权

EP1483063B1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR DEKONTAMINATION OPTISCHER OBERFLÄCHEN 有权
标题翻译：方法和装置光学表面去污
公开(公告)号：EP1483063B1
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：EP03718683.0
申请日：2003-03-11
申请人： Carl Zeiss SMT AG
发明人： LÜDECKE, Jens , ZAZCEK, Christoph , PAZIDIS, Alexandra , ULLMANN, Jens , MÜHLPFORDT, Annette , THIER, Michael , WIESNER, Stefan
IPC分类号： B08B7/00
CPC分类号： G03F7/70925 , B08B7/0057
摘要： The invention relates to a method and device for the decontamination of the surfaces of beam guiding lenses using UV-radiation in a cleaning atmosphere. According to the invention, the wavelength of the UV-radiation thus used lies in a region of high oxygen absorption and the cleaning atmosphere has an oxygen concentration lower than that of the air.

6. 发明公开

EP1532490A1 OPTISCHES ABBILDUNGSSYSTEM, INSBESONDERE KATADIOPTRISCHES REDUKTIONSOBJEKTIV 有权
标题翻译：光影像系统，尤其是反折射缩小透镜
公开(公告)号：EP1532490A1
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：EP03794908.8
申请日：2003-08-21
申请人： Carl Zeiss SMT AG
发明人： ZACZEK, Christoph , MECKING, Birgit , ULLMANN, Jens , WAGNER, Christian
IPC分类号： G03F7/20 , G02B17/08 , G02B5/08
CPC分类号： G02B17/0892 , G02B17/08 , G03F7/70225 , G03F7/70308 , G03F7/70566
摘要： The invention relates to an optical reproduction system, which can be configured for example as a catadioptric projection lens. Said system comprises an optical axis, a first deflection mirror, which is tilted in relation to the optical axis at a first tilt angle and a second deflection mirror, which is tilted in relation to the optical axis at a second tilt angle. One of the deflection mirrors has a ratio Rsp of the reflection coefficient Rs for s-polarised light to the reflection coefficient Rp for p-polarised light, in an incidence angle range that includes the tilt angle, of greater than one, whereas the corresponding ratio for the other deflection mirror is less than one. The deflection mirrors thus ensure that the polarisation-dependent influence of the traversing light remains minimal.

7. 发明申请

WO2009143243A1 HIGH TEMPERATURE CERAMIC DIE PACKAGE AND DUT BOARD SOCKET 审中-公开
标题翻译：高温陶瓷包装和被测板插座
公开(公告)号：WO2009143243A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/US2009/044676
申请日：2009-05-20
申请人： QUALITAU, INC. , BENSING, Thomas, G. , RAMIREZ, Adalberto, M. , ULLMANN, Jens , HERSCHMANN, Jacob , SYLVIA, Robert, J. , EVANS, Maurice, C.
发明人： BENSING, Thomas, G. , RAMIREZ, Adalberto, M. , ULLMANN, Jens , HERSCHMANN, Jacob , SYLVIA, Robert, J. , EVANS, Maurice, C.
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2884 , H01L22/32 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： A strip-shaped package is provided that can accept a single die up to many dice. Conduction paths are printed (or otherwise integrally formed) thereon to the edge of the package, and a complementary socket may be provided that, in combination with the strip-shaped package, provides for electrical connection to test electronics without the use of package leads. The strip-shaped package may be made of ceramic or other temperature resistant material. The strip-shaped package may have at least one "well" location in which the die or dice may be affixed to the strip-shaped package. The strip may have notches configured to function as separators between the individual die housings (and related integrally-formed conduction paths).
摘要翻译：提供了一种条形包装，可以接受多达骰子的单个模具。导电路径在其上打印（或以其它方式一体形成）到封装的边缘，并且可以提供互补插座，其与条形封装组合提供电连接到测试电子器件而不使用封装引线。带状包装可以由陶瓷或其他耐温材料制成。条形包装可以具有至少一个“井”位置，其中模具或骰子可以固定到条形包装。带材可以具有构造成用作各个模具外壳（和相关的整体形成的导电路径）之间的隔板的凹口。

8. 发明申请

WO2009105144A1 ELECTROMIGRATION TESTER FOR HIGH CAPACITY AND HIGH CURRENT 审中-公开
标题翻译：高容量和高电流电磁测试仪
公开(公告)号：WO2009105144A1
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：PCT/US2008/087009
申请日：2008-12-16
申请人： QUALITAU, INC. , ULLMANN, Jens
发明人： ULLMANN, Jens
IPC分类号： G01R31/27
CPC分类号： G01R31/2858
摘要： An electronic device under test (DUT) may be incorporated into a circuit having a voltage limiter connected in parallel with the DUT. The circuit includes a controlled current source having an output current connected in series with the DUT. The voltage limiter is characterized in that, when the output current is such that the voltage across the DUT (Vdut) would exceed a particular maximum voltage Vmax, without the voltage limiter in place, at least a portion of the output current flows through the voltage limiter, so as to limit Vdut to be less than or equal to Vmax.. When the output current is such that Vdut would be less than or equal to Vmax, current does not flow through the voltage limiter. The circuit may include a plurality of DUTs, each DUT connected in series with the output current of a controlled current source, with a voltage limiter connected in parallel with each DUT.
摘要翻译：被测电子器件（DUT）可以并入具有与DUT并联连接的限压器的电路中。该电路包括具有与DUT串联连接的输出电流的受控电流源。电压限制器的特征在于，当输出电流使得DUT上的电压（Vdut）将超过特定的最大电压Vmax时，没有电压限制器就位，输出电流的至少一部分流过电压限制器，以将Vdut限制为小于或等于Vmax。当输出电流使Vdut小于或等于Vmax时，电流不流过限压器。电路可以包括多个DUT，每个DUT与受控电流源的输出电流串联，其中限压器与每个DUT并联连接。

9. 发明申请

WO2009002630A1 HIGH TEMPERATURE CERAMIC SOCKET CONFIGURED TO TEST PACKAGED SEMICONDUCTOR DEVICES 审中-公开
标题翻译：配置到测试包装半导体器件的高温陶瓷插座
公开(公告)号：WO2009002630A1
公开(公告)日：2008-12-31
申请号：PCT/US2008/063902
申请日：2008-05-16
申请人： QUALITAU, INC. , YSAGUIRRE, Jose , ULLMANN, Jens , RAMIREZ, Adalberto M. , SYLVIA, Robert J.
发明人： YSAGUIRRE, Jose , ULLMANN, Jens , RAMIREZ, Adalberto M. , SYLVIA, Robert J.
IPC分类号： H05K1/00
CPC分类号： G01R1/0433
摘要： A test socket assembly is for use in testing integrated circuits. A single piece socket is formed substantially of an insulating material and having a plurality of holes formed therein configured to receive a plurality of electrically conductive springs. Each hole of the single piece socket has therein a separate one of the electrically conductive springs. A test socket includes a plurality of pins configured to receive leads of an integrated circuit, the pins of the test socket extending into the plurality of holes of the single piece socket with each pin engaging a spring, wherein the single piece socket is positioned on a circuit board with the plurality of holes being in alignment with electrical contacts on the circuit board such that the plurality of springs are electrically interconnecting the contacts and the plurality of pins. The single-piece socket is comprised substantially of a high-temperature insulating material, such as ceramic.
摘要翻译：测试插座组件用于测试集成电路。单件插座基本上由绝缘材料形成，并且具有形成在其中的多个孔，构造成容纳多个导电弹簧。单件插座的每个孔都具有单独的一个导电弹簧。测试插座包括被配置为接收集成电路的引线的多个引脚，测试插座的引脚延伸到单个插座的多个孔中，每个引脚与弹簧接合，其中单个插座位于所述多个孔与所述电路板上的电触点对准，使得所述多个弹簧将所述触点和所述多个销电连接。单件式插座基本上由诸如陶瓷的高温绝缘材料构成。

10. 发明申请

WO2005060568A2 PULSED CURRENT GENERATOR CIRCUIT WITH CHARGE BOOSTER 审中-公开
标题翻译：带充电器的脉冲电流发生器电路
公开(公告)号：WO2005060568A2
公开(公告)日：2005-07-07
申请号：PCT/US2004/040591
申请日：2004-12-02
申请人： QUALITAU, INC. , CUEVAS, Peter , KRIEGER, Gedaliahoo , EVANS, Maurice , ULLMANN, Jens
发明人： CUEVAS, Peter , KRIEGER, Gedaliahoo , EVANS, Maurice , ULLMANN, Jens
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2841
摘要： A pulsed current generator circuit for providing current pulses to a device under test includes a current source for applying a current to the device under test and a controlled current shunt for shunting current from the device under test. A booster circuit is provided for supplying a booster current to the device under test when the controlled current shunt is opened and current again flows through the device under test, thereby facilitating recharge of a parasitic capacitance associated with the device under test
摘要翻译：用于向被测器件提供电流脉冲的脉冲电流发生器电路包括用于将电流施加到被测器件的电流源和用于从被测器件分流电流的受控电流分流器。提供升压电路，用于在受控电流分流器断开并且电流再次流过被测器件时向被测器件提供升压电流，从而有助于对与被测器件相关的寄生电容的再充电

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