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1. 发明公开

KR1020070030624A 복합전원을 이용한 대기압 플라즈마 발생장치 및 방법 失效
标题翻译：使用复合电源产生大气压力等离子体的装置和方法
公开(公告)号：KR1020070030624A
公开(公告)日：2007-03-16
申请号：KR1020050085425
申请日：2005-09-13
申请人： 주식회사 피에스엠
发明人： 이근호 , 심연근 , 홍정미 , 김정순 , 이해룡 , 김주완 , 김동훈 , 정재명
IPC分类号： H05H1/30 , H05H1/34
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32082 , H01J37/32458 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H01J37/32733 , H05H2001/4645
摘要： 본 발명은, 복합전원을 이용한 대기압 플라즈마 발생장치 및 방법에 관한 것으로서, 하나의 활성전극이 고전압의 전력을 인가받아 접지전극과의 사이에 플라즈마를 점화, 생성하고, 그 후, 먼저 생성된 플라즈마를 시드(seed)로 하여 나머지 다른 활성전극이 전력을 인가받아 고밀도의 플라즈마를 접지전극과의 사이에 생성시킬 있는 대기압 플라즈마 발생장치의 제공을 그 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명은 반응기체 존재 하에 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생장치를 개시한다. 본 발명에 따른 대기압 플라즈마 발생장치는, 접지전극과; 서로 다른 전압 및 주파수 대역을 갖는 제 1 및 제 2 전원과; 상기 제 1 전원으로부터 전력을 인가받아, 상기 접지전극과의 사이에서 플라즈마를 점화, 생성시키는 제 1 활성전극과; 상기 제 2 전원으로부터 전력을 인가받고 상기 제 1 활성전극 부근에서 생성된 플라즈마를 시드(seed)로 하여 상기 접지전극 사이에 플라즈마를 발생시키는 제 2 활성전극을; 포함하는 것을 특징으로 한다.
복합전원, 활성전극, RF, MF, 플라즈마, 반응기체, 접지전극

2. 发明授权

KR100771509B1 복합전원을 이용한 대기압 플라즈마 발생장치 및 방법 失效
标题翻译：使用复合电源产生大气压等离子体的装置和方法
公开(公告)号：KR100771509B1
公开(公告)日：2007-10-30
申请号：KR1020050085425
申请日：2005-09-13
申请人： 주식회사 피에스엠
发明人： 이근호 , 심연근 , 홍정미 , 김정순 , 이해룡 , 김주완 , 김동훈 , 정재명
IPC分类号： H05H1/30 , H05H1/34
摘要： 본 발명은, 복합전원을 이용한 대기압 플라즈마 발생장치 및 방법에 관한 것으로서, 하나의 활성전극이 고전압의 전력을 인가받아 접지전극과의 사이에 플라즈마를 점화, 생성하고, 그 후, 먼저 생성된 플라즈마를 시드(seed)로 하여 나머지 다른 활성전극이 전력을 인가받아 고밀도의 플라즈마를 접지전극과의 사이에 생성시킬 있는 대기압 플라즈마 발생장치의 제공을 그 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명은 반응기체 존재 하에 플라즈마를 발생시키는 대기압 플라즈마 발생장치를 개시한다. 본 발명에 따른 대기압 플라즈마 발생장치는, 접지전극과; 서로 다른 전압 및 주파수 대역을 갖는 제 1 및 제 2 전원과; 상기 제 1 전원으로부터 전력을 인가받아, 상기 접지전극과의 사이에서 플라즈마를 점화, 생성시키는 제 1 활성전극과; 상기 제 2 전원으로부터 전력을 인가받고 상기 제 1 활성전극 부근에서 생성된 플라즈마를 시드(seed)로 하여 상기 접지전극 사이에 플라즈마를 발생시키는 제 2 활성전극을; 포함하는 것을 특징으로 한다.
복합전원, 활성전극, RF, MF, 플라즈마, 반응기체, 접지전극

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