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1. 发明公开

KR20180030187A 구동 및 검출 겸용 MEMS 요레이트 센서 审中-公开
标题翻译： MEMS Yorite传感器用于驱动和检测
公开(公告)号：KR20180030187A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20187004673
申请日：2016-05-24
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： WELLNER PATRICK , KUHLMANN BURKHARD , HATTASS MIRKO
IPC分类号： G01C19/5719
CPC分类号： G01C19/5719
摘要： 본발명은주 연장평면을구비한기판과, 기판에대해상대운동이가능한하나이상의구조를포함하는요레이트센서에관한것이며, 구조는주 연장평면에대해실질적으로평행한구동방향에대해실질적으로평행한이동성분을갖는진동을하도록구조자신의휴지위치로부터여기될수 있고, 상기요레이트센서는진동의여기를위해구조와함께종동하는하나이상의빗 모양전극과, 기판에상대적으로고정되어있는하나이상의빗 모양전극을포함하고, 종동형빗 모양전극및/또는고정형빗 모양전극으로의전압인가를통해여기가야기될수 있으며, 종동형빗 모양전극및 고정형빗 모양전극은, 구동방향에대해실질적으로수직인검출방향을따르는힘 성분으로구조에작용하는힘 작용이구동방향에대해실질적으로수직으로, 그리고검출방향에대해실질적으로수직으로연장되는축을중심으로하는요레이트센서의요레이트를기반으로검출될수 있도록형성된다.
摘要翻译：本发明主要涉及一种包括能够相对运动的一个或多个结构相对于衬底的横摆率传感器，具有延伸平面基板，该结构基本上平行于基本平行于相对于主延伸平面的驱动方向振荡传感器可以从其静止位置被激励以与移动部件一起振荡，偏航率传感器包括一个或多个与该结构一起工作的用于激励振动的梳形电极以及一个或多个梳状物包括成形电极，和物种同种型梳状电极和/或通过施加到固定梳形电极的电压，这是引起的，物种同种型的梳状电极和固定梳状电极基本上垂直于驱动方向作为沿着检测方向的力分量作用在结构上的力基本垂直于运动方向，并且轴基本上垂直于检测方向它形成了基于偏航率传感器的横摆率进行检测。

2. 发明公开

KR20180030186A 구동 모드에서 최소화된 간섭 이동을 갖는 요레이트 센서 审中-公开
标题翻译：偏航率传感器在驱动模式下具有最小的干涉行程
公开(公告)号：KR20180030186A
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：KR20187004670
申请日：2016-05-24
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： LASSL ANDREAS , KUHLMANN BURKHARD , HATTASS MIRKO , HOEPPNER CHRISTIAN , SCHMIDT BENJAMIN , BALSLINK THORSTEN
IPC分类号： G01C19/5747
CPC分类号： G01C19/5747
摘要： 본발명은, 주연장평면을구비한기판과; 기판에대해상대운동가능한하나이상의제1 구조와; 기판에상대적으로, 그리고제1 구조에대해상대운동가능한하나이상의제2 구조를; 포함하는요레이트센서에관한것이며, 상기요레이트센서는제1 축에대해실질적으로평행한이동성분으로제1 구조의휴지위치로부터제1 구조를편향시키기위한하나이상의제1 구동구조를포함하며, 상기요레이트센서는제1 축에대해실질적으로평행한이동성분으로제2 구조의휴지위치로부터제2 구조를편향시키기위한하나이상의제2 구동구조를포함하며, 제1 구조및 제2 구조는제1 축에대해실질적으로평행한이동성분을갖는실질적으로역위상인진동을하도록여기될수 있으며, 제1 구동구조는, 제1 스프링이실질적으로주 연장평면에대해수직으로연장되는제2 축에대해평행하게연장되는축을중심으로하는제1 구조의회동을저지하는방식으로, 기판상에고정되는하나이상의제1 스프링을포함하며, 제2 구동구조는, 제2 스프링이실질적으로제2 축에대해평행하게연장되는또 다른축을중심으로하는제2 구조의회동을저지하는방식으로, 기판상에고정되는하나이상의제2 스프링을포함한다.
摘要翻译：根据本发明，提供了一种液晶显示器，包括：具有外围长平面的衬底; 至少一个相对于基板的第一结构; 至少一个第二结构相对于衬底并且相对于第一结构; 其中偏航率传感器包括至少一个第一驱动结构，用于利用相对于第一轴线的基本上平行的运动分量使第一结构从第一结构的静止位置偏转，其中偏航率传感器包括至少一个第二驱动结构，用于利用相对于第一轴线的基本上平行的运动分量将第二结构从第二结构的静止位置偏转，基本上基本上具有在平行移动分量的倒商家振动可以在这里为第一轴，第一驱动结构包括平行于竖直延伸的第二轴线紧贴大致主延伸平面的第一弹簧其中，第二驱动结构构造成使第二弹簧在基本平行于第二轴线的方向上移动，使得第二弹簧基本平行于第二轴线，扩展到还以这样的方式，以防止所述第二结构的所述旋转传递到其他中心轴，它包括至少一个第二弹簧被固定到基板上。

3. 发明申请

WO2015117817A3 SENSOR DEVICE AND METHOD FOR OPERATING A SENSOR DEVICE HAVING AT LEAST ONE SEISMIC MASS 审中-公开
标题翻译：传感器器件和用于操作的传感设备与至少一个地震GROUND
公开(公告)号：WO2015117817A3
公开(公告)日：2015-10-29
申请号：PCT/EP2015051055
申请日：2015-01-21
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAUL ROBERT , HATTASS MIRKO , SCHEBEN ROLF
IPC分类号： G01C19/574
CPC分类号： G01C19/574
摘要： The invention relates to a sensor device, comprising at least one first seismic mass (10a) and an operating apparatus (14), by means of which at least the first seismic mass (10a) can be put into oscillatory motion in such a way that a projection of the oscillatory motion of the first seismic mass (10a) onto a first spatial direction (16a) is a first harmonic oscillation of the first seismic mass (10a) having a first frequency (F1) along the first spatial direction (16a), wherein at the same time a projection of the oscillatory motion of the first seismic mass (10a) onto a second spatial direction (16b) oriented at an angle to the first spatial direction (16a) is a second harmonic oscillation of the first seismic mass (10a) having a second frequency (f2) not equal to the first frequency (f1) along the second spatial direction (16b). The invention further relates to a method for operating a sensor device having at least one seismic mass (10a, 10b).
摘要翻译：本发明涉及一种具有至少借助于该至少第一振动质量（10A）是这样设定成摆动运动的第一振动质量（10A），并且操作者设备（14）的传感器装置中，所述第一检验质量块的摆动运动的突出部（10A 是），其具有沿所述第一空间方向（16A）的第一频率（F1），第一振动质量（10A）的第一谐波（第一空间方向16A），同时所述第一检验质量块（10A）的所涉及的摆动运动的一个投影（16b）的所述第一振动质量（10A）沿所述第二空间方向的第二谐波具有第二频率（F2）不同于第一频率（F1）的（16B）倾斜于对准的第一空间方向（16A）第二空间方向。此外，本发明涉及一种方法，用于与至少一个地震震动质量操作的传感器装置（10A，10B）。

4. 发明专利

DE102020200348A1 LiDAR System 未知
公开(公告)号：DE102020200348A1
公开(公告)日：2021-07-15
申请号：DE102020200348
申请日：2020-01-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HEUSSNER NICO , HATTASS MIRKO , NEUSTADT ALF
IPC分类号： G01S17/10 , G01S7/484 , G01S17/89 , G01S17/93
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Lidarsystem (1) aufweisend zumindest eine Lichtquelle (2) zum Aussenden eines Lichtpulses entlang einer optischen Achse (100), zumindest eine Umlenkeinrichtung (3), die ausgebildet ist, die optische Achse (100) in mindestens einer ersten Raumrichtung (X) und einer zweiten Raumrichtung (Y) abzulenken, eine Steuereinheit (4) zum Aktivieren und Deaktivieren der Lichtquelle (2), wobei die Umlenkeinrichtung (3) ausgebildet ist, die optische Achse (100) in sowohl in der ersten Raumrichtung (X) als auch in der zweiten Raumrichtung (Y) oszillierend abzulenken, sodass die optische Achse (100) ein zweidimensionales Scanmuster (9) wiederholt durchläuft, wobei die oszillierende Ablenkung der optischen Achse (100) in der ersten Raumrichtung (X) durch wiederholte erste Teilbewegungen (5) sowie den ersten Teilbewegungen (5) entgegengesetzte zweite Teilbewegungen (6) erreicht ist, wobei die oszillierende Ablenkung der optischen Achse (100) in der zweiten Raumrichtung (Y) durch wiederholte dritte Teilbewegungen (7) sowie den dritten Teilbewegungen (7) entgegengesetzte vierte Teilbewegungen (8) erreicht ist, wobei die Steuereinheit (4) ausgebildet ist, an vordefinierten Stellen des Scanmusters (9), nachfolgend Pixel (12, 13) genannt, die Lichtquelle (2) zum Aussenden jeweils eines Lichtpulses anzusteuern, und wobei die Steuereinheit (4) ausgebildet ist, während der ersten Teilbewegungen (5) und/oder dritten Teilbewegungen (7) die Lichtquelle (2) an anderen Pixeln (12, 13) zum Aussenden jeweils eines Lichtpulses anzusteuern als während der zweiten Teilbewegungen (6) und/oder vierten Teilbewegungen (8).

5. 发明专利

DE102010039240B4 Beschleunigungssensor 未知
公开(公告)号：DE102010039240B4
公开(公告)日：2021-06-24
申请号：DE102010039240
申请日：2010-08-12
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： REINMUTH JOCHEN , BOESSENDOERFER RALF , FRANKE AXEL , HATTASS MIRKO
IPC分类号： G01P15/08 , G01P15/125
摘要： Beschleunigungssensor (1) mit einer seismischen Masse (4) und einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisenden Substrat (3), wobei die seismische Masse (4) eine Asymmetrie der seismischen Masse (7) aufweist, wobei die seismische Masse (4) mit dem Substrat (3) über ein Kopplungselement (9) verbunden ist, wobei die seismische Masse (4) durch eine senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) wirkende translative Beschleunigung um eine Rotationsachse (103) auslenkbar ist, wobei der Beschleunigungssensor (1) ein Messmittel zur Messung einer im Bereich des Messmittels bewirkten Auslenkung der seismischen Masse (4) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass der Beschleunigungssensor (1) ein Auslenkungsmittel zur Auslenkung der seismischen Masse (4) um die Rotationsachse (103) aufweist, wobei das Auslenkungsmittel zur Auslenkung eines Teilbereichs der seismischen Masse (4) in eine vorgegebene Auslenkungslage (41) und/oder zur Bewirkung einer vorgegebenen Drehmomentbeaufschlagung auf die seismische Masse (4) konfiguriert ist, wobei das Auslenkungsmittel ein erstes Auslenkungselement (10) an der seismischen Masse (4) und ein zweites Auslenkungselement (20) am Substrat (3) aufweist, wobei das erste Auslenkungselement (10) eine erste Kammstruktur (11) und das zweite Auslenkungselement (20) eine zweite Kammstruktur (21) aufweisen, wobei die erste Kammstruktur (11) und die zweite Kammstruktur (21) zum Ineinandergreifen konfiguriert sind, wobei das Messmittel wenigstens eine erste Elektrode (5') an der seismischen Masse (4) und wenigstens eine zweite Elektrode (5) am Substrat (3) aufweist, wobei sich eine Projektion der ersten Elektrode (5') entlang einer senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) verlaufenden Projektionsrichtung und eine Projektion der zweiten Elektrode (5) entlang der senkrecht zur Haupterstreckungsebene (100) verlaufenden Projektionsrichtung zumindest teilweise überlappen.

6. 发明专利

DE102018215142A1 Sensoreinheit eines Fahrzeugs 未知
公开(公告)号：DE102018215142A1
公开(公告)日：2020-03-12
申请号：DE102018215142
申请日：2018-09-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAURER THOMAS , KIENZLE MARKUS , HATTASS MIRKO , MITTER MARQUES DEBORA MARIA , SCHULTZ INGMAR
IPC分类号： G12B15/02 , B60R16/02
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Sensoreinheit (1) umfassend ein Gehäuse (6) mit Kühlrippen (2), sowie einen Kühlaufsatz (3), der auf die Kühlrippen (2) aufgesetzt ist und einen Fluideinlass (4) sowie einen Fluidauslass (5) aufweist, sodass ein Fluid entlang der Kühlrippen (2) strömbar ist, wobei durch die Anordnung von Kühlrippen (2) und Kühlaufsatz (3) zwischen Fluideinlass (4) und Fluidauslass (5) ein vordefinierter Temperaturgradient an dem Gehäuse (6) eingestellt ist.

7. 发明专利

FR2965047B1 CAPTEUR DE VITESSE DE ROTATION 未知
公开(公告)号：FR2965047B1
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：FR1157769
申请日：2011-09-02
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： HATTASS MIRKO , SCHMIDT BENJAMIN
IPC分类号： G01C19/56 , B81B3/00 , B81B7/02

8. 发明专利

DE102015213450A1 MEMS Drehratensensor mit kombiniertem Antrieb und Detektion 未知
公开(公告)号：DE102015213450A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：DE102015213450
申请日：2015-07-17
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： WELLNER PATRICK , KUHLMANN BURKHARD , HATTASS MIRKO
IPC分类号： G01C19/5719 , B81B3/00 , B81B7/02 , G01C19/5733
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen Struktur vorgeschlagen, wobei die Struktur aus einer Ruhelage der Struktur zu einer Schwingung mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer Antriebsrichtung im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene anregbar ist, wobei der Drehratensensor zur Anregung der Schwingung mindestens eine mit der Struktur mitbewegte Kammelektrode und mindestens eine relativ zum Substrat feststehende Kammelektrode umfasst, wobei durch Spannungsbeaufschlagung der mitbewegten Kammelektrode und/oder der feststehenden Kammelektrode die Anregung bewirkbar ist, wobei die mitbewegte Kammelektrode und die feststehende Kammelektrode derart ausgebildet sind, dass eine Kraftwirkung auf die Struktur mit einer Kraftkomponente entlang einer Detektionsrichtung im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung aufgrund einer Drehrate des Drehratensensors um eine im Wesentlichen senkrecht zu der Antriebsrichtung und im Wesentlichen senkrecht zu der Detektionsrichtung verlaufenden Achse detektierbar ist.

9. 发明专利

DE102014221546A1 Mikroelektronische Bauelementanordnung mit einer Mehrzahl von Substraten und entsprechendes Herstellungsverfahren 未知
公开(公告)号：DE102014221546A1
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：DE102014221546
申请日：2014-10-23
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： NEUL REINHARD , OHMS TORSTEN , HATTASS MIRKO , ANTE FREDERIK , HEUCK FRIEDJOF , SCHELLING CHRISTOPH
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , G01L9/00 , G01P15/08 , G01R33/00 , H01L25/16
摘要： Die Erfindung schafft eine mikroelektronische Bauelementanordnung mit einer Mehrzahl von Substraten und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikroelektronische Bauelementanordnung mit einer Mehrzahl von Substraten umfasst ein erstes Substrat (C1), welches als Schaltungssubstrat mit einem ersten Integrationsgrad ausgebildet ist, ein zweites Substrat (C2), welches als Schaltungssubstrat mit einem zweiten Integrationsgrad ausgebildet ist und ein drittes Substrat (C3), welches als MEMS-Sensorsubstrat ausgebildet ist und auf das zweite Substrat (C2) gebondet ist. Zweites und drittes Substrat sind auf das erste Substrat (C1) gebondet. Der erste Integrationsgrad ist wesentlich größer als der zweite Integrationsgrad.

10. 发明专利

DE102013208828A1 Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors 未知
公开(公告)号：DE102013208828A1
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：DE102013208828
申请日：2013-05-14
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： MAUL ROBERT , KUHLMANN BURKHARD , HATTASS MIRKO , AMELING RALF , SCHMIDT BENJAMIN , SCHEBEN ROLF , BALSLINK THORSTEN
IPC分类号： G01C19/5705 , B81B7/02 , G01C19/5712
摘要： Es wird ein Drehratensensor zur Detektion einer Rotationsbewegung des Drehratensensors um eine Rotationsachse vorgeschlagen, wobei sich die Rotationsachse innerhalb einer Antriebsebene des Drehratensensors erstreckt, wobei der Drehratensensor ein erstes Rotationselement, ein zweites Rotationselement und eine parallel zur Antriebsebene bewegbare Antriebsstruktur aufweist, wobei das erste Rotationselement um ein erstes Rotationszentrum zu einer zur Antriebsebene parallelen ersten Rotationsschwingung antreibbar ist, wobei das zweite Rotationselement um ein zweites Rotationszentrum zu einer zur Antriebsebene parallelen zweiten Rotationsschwingung antreibbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Antriebsstruktur mit dem ersten Rotationselement und mit dem zweiten Rotationselement gekoppelt ist, wobei die Antriebsstruktur zur Erzeugung einer gegenphasigen Antriebsmode der ersten Rotationsschwingung und der zweiten Rotationsschwingung konfiguriert ist.

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