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1. 发明授权

KR101356215B1 기판 처리 장치 有权
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR101356215B1
公开(公告)日：2014-01-29
申请号：KR1020120044288
申请日：2012-04-27
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 김남경
IPC分类号： H01L21/67 , G02F1/13 , H01L21/205 , H01L21/324
摘要： 기판 처리 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판 처리 장치는 도어의 운동방향과 평행하게 결합된 지지수단의 안내로에 센서의 삽입돌기를 삽입하여 센서를 지지수단에 결합한다. 그러면, 센서의 전후방향 위치를 조절할 필요가 없고, 상하방향 위치만 조절하면 되므로, 센서를 간편하게 설치할 수 있다. 그리고, 지지수단에 결합된 센서와 대향되게 피감지체를 도어에 결합하므로, 피감지체를 도어에 용이하게 결합할 수 있다. 따라서, 센서와 피감지체의 조립작업이 간편하므로, 기판 처리 장치의 양산시 생산성이 향상되는 효과가 있다.
摘要翻译：公开了一种衬底处理设备。根据本发明的基板处理设备将传感器的插入突起插入到与门的运动方向平行耦合的支撑装置的引导路径中，由此将传感器耦合到支撑装置。然后，无需调整传感器的前后位置，只需调整垂直位置即可，因此传感器可以很容易安装。由于触摸传感器耦合到门以面向耦合到支撑装置的传感器，所以触摸传感器可以容易地耦合到门。因此，由于传感器和触摸表面的组装工作简单，所以提高了基板处理设备的批量生产的生产率。

2. 发明公开

KR1020160012481A 배치식 기판처리 장치 审中-实审
标题翻译：用于处理基板的批量类型设备
公开(公告)号：KR1020160012481A
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：KR1020140093977
申请日：2014-07-24
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 강호영 , 김남경
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67098 , H01L21/324 , H01L21/67248
摘要： 배치식기판처리장치가개시된다. 본발명에따른배치식기판처리장치는, 챔버내에서복수개의기판(10)이처리되는배치식기판처리장치로서, 상기챔버에는복수개의기판(10)이적층된보트(100)가수용되고, 보트(100)에는복수개의기판(10)에대응하는복수개의히터(110)가배치되며, 각각의히터(110)는챔버벽에설치된피드스루(140)를통해전력을공급받는것을특징으로한다.
摘要翻译：公开了一种用于处理衬底的分批式设备。在本发明的基板处理用间歇式装置中，作为在室内进行多个基板（10）的处理的基板的分批式装置，容纳有容纳基板（100）的基板（100） 10）相对应的多个加热器（110）布置在船（100）中，并且每个加热器（110）通过安装在室壁上的馈通（140）接收电力。

3. 发明公开

KR1020130121257A 기판 처리 장치 有权
标题翻译：加工基材的装置
公开(公告)号：KR1020130121257A
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：KR1020120044288
申请日：2012-04-27
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 김남경
IPC分类号： H01L21/67 , G02F1/13 , H01L21/205 , H01L21/324
CPC分类号： H01L21/67126 , H01L21/67259
摘要： A substrate processing device is disclosed. The substrate processing device according to the present invention joins a sensor to a supporting member by inserting an insertion protrusion of the sensor into a guide route of the supporting member which is joined to the sensor to be parallel to a door moving direction. Then, the longitudinal position of the sensor is not needed to be adjusted, and only the vertical position of the sensor is needed to be adjusted so that the installation of the sensor is facilitated. Furthermore, a body to be sensed is joined to a door to face the sensor joined to the supporting member so that the body to be sensed is easily joined to the door. Therefore, the productivity of the substrate processing device is improved in case of the mass production of the substrate processing device by easily assembling the sensor and the body to be sensed.
摘要翻译：公开了一种基板处理装置。根据本发明的基板处理装置通过将传感器的插入突起插入到与传感器接合以平行于门移动方向的支撑构件的引导路径中，将传感器连接到支撑构件。然后，传感器的纵向位置不需要调整，只需要调整传感器的垂直位置，便于传感器的安装。此外，待感测的身体被连接到门以面对连接到支撑构件的传感器，使得待感测的身体容易地接合到门。因此，通过容易地组装传感器和要感测的身体来大量生产基板处理装置，基板处理装置的生产率得到改善。

4. 发明授权

KR101593536B1 배치식 기판처리 장치 有权
标题翻译：用于处理基板的批量类型设备
公开(公告)号：KR101593536B1
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：KR1020150053195
申请日：2015-04-15
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 설준호 , 임현옥 , 김남경 , 염현진 , 박경완
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/56 , H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 배치식기판처리장치(10)가개시된다. 본발명에따른배치식기판처리장치(10)는, 복수개의기판(50)이처리되는배치식기판처리장치(10)로서, 복수개의기판(50)이로딩/언로딩되는복수개의슬롯(s)을포함하고, 기판처리공간을제공하는챔버(105)를포함하는본체(100); 및본체(100)의전면에배치되어적어도하나의슬롯(s)을개폐하는도어유닛(110, 120)을포함하는것을특징으로한다.

5. 发明公开

KR1020150073888A 배치식 기판처리 장치 有权
标题翻译：用于处理基板的批量类型设备
公开(公告)号：KR1020150073888A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：KR1020150053195
申请日：2015-04-15
申请人： 주식회사 테라세미콘
发明人： 설준호 , 임현옥 , 김남경 , 염현진 , 박경완
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/56 , H01L21/677 , H01L21/673
摘要： 배치식기판처리장치(10)가개시된다. 본발명에따른배치식기판처리장치(10)는, 복수개의기판(50)이처리되는배치식기판처리장치(10)로서, 복수개의기판(50)이로딩/언로딩되는복수개의슬롯(s)을포함하고, 기판처리공간을제공하는챔버(105)를포함하는본체(100); 및본체(100)의전면에배치되어적어도하나의슬롯(s)을개폐하는도어유닛(110, 120)을포함하는것을특징으로한다.
摘要翻译：公开了一种间歇式基板处理装置（10）。根据本发明的间歇式基板处理装置（10）涉及用于处理基板（50）的间歇式基板处理装置（10）。它包括一个主体（100），它包括一个腔室，该腔室包括用于装载/卸载衬底（50）的槽，并提供衬底处理空间; 以及设置在主体（100）的前侧并关闭/打开至少一个槽的门单元（110,120）。

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