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    • 1. 发明申请
    • 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법
    • 激光反射掩模及其制造方法
    • WO2011027972A2
    • 2011-03-10
    • PCT/KR2010/004772
    • 2010-07-21
    • 위아코퍼레이션 주식회사윤형열박래황김수찬이찬구김용문
    • 윤형열박래황김수찬이찬구김용문
    • H01L21/027
    • G03F1/52G03F1/50
    • 본 발명은 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 빔의 반사영역에 소정 깊이의 반사막 매립홈이 형성되어 있는 베이스 기판 상부에 반사율 차이를 갖는 반사막을 순차적으로 반복해서 적층하고, 화학기계연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)공정이나, 레이저 빔의 조사 또는 식각용액을 통한 리프트 오프(Lift-off) 공정을 통해 반사막 매립홈에 매립된 부분을 제외한 나머지 영역에 적층된 반사막을 제거하여 홈에 매립된 형태의 반사막 패턴을 형성함으로써 마스크의 제조공정을 용이하게 하는 동시에 정확한 패턴을 형성할 수 있는 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 레이저 반사형 마스크 제조방법은, 베이스 기판 상부에 희생막을 형성하는 단계와; 상기 베이스 기판에서 레이저 빔의 반사영역으로 예정된 영역에 대한 식각공정을 통해, 상기 희생막 및 상기 베이스 기판을 리세스하여 희생막패턴 및 소정 깊이의 반사막 매립홈을 형성하는 단계와; 상기 희생막패턴 및 반사막 매립홈이 형성된 베이스 기판 상부에 반사율이 서로 다른 제1반사막과 제2반사막을 상기 반사막 매립홈이 완전히 매립될 때까지 교대로 반복해서 적층하는 단계와; 상기 베이스 기판의 저면 방향으로부터 상기 베이스 기판에 레이저 빔을 조사하여 상기 희생막패턴과 상기 희생막패턴 상부에 적층된 상기 제1 및 제2반사막을 제거하는 레이저 리프트 오프(laser lift-off)공정을 통해 상기 반사막 매립홈에 매립된 형태의 반사막패턴을 형성하는 단계; 및 상기 베이스 기판 상부에 잔류하는 상기 희생막패턴을 제거하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
    • 本发明涉及一种激光反射掩模及其制造方法,更具体地涉及一种激光反射掩模及其制造方法,其可以促进掩模处理,并通过顺序和重复堆叠来精确地形成图案 在基板上具有不同反射率的反射层,其中在激光束反射区域中限定其中具有预定深度的反射层填充凹部的反射层,并且通过借助于 化学机械抛光(CMP)工艺,激光束照射或用蚀刻溶液的剥离过程,以便形成填充凹部的反射层图案。 根据本发明的制造激光反射掩模的方法包括以下步骤:在基板上形成牺牲层; 通过在区域上通过蚀刻工艺在所述基板上形成激光束反射区域,通过在所述牺牲层和所述基板上形成凹陷来形成具有预定深度的凹陷的牺牲层图案和反射层; 在其上形成有牺牲层图案和反射层填充凹部的基板上交替地和重复堆叠具有相互不同的反射率的第一反射层和第二反射层,直到反射层凹陷完全被填充; 通过进行激光剥离处理来形成填充反射层填充凹部的反射层图案,所述激光剥离处理从基板下方的方向照射基板上的激光束,以去除牺牲层图案,并且将第一和第二反射层堆叠在牺牲层上 层图案; 以及去除残留在基板上的牺牲层图案的剩余部分。
    • 4. 发明申请
    • 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치
    • 选择性薄膜拆卸设备使用分开的激光束
    • WO2012148117A2
    • 2012-11-01
    • PCT/KR2012/002928
    • 2012-04-18
    • 위아코퍼레이션 주식회사김수찬이시영이찬구배현섭
    • 김수찬이시영이찬구배현섭
    • B23K26/36
    • B23K26/0676B23K26/0648B23K26/0823B23K26/0853B23K26/0869B23K26/364B23K26/38B23K26/40B23K2201/42B23K2203/50
    • 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치가 개시된다. 본 발명에 따른 박막 제거장치는, deep UV 파장의 엑시머 레이저빔을 생성하는 빔생성부와, 레이저빔을 분할하여 분할빔을 출력하는 두 개 이상의 헤드부와, 가공 대상물의 상부에서 헤드부가 직선 이동할 수 있도록 하는 헤드지지부와, 헤드부의 하부에 위치하고 평면 상에서 위치 이동이 가능한 스테이지와, 각각의 헤드부를 헤드지지부 상에서 독립적으로 이동시켜 위치 설정하는 헤드구동부를 포함한다. 그리고 헤드부는, 분할빔의 온오프를 가능하게 하는 빔셔터와, 가공 대상물의 상단에서 분할빔의 균일도를 향상하기 위한 빔균질기와, 가공 대상물의 상부에서 분할빔을 축소하는 프로젝션 렌즈 유닛을 포함한다.
    • 公开了使用分割的激光束的选择性薄膜去除装置。 本发明的薄膜去除装置包括:用于产生深紫外波长的准分子激光束的光束产生单元; 两个或更多个头单元,用于通过分割激光束来输出分束; 头部支撑单元,用于使头单元能够从处理对象的上部线性移动; 位于每个头单元的下部并且可以在平面上移动的台阶; 以及头驱动单元,用于独立地从热支撑单元移动每个头单元以设置每个头单元的位置。 另外,头单元包括:用于使分割光束能够开/关的光束快门; 光束均化器,用于改善处理目标的上端处的分束的均匀性; 以及用于减小处理对象的上部的分割光束的投影透镜单元。
    • 6. 发明公开
    • 마취용 튜브 고정 장치
    • 管固定装置
    • KR1020130084511A
    • 2013-07-25
    • KR1020120005346
    • 2012-01-17
    • 이재학김수찬최갑철
    • 이재학
    • A61M16/01A61M39/08
    • PURPOSE: A device for fixing a tube for anesthesia is provided to fix the tube which is inserted through the oral cavity of a patient on an operation table. CONSTITUTION: A device for fixing a tube for anesthesia comprises a support part (10), an adjustable pipe (20), and a tube holder (30). The support part is detachably fixed to the operation table. The adjustable pipe is combined with one end of the support part and is able to move at a desired angle. The tube holder is combined with the other end of the adjustable pipe and holds the tube for anesthesia. The support part is screw-coupled with a frame unit inserted into the side of the operation table through the screw thread of a through-hole formed on the frame unit. The support part includes a support control unit which fixes the bottom of the operation table. The adjustable pipe is made of a cobra pipe and freely adjusts an angle, a height, a length, and a direction.
    • 目的:提供一种用于固定用于麻醉的管的装置,用于将插入通过患者口腔的管固定在手术台上。 构成:用于固定用于麻醉的管的装置包括支撑部分(10),可调管(20)和管夹(30)。 支撑部可拆卸地固定在操作台上。 可调节管道与支撑部件的一端结合,能够以所需的角度移动。 管支架与可调节管的另一端组合,并将管保持在麻醉之下。 支撑部分通过形成在框架单元上的通孔的螺纹与插入操作台侧面的框架单元螺纹连接。 支撑部分包括固定操作台底部的支撑控制单元。 可调管道由眼镜蛇管制成,可自由调节角度,高度,长度和方向。
    • 7. 发明公开
    • 오동나무 안마봉
    • PAULOWNIA按摩棒
    • KR1020160051261A
    • 2016-05-11
    • KR1020140150884
    • 2014-11-03
    • 백강수전중찬김수찬
    • 전중찬
    • A61H23/06A61H7/00
    • 본발명은안마시신체와접촉하는안마부와 'ㄱ'자형태로결합하는손잡이부로구성된오동나무안마봉에관한것으로서, 안마봉전체의무게가가벼워안마부위에무리를주지않으면서도혼자서손쉽게신체각 부위를안마할수 있다. 오동나무는가공이용이한재질특성을가지므로대량생산에유리하며, 습기에강하고내해충성및 항균성이있을뿐만아니라잘 뒤틀리거나휘지않으므로, 본발명에따른안마봉은반영구적으로사용할수 있다.
    • 泡桐按摩棒本发明涉及一种泡桐木按摩棒,其能够容易地按摩身体部位,并且不会对身体部位施加不必要的压力,因为按摩棒是轻量的。 按摩棒包括按摩单元,与按摩期间按摩的身体接触; 以及以L形联接到所述按摩单元的手柄单元。 根据本发明的按摩棒可以半永久使用,因为泡桐具有以下效果:容易加工; 在批量生产中有利地使用; 具有很强的抗潮性,抗虫性和抗菌性; 并且几乎不弯曲或扭曲。
    • 8. 实用新型
    • 소음저감 수단이 구비된 냉각탑
    • 具有降噪装置的冷却塔
    • KR200481973Y1
    • 2016-12-13
    • KR2020160002804
    • 2016-05-23
    • 김수찬
    • 김수찬
    • F28C1/10G10K11/16
    • F28C1/10G10K11/16G10K2210/3219
    • 본고안은, 냉각탑에있어서, 내부에수용공간이형성된소정형상의제1케이싱; 상기케이싱상방에서상기제1케이싱의상기수용공간을외부와연통시키도록형성되는제2케이싱; 상기제2케이싱내부에구비되어, 상기제1케이싱내부로부터공기를흡입하여외부로배출시키는송풍유닛; 상기제1케이싱상에구비되며, 상기송풍유닛의동작에기반하여, 외부의공기를상기제2케이싱내부로흡입하기위한하나이상의흡입구; 상기제1케이싱의상기수용공간상에구비되며, 중공형의패턴을가지도록형성되어, 외부로부터공급되는가열된물이경유되며, 상기흡입구로흡입되는공기를통해경유되는상기가열된물을냉각시키기위한방열체; 및상기제2케이싱의내부에구비되어, 상기송풍유닛의동작에기반하여발생되는소음을저감시키기위한하나이상의제1방음체를포함하는소음저감수단이구비된냉각탑을제공한다. 따라서, 냉각탑상에서증발잠열과현열에의한열이동구현으로냉각을수행하는과정에서냉각탑상의소음을보다용이하고효과적으로저감시키는것이가능하다.
    • 9. 发明公开
    • 범죄 영상의 공개를 통한 범죄 예방 시스템 및 그 방법
    • 通过发布犯罪案件图像预防犯罪的制度和方法
    • KR1020140050185A
    • 2014-04-29
    • KR1020120115970
    • 2012-10-18
    • 김수찬
    • 김수찬
    • G06Q50/10H04N7/18G08B13/196
    • G06Q50/10G08B13/19669H04N7/188
    • The present invention relates to a system and a method for preventing a crime by disclosing a crime scene video, capable of solving crimes and maximally preventing crimes by allowing people to access to a video classified as a crime scene video among surveillance videos photographed in a certain surveillance area through a communication network. A crime prevention server according to the present invention comprises: a video receiving means to receive surveillance videos from at least one local surveillance device; a video storing means to classify and store the received surveillance videos based on at least either a surveillance area intrinsic number or a photographing data; and a video disclosure managing means to allow an external access to a video classified as a crime scene video among the stored surveillance videos. [Reference numerals] (12) Crime prevention server; (14) Web server; (16) Investigation agency server; (18) User terminal; (AA) Communication network; (BB) Surveillance area 1; (CC) Local surveillance device 1; (DD) Surveillance area 2; (EE) Local surveillance device 2; (FF) Surveillance area N; (GG) Local surveillance device N
    • 本发明涉及一种通过披露犯罪现场视频来预防犯罪的系统和方法,该犯罪现场视频能够通过允许人们以某种​​方式拍摄的监视视频中允许人们访问分类为犯罪现场视频的视频,从而最大程度地防止犯罪 监控区域通过通信网络。 根据本发明的犯罪预防服务器包括:视频接收装置,用于从至少一个本地监视装置接收监视视频; 视频存储装置,用于基于至少监视区域本征号码或拍摄数据来对所接收的监视视频进行分类和存储; 以及视频公开管理装置,用于允许外部访问所存储的监视视频中被分类为犯罪现场视频的视频。 (附图标记)(12)犯罪预防服务器; (14)Web服务器; (16)调查机构服务器; (18)用户终端; (AA)通讯网络; (BB)监控区1; (CC)本地监控设备1; (DD)监控区2; (EE)本地监控设备2; (FF)监视区域N; (GG)本地监视设备N