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1. 发明申请

WO2011027972A2 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：激光反射掩模及其制造方法
公开(公告)号：WO2011027972A2
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：PCT/KR2010/004772
申请日：2010-07-21
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사 , 윤형열 , 박래황 , 김수찬 , 이찬구 , 김용문
发明人： 윤형열 , 박래황 , 김수찬 , 이찬구 , 김용문
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G03F1/52 , G03F1/50
摘要： 본 발명은 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 레이저 빔의 반사영역에 소정 깊이의 반사막 매립홈이 형성되어 있는 베이스 기판 상부에 반사율 차이를 갖는 반사막을 순차적으로 반복해서 적층하고, 화학기계연마(Chemical Mechanical Polishing, CMP)공정이나, 레이저 빔의 조사 또는 식각용액을 통한 리프트 오프(Lift-off) 공정을 통해 반사막 매립홈에 매립된 부분을 제외한 나머지 영역에 적층된 반사막을 제거하여 홈에 매립된 형태의 반사막 패턴을 형성함으로써 마스크의 제조공정을 용이하게 하는 동시에 정확한 패턴을 형성할 수 있는 레이저 반사형 마스크 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 레이저 반사형 마스크 제조방법은, 베이스 기판 상부에 희생막을 형성하는 단계와; 상기 베이스 기판에서 레이저 빔의 반사영역으로 예정된 영역에 대한 식각공정을 통해, 상기 희생막 및 상기 베이스 기판을 리세스하여 희생막패턴 및 소정 깊이의 반사막 매립홈을 형성하는 단계와; 상기 희생막패턴 및 반사막 매립홈이 형성된 베이스 기판 상부에 반사율이 서로 다른 제1반사막과 제2반사막을 상기 반사막 매립홈이 완전히 매립될 때까지 교대로 반복해서 적층하는 단계와; 상기 베이스 기판의 저면 방향으로부터 상기 베이스 기판에 레이저 빔을 조사하여 상기 희생막패턴과 상기 희생막패턴 상부에 적층된 상기 제1 및 제2반사막을 제거하는 레이저 리프트 오프(laser lift-off)공정을 통해 상기 반사막 매립홈에 매립된 형태의 반사막패턴을 형성하는 단계; 및 상기 베이스 기판 상부에 잔류하는 상기 희생막패턴을 제거하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种激光反射掩模及其制造方法，更具体地涉及一种激光反射掩模及其制造方法，其可以促进掩模处理，并通过顺序和重复堆叠来精确地形成图案在基板上具有不同反射率的反射层，其中在激光束反射区域中限定其中具有预定深度的反射层填充凹部的反射层，并且通过借助于化学机械抛光（CMP）工艺，激光束照射或用蚀刻溶液的剥离过程，以便形成填充凹部的反射层图案。根据本发明的制造激光反射掩模的方法包括以下步骤：在基板上形成牺牲层; 通过在区域上通过蚀刻工艺在所述基板上形成激光束反射区域，通过在所述牺牲层和所述基板上形成凹陷来形成具有预定深度的凹陷的牺牲层图案和反射层; 在其上形成有牺牲层图案和反射层填充凹部的基板上交替地和重复堆叠具有相互不同的反射率的第一反射层和第二反射层，直到反射层凹陷完全被填充; 通过进行激光剥离处理来形成填充反射层填充凹部的反射层图案，所述激光剥离处理从基板下方的方向照射基板上的激光束，以去除牺牲层图案，并且将第一和第二反射层堆叠在牺牲层上层图案; 以及去除残留在基板上的牺牲层图案的剩余部分。

2. 发明申请

WO2012148117A2 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치 审中-公开
标题翻译：选择性薄膜拆卸设备使用分开的激光束
公开(公告)号：WO2012148117A2
公开(公告)日：2012-11-01
申请号：PCT/KR2012/002928
申请日：2012-04-18
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사 , 김수찬 , 이시영 , 이찬구 , 배현섭
发明人： 김수찬 , 이시영 , 이찬구 , 배현섭
IPC分类号： B23K26/36
CPC分类号： B23K26/0676 , B23K26/0648 , B23K26/0823 , B23K26/0853 , B23K26/0869 , B23K26/364 , B23K26/38 , B23K26/40 , B23K2201/42 , B23K2203/50
摘要： 레이저 분할빔을 이용한 선택적 박막 제거장치가 개시된다. 본 발명에 따른 박막 제거장치는, deep UV 파장의 엑시머 레이저빔을 생성하는 빔생성부와, 레이저빔을 분할하여 분할빔을 출력하는 두 개 이상의 헤드부와, 가공 대상물의 상부에서 헤드부가 직선 이동할 수 있도록 하는 헤드지지부와, 헤드부의 하부에 위치하고 평면 상에서 위치 이동이 가능한 스테이지와, 각각의 헤드부를 헤드지지부 상에서 독립적으로 이동시켜 위치 설정하는 헤드구동부를 포함한다. 그리고 헤드부는, 분할빔의 온오프를 가능하게 하는 빔셔터와, 가공 대상물의 상단에서 분할빔의 균일도를 향상하기 위한 빔균질기와, 가공 대상물의 상부에서 분할빔을 축소하는 프로젝션 렌즈 유닛을 포함한다.
摘要翻译：公开了使用分割的激光束的选择性薄膜去除装置。本发明的薄膜去除装置包括：用于产生深紫外波长的准分子激光束的光束产生单元; 两个或更多个头单元，用于通过分割激光束来输出分束; 头部支撑单元，用于使头单元能够从处理对象的上部线性移动; 位于每个头单元的下部并且可以在平面上移动的台阶; 以及头驱动单元，用于独立地从热支撑单元移动每个头单元以设置每个头单元的位置。另外，头单元包括：用于使分割光束能够开/关的光束快门; 光束均化器，用于改善处理目标的上端处的分束的均匀性; 以及用于减小处理对象的上部的分割光束的投影透镜单元。

3. 发明申请

WO2012176975A2 전지 특성을 개선시키는 전극 활물질 제조 방법 및 그로부터 제조된 전극 활물질을 포함하는 리튬이차전지 审中-公开
标题翻译：制备用于改善电池性能的电极活性材料的方法和包括其中制备的电极活性材料的锂二次电池
公开(公告)号：WO2012176975A2
公开(公告)日：2012-12-27
申请号：PCT/KR2012/002965
申请日：2012-04-18
申请人： 삼성정밀화학 주식회사 , 김천중 , 최선주 , 김수찬 , 장동규 , 김건일 , 양우영
发明人： 김천중 , 최선주 , 김수찬 , 장동규 , 김건일 , 양우영
IPC分类号： H01M4/485 , H01M4/1391 , H01M10/052 , C01G23/04
CPC分类号： C01D15/02 , C01G23/005 , C01P2002/72 , C01P2002/85 , H01M4/485
摘要： 본 발명은 고속 충방전시에도 안정적인 충방전 효율 및 수명 특성을 나타내는 리튬이차전지를 제조하기 위해 전극 활물질을 제공하는 방법에 관한 것이다. 구체적으로 본 발명은 비교적 안정적인 구조의 전극 활물질로 알려져 있는 리튬 티탄산화물에서 표면 원소의 조성비(Ti/Li) 및 리튬 원소의 조성을 제어하는 방법을 제공한다. 본 발명에 의해 제조된 리튬 티탄산화물을 전극 활물질로 사용하는 리튬이차전지는 고속 충방전 반응에서도 충방전 효율 및 방전 용량을 유지함으로써 안정적으로 사용될 수 있는 장점을 갖는다.
摘要翻译：本发明涉及即使在电池高速充电或放电的情况下，制备具有稳定的充放电效率和寿命特性的锂二次电池的制造用电极活性物质的方法。更具体地说，本发明涉及一种用于控制表面元素的组成比（Ti / Li）和锂二氧化钛中的锂元素组成的方法，其已知是具有相对稳定结构的电极活性材料。使用根据本发明制造的氧化钛的锂二次电池即使在高速充电或放电时也具有保持充电/放电效率和充电容量的优点，从而能够稳定地使用。

4. 发明申请

WO2012053718A1 전자기장을 이용한 성체 줄기세포의 신경세포 분화유도 방법 审中-公开
标题翻译：用电磁场诱导成体干细胞神经分化的方法
公开(公告)号：WO2012053718A1
公开(公告)日：2012-04-26
申请号：PCT/KR2011/004190
申请日：2011-06-08
申请人： 동국대학교 산학협력단 , 박정극 , 김성민 , 김수찬 , 윤문영 , 조현진 , 서영권 , 윤희훈
发明人： 박정극 , 김성민 , 김수찬 , 윤문영 , 조현진 , 서영권 , 윤희훈
IPC分类号： C12N13/00 , C12N5/079 , C12N5/0775 , A61K35/30
CPC分类号： C12N5/0618 , A61K35/30 , C12N13/00 , C12N2506/1353 , C12N2506/1361 , C12N2529/00
摘要： 본 발명은 중간엽 줄기세포 또는 치수줄기세포의 분화 방법에 관한 것이다. 보다 구체적으로는, 저주파의 전자기장을 중간엽 줄기세포 또는 치수줄기세포에 처리하여, 줄기세포를 신경세포로 분화시키는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의한 분화방법은 성장인자 추가에 따른 고비용의 신경분화유도 배지가 아닌 저가의 배지에서도 분화를 유도할 수 있으며, 본 발명에 의해 분화된 신경세포는 뇌신경질환 치료에 유용하게 사용될 수 있다.
摘要翻译：本发明涉及分化间充质干细胞或干细胞的方法。更具体地说，本发明涉及通过处理间充质干细胞或干细胞的低频电磁场来将干细胞分化成神经细胞的方法。分化方法根据本发明可以诱导在低成本介质分化中所添加的生长因子的非昂贵诱导培养基分化的神经元，根据本发明神经细胞分化可以是脑疾病是有用的。

5. 发明申请

WO2010114302A2 유기 인계 난연제 및 이의 제조방법 审中-公开
标题翻译：基于有机磷的阻燃剂及其生产方法
公开(公告)号：WO2010114302A2
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/KR2010/001970
申请日：2010-03-31
申请人： 아이디비켐(주) , 김성년 , 장학순 , 김수찬 , 최우혁 , 임부규
发明人： 김성년 , 장학순 , 김수찬 , 최우혁 , 임부규
IPC分类号： C09K21/12
CPC分类号： C09K21/12 , C07F9/657172
摘要： 본 발명은 유기 인계 난연제 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 비스페놀 A와 포름알데하이드를 반응시키는 단계, 유기용제에 상기 반응물을 투입하여 반응 생성물을 추출하는 단계, 상기 반응 생성물에 포스핀계 또는 포스파이트계 화합물을 첨가하여 축합 중합하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 인계 난연제의 상업적 제조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：有机磷系阻燃剂及其制造方法技术领域本发明涉及有机磷系阻燃剂及其制造方法，更具体地涉及有机磷系阻燃剂的制造方法，其特征在于，包括：使双酚A与甲醛反应的工序，通过将反应物投入到有机溶剂中来提取反应产物的步骤，以及通过加入磷化氢基或亚磷酸酯类化合物使反应产物缩聚的步骤。

6. 实用新型

KR200481973Y1 소음저감 수단이 구비된 냉각탑 有权
标题翻译：具有降噪装置的冷却塔
公开(公告)号：KR200481973Y1
公开(公告)日：2016-12-13
申请号：KR2020160002804
申请日：2016-05-23
申请人： 김수찬
发明人： 김수찬
IPC分类号： F28C1/10 , G10K11/16
CPC分类号： F28C1/10 , G10K11/16 , G10K2210/3219
摘要： 본고안은, 냉각탑에있어서, 내부에수용공간이형성된소정형상의제1케이싱; 상기케이싱상방에서상기제1케이싱의상기수용공간을외부와연통시키도록형성되는제2케이싱; 상기제2케이싱내부에구비되어, 상기제1케이싱내부로부터공기를흡입하여외부로배출시키는송풍유닛; 상기제1케이싱상에구비되며, 상기송풍유닛의동작에기반하여, 외부의공기를상기제2케이싱내부로흡입하기위한하나이상의흡입구; 상기제1케이싱의상기수용공간상에구비되며, 중공형의패턴을가지도록형성되어, 외부로부터공급되는가열된물이경유되며, 상기흡입구로흡입되는공기를통해경유되는상기가열된물을냉각시키기위한방열체; 및상기제2케이싱의내부에구비되어, 상기송풍유닛의동작에기반하여발생되는소음을저감시키기위한하나이상의제1방음체를포함하는소음저감수단이구비된냉각탑을제공한다. 따라서, 냉각탑상에서증발잠열과현열에의한열이동구현으로냉각을수행하는과정에서냉각탑상의소음을보다용이하고효과적으로저감시키는것이가능하다.

7. 发明授权

KR101393357B1 패턴이 형성된 광학 미러를 이용한 레이저 가공방법 有权
标题翻译：使用图形光学镜的激光加工方法
公开(公告)号：KR101393357B1
公开(公告)日：2014-05-15
申请号：KR1020130007178
申请日：2013-01-22
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사
发明人： 김수찬 , 김용문 , 이경철 , 남윤현
IPC分类号： B23K26/06 , B23K26/08
摘要： 패턴이 형성된 광학 미러를 이용한 레이저 가공방법이 개시된다. 광학 미러를 이용한 레이저 가공방법에 있어서, 가공대상물에 형성하고자 하는 패턴의 각도에 따라서 가공대상물을 패턴 형성 이전에 일정 영역으로 구분하는 단계와, 구분된 각 영역별로 스폿 형상의 레이저빔을 광학 미러에 조사하여 스캐닝을 실시하는 단계를 포함하고, 스캐닝을 실시하는 단계는, 스폿 형상의 레이저빔을 가공대상물에 형성하고자 하는 패턴의 각도와 동일한 방향으로 광학 미러 상에서 이동시켜서, 패턴을 가공 대상물에 형성하는 것을 특징으로 한다.

8. 发明授权

KR101391003B1 레이저 반사형 마스크 제조방법 有权
标题翻译：激光反射膜的制造方法
公开(公告)号：KR101391003B1
公开(公告)日：2014-05-02
申请号：KR1020130153690
申请日：2013-12-11
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사
发明人： 김수찬 , 김용문
IPC分类号： G03F1/22 , H01L21/027
CPC分类号： G03F1/52 , G03F7/2053
摘要： Disclosed is a method for manufacturing a laser reflective mask. The method for manufacturing a laser reflective mask according to one embodiment of the present invention includes a step of forming a first reflective layer on a base substrate, a step of forming a metal pattern on the first reflective layer, a step of forming a second reflective layer on the first reflective layer and the metal pattern, and a step of removing the metal pattern and the second reflective layer formed on the metal pattern. A part where the second reflective layer remains forms a reflective region which reflects laser beams. A part where the second reflective layer is removed and the first reflective layer remains forms a transmissive region through which laser beams pass.
摘要翻译：公开了一种制造激光反射掩模的方法。根据本发明的一个实施例的激光反射掩模的制造方法包括在基底基板上形成第一反射层的步骤，在第一反射层上形成金属图案的步骤，形成第二反射层在所述第一反射层和所述金属图案上形成层，以及除去形成在所述金属图案上的所述金属图案和所述第二反射层的工序。残留第二反射层的部分形成反射激光束的反射区域。去除第二反射层并且第一反射层保留的部分形成激光束经过的透射区域。

9. 发明公开

KR1020130092022A 레이저를 이용한 숄더 제거장치 및 제거방법 无效
标题翻译：肩部拆卸装置和使用激光的方法
公开(公告)号：KR1020130092022A
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020120013450
申请日：2012-02-09
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사
发明人： 김수찬 , 김용문 , 이경철 , 조제민 , 남윤현 , 최영민
IPC分类号： B23K26/36 , H01L21/027
CPC分类号： B23K26/361 , B23K26/364 , H01L21/0275
摘要： PURPOSE: A shoulder removing device and a removal method are provided to improve visibility by reducing a color difference generated in a boundary of a non-pattern region and a pattern region, and to reduce a foreign substance generated in an afterward process. CONSTITUTION: A shoulder removing device using a laser comprises a laser light source (170), an optical system (160), and a transport unit. The laser light source generates a laser beam. The optical system changes the laser beam in a form of a line beam. The transport unit scans the laser beam. The laser beam is formed on a substrate consisting of a glass or a polymer, and removes a shoulder by being irradiated in a metal layer in which a pattern is formed. The laser beam has an energy density in which the pattern is not damaged. [Reference numerals] (170) Laser light source
摘要翻译：目的：通过减少在非图案区域和图案区域的边界中产生的色差，并且减少后续处理中产生的异物，提供了肩部去除装置和去除方法以提高可视性。构成：使用激光的肩部移除装置包括激光源（170），光学系统（160）和传送单元。激光光源产生激光束。光学系统以线束的形式改变激光束。运输单元扫描激光束。激光束形成在由玻璃或聚合物组成的基板上，并且通过在其中形成图案的金属层中照射来除去肩部。激光束具有不损坏图案的能量密度。（附图标记）（170）激光光源

10. 发明授权

KR101275059B1 레이저빔 분할 장치 및 분할 방법 有权
标题翻译：激光束分离装置和方法
公开(公告)号：KR101275059B1
公开(公告)日：2013-06-17
申请号：KR1020130035638
申请日：2013-04-02
申请人： 위아코퍼레이션 주식회사
发明人： 김수찬 , 이찬구 , 배현섭
IPC分类号： H01S3/101 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/101 , G02B6/3604 , G02B27/149 , H01S3/08004
摘要： PURPOSE: A laser beam dividing device and a dividing method thereof are provided to conveniently and stably divide a laser beam and to simply control the power of the divided laser beam. CONSTITUTION: A beam conversion unit converts a laser beam which is outputted from a laser light source into a conversion laser beam in which a power is homogenized. A penetration and reflection mirror(130) forms a division beam by reflecting the part of the conversion laser beam and transmits the rest of the conversion laser beam. The penetration and reflection mirror includes a penetrated domain(134) which the conversion laser beam penetrates; and a reflective domain(132) which reflects the conversion laser beam. The penetration and reflection mirror controls the power of the division beam by controlling the reflective domain through a position control.
摘要翻译：目的：提供激光束分割装置及其分割方法，以方便和稳定地分割激光束并简单地控制分割的激光束的功率。构成：光束转换单元将从激光光源输出的激光束转换为功率均匀化的转换激光束。穿透和反射镜（130）通过反射转换激光束的一部分并传输转换激光束的其余部分而形成分割光束。穿透和反射镜包括转换激光束穿透的穿透区域（134）; 和反射转换激光束的反射域（132）。穿透和反射镜通过位置控制来控制反射域来控制分割光束的功率。

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