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    • 1. 发明申请
    • 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법
    • 激光反射掩模及其制造方法
    • WO2011027972A2
    • 2011-03-10
    • PCT/KR2010/004772
    • 2010-07-21
    • 위아코퍼레이션 주식회사윤형열박래황김수찬이찬구김용문
    • 윤형열박래황김수찬이찬구김용문
    • H01L21/027
    • G03F1/52G03F1/50
    • 본 발명은 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 빔의 반사영역에 소정 깊이의 반사막 매립홈이 형성되어 있는 베이스 기판 상부에 반사율 차이를 갖는 반사막을 순차적으로 반복해서 적층하고, 화학기계연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)공정이나, 레이저 빔의 조사 또는 식각용액을 통한 리프트 오프(Lift-off) 공정을 통해 반사막 매립홈에 매립된 부분을 제외한 나머지 영역에 적층된 반사막을 제거하여 홈에 매립된 형태의 반사막 패턴을 형성함으로써 마스크의 제조공정을 용이하게 하는 동시에 정확한 패턴을 형성할 수 있는 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 레이저 반사형 마스크 제조방법은, 베이스 기판 상부에 희생막을 형성하는 단계와; 상기 베이스 기판에서 레이저 빔의 반사영역으로 예정된 영역에 대한 식각공정을 통해, 상기 희생막 및 상기 베이스 기판을 리세스하여 희생막패턴 및 소정 깊이의 반사막 매립홈을 형성하는 단계와; 상기 희생막패턴 및 반사막 매립홈이 형성된 베이스 기판 상부에 반사율이 서로 다른 제1반사막과 제2반사막을 상기 반사막 매립홈이 완전히 매립될 때까지 교대로 반복해서 적층하는 단계와; 상기 베이스 기판의 저면 방향으로부터 상기 베이스 기판에 레이저 빔을 조사하여 상기 희생막패턴과 상기 희생막패턴 상부에 적층된 상기 제1 및 제2반사막을 제거하는 레이저 리프트 오프(laser lift-off)공정을 통해 상기 반사막 매립홈에 매립된 형태의 반사막패턴을 형성하는 단계; 및 상기 베이스 기판 상부에 잔류하는 상기 희생막패턴을 제거하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种激光反射掩模及其制造方法,更具体地涉及一种激光反射掩模及其制造方法,其可以促进掩模处理,并通过顺序和重复堆叠来精确地形成图案 在基板上具有不同反射率的反射层,其中在激光束反射区域中限定其中具有预定深度的反射层填充凹部的反射层,并且通过借助于 化学机械抛光(CMP)工艺,激光束照射或用蚀刻溶液的剥离过程,以便形成填充凹部的反射层图案。 根据本发明的制造激光反射掩模的方法包括以下步骤:在基板上形成牺牲层; 通过在区域上通过蚀刻工艺在所述基板上形成激光束反射区域,通过在所述牺牲层和所述基板上形成凹陷来形成具有预定深度的凹陷的牺牲层图案和反射层; 在其上形成有牺牲层图案和反射层填充凹部的基板上交替地和重复堆叠具有相互不同的反射率的第一反射层和第二反射层,直到反射层凹陷完全被填充; 通过进行激光剥离处理来形成填充反射层填充凹部的反射层图案,所述激光剥离处理从基板下方的方向照射基板上的激光束,以去除牺牲层图案,并且将第一和第二反射层堆叠在牺牲层上 层图案; 以及去除残留在基板上的牺牲层图案的剩余部分。
    • 2. 发明申请
    • 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치
    • 选择性薄膜拆卸设备使用分开的激光束
    • WO2012148117A2
    • 2012-11-01
    • PCT/KR2012/002928
    • 2012-04-18
    • 위아코퍼레이션 주식회사김수찬이시영이찬구배현섭
    • 김수찬이시영이찬구배현섭
    • B23K26/36
    • B23K26/0676B23K26/0648B23K26/0823B23K26/0853B23K26/0869B23K26/364B23K26/38B23K26/40B23K2201/42B23K2203/50
    • 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치가 개시된다. 본 발명에 따른 박막 제거장치는, deep UV 파장의 엑시머 레이저빔을 생성하는 빔생성부와, 레이저빔을 분할하여 분할빔을 출력하는 두 개 이상의 헤드부와, 가공 대상물의 상부에서 헤드부가 직선 이동할 수 있도록 하는 헤드지지부와, 헤드부의 하부에 위치하고 평면 상에서 위치 이동이 가능한 스테이지와, 각각의 헤드부를 헤드지지부 상에서 독립적으로 이동시켜 위치 설정하는 헤드구동부를 포함한다. 그리고 헤드부는, 분할빔의 온오프를 가능하게 하는 빔셔터와, 가공 대상물의 상단에서 분할빔의 균일도를 향상하기 위한 빔균질기와, 가공 대상물의 상부에서 분할빔을 축소하는 프로젝션 렌즈 유닛을 포함한다.
    • 公开了使用分割的激光束的选择性薄膜去除装置。 本发明的薄膜去除装置包括:用于产生深紫外波长的准分子激光束的光束产生单元; 两个或更多个头单元,用于通过分割激光束来输出分束; 头部支撑单元,用于使头单元能够从处理对象的上部线性移动; 位于每个头单元的下部并且可以在平面上移动的台阶; 以及头驱动单元,用于独立地从热支撑单元移动每个头单元以设置每个头单元的位置。 另外,头单元包括:用于使分割光束能够开/关的光束快门; 光束均化器,用于改善处理目标的上端处的分束的均匀性; 以及用于减小处理对象的上部的分割光束的投影透镜单元。
    • 4. 发明申请
    • 촬영화상의 카메라 자세 추정 시스템 및 방법
    • 用于估计具有拍摄图像的相机的姿态的系统和方法
    • WO2012134237A2
    • 2012-10-04
    • PCT/KR2012/002415
    • 2012-03-30
    • 에스케이씨앤씨 주식회사정원조이찬구
    • 정원조이찬구
    • G06T7/00H04N5/232
    • H04N5/225G06T7/33G06T2207/10032G06T2207/30244
    • 본 발명은 촬영화상의 카메라 자세 추정 시스템 및 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 촬영화상의 카메라 자세 정보를 정밀하게 결정할 수 있는 시스템 및 방법에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명의 일실시예에 따른 촬영화상의 카메라 자세 추정 시스템은 타이포인트 추출부, 카메라 자세 정보 보정부 및 타이포인트 판단부를 포함할 수 있다. 상기 타이포인트 추출부는 서로 다른 촬영화상으로부터 타이포인트(tie point)들을 추출한다. 상기 카메라 자세 정보 보정부는 상기 추출된 타이포인트들을 기초로 상기 촬영화상의 카메라 자세 정보를 보정한다. 상기 타이포인트 추출부는, 상기 카메라 자세 정보의 보정에 사용된 타이포인트들의 개수가 상기 기준범위에 속하지 않는 경우, 타이포인트를 추가로 지정한다.
    • 本发明涉及一种用于估计拍摄图像的相机的姿态的系统和方法,更具体地,涉及一种可以准确地确定关于拍摄图像的相机的姿态的信息的系统和方法。 为此,根据本发明的一个实施例的用于估计拍摄图像的相机的姿态的系统可以包括连接点提取单元,相机姿态信息校正单元和连接点确定单元。 连接点提取单元从各种拍摄图像中提取连接点。 相机姿态信息校正单元基于提取的连接点来校正拍摄了所述图像的相机的姿态信息。 当在相机姿态信息的校正中使用的连接点的数量不在参考范围内时,连接点提取单元指定附加的连接点。
    • 5. 发明公开
    • 루어낚시용 인조미끼
    • 人造鱼捕鱼
    • KR1020120066291A
    • 2012-06-22
    • KR1020100127551
    • 2010-12-14
    • 이찬구
    • 이찬구
    • A01K85/01A01K85/00
    • A01K85/18A01K85/01B29L2031/7002
    • PURPOSE: An artificial bait for lure fishing is provided to improve a fish collecting and inducing effect by actively moving under water. CONSTITUTION: An artificial bait for lure fishing comprises a body unit(10) and a skirt unit(20). The body unit is made of soft plastics and has a bait shape. The skirt unit is made of soft plastics and has a plurality of cut units capable of improving a fish collecting and inducing effect by moving under water. The cut units have different colors and generate different sounds.
    • 目的:提供诱饵钓鱼的人造诱饵,通过积极地在水下移动来提高鱼的收集和诱导效果。 构成:用于诱捕的人造诱饵包括身体单元(10)和裙部单元(20)。 身体单位由软塑料制成,具有诱饵形状。 裙子单元由软塑料制成,并具有能够通过在水下移动来改善鱼的收集和诱导效果的多个切割单元。 切割单位具有不同的颜色并产生不同的声音。
    • 9. 发明公开
    • 자석판이 내장된 모자
    • 带有磁盘的CAP
    • KR1020100030759A
    • 2010-03-19
    • KR1020080089632
    • 2008-09-11
    • 이찬구
    • 이찬구
    • A42B1/24A42C5/04A42B1/06
    • A42B1/24A42B1/061A42C5/04
    • PURPOSE: A hat in which a magnet plate is included is provided to enable a user to freely attach goods including iron to the hat during fishing while the user is wearing the hat by including the magnet plate in a visor part and a body portion of the hat. CONSTITUTION: A hat in which a magnet plate is included comprises: a twofold cloth; a body(106) in which the magnetic plate is included between the cloths and which covers the head of a user; and a visor(206) for secluding sunlight which is composed of the twofold cloth and is fixed to the front lower part of the body. The magnet plate(104) includes a plurality of through-holes to aerate the cloths.
    • 目的:提供包括磁板的帽子,以使使用者能够在使用者佩戴帽子的同时,在钓鱼时将包含铁的货物自由地附接到帽子上,方法是将磁板包括在遮阳板部分和 帽子。 构成:包括磁板的帽子包括:双重布; 主体(106),其中所述磁性板被包括在所述布之间并且覆盖所述用户的头部; 以及用于遮蔽阳光的遮阳板(206),其由双重布构成并且固定到身体的前下部。 磁体板(104)包括多个通孔以使织物通气。
    • 10. 实用新型
    • 자동 포장기
    • 自动包装机
    • KR2019970058264U
    • 1997-11-10
    • KR2019960008237
    • 1996-04-17
    • 이찬구
    • 이찬구
    • B65B3/00B65B5/00
    • 본고안은포장박스에피포장물인제품을효율적으로자동포장할수 있는새로운구조의자동포장기에관한것이다. 본고안에따르면, 자동포장기의제품적재이송기구에적재된제품이푸싱기구에의해이송될때, 적재된제품과맞닿아슬라이드되는지지판을구비함으로써, 제품이다수단적재되어상대적으로고속으로이송되더라도적재된제품이무너지는일이방지된다. 더욱이, 제품이단면원형또는만곡면의형태를취하더라도용이하게적재이송할수 있으므로편리하고, 다양한형태의제품의자동포장기에적용할수 있다.
    • 本文涉及一种新型自动包装机,该包装机可以有效地包装作为包装盒外包装的产品。 根据在本文中,一个时,通过提供具有该滑动装产品保持板接触装载由推动机构供给的自动包装机的产品载荷传递装置上的产品,该产品是用于装载的装置,即使在高速下装载产品相对运 防止被折叠。 此外,具有产品中的圆形部分中,或者可以很容易地甚至堆叠馈送只拿表面的形式,这样方便,并且可以被应用于各种类型的产品的自动包装机。