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1. 发明申请

WO2010131878A2 기판 처리 시스템 审中-公开
标题翻译：基板加工系统
公开(公告)号：WO2010131878A2
公开(公告)日：2010-11-18
申请号：PCT/KR2010/002952
申请日：2010-05-10
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 배경빈 , 윤형석 , 강창호 , 한경록 , 남궁성태 , 이태성
发明人： 배경빈 , 윤형석 , 강창호 , 한경록 , 남궁성태 , 이태성
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/10
CPC分类号： H05B33/10 , B05B12/20 , B05D1/02 , B05D3/067
摘要： 본 발명은 기판 처리 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 유기 화합물을 기판에 코팅하는 과정에서 유기 화합물의 확산에 의한 챔버 내부의 오염을 방지하는 오염방지 수단이 구비된 기판 처리 시스템에 관한 것이다. 본 발명에 따른 기판 처리 시스템은 챔버의 내부에서 기판에 유기물을 분사하되 상기 기판과 이격되어 냉각제가 순환되는 냉각통로가 내부에 형성된 냉각 플레이트를 구비하여 상기 기판에서 코팅되지 못하고 탈락된 상기 유기물의 확산을 방지하는 분사부와, 상기 챔버의 외측 하부에서 냉각트랩이 설치되며, 연장되는 길이방향과 교차하는 방향으로 분기 또는 굴곡된 부분이 형성된 펌프연결관을 통해 상기 분사부와 연결되는 펌프를 포함하는 코팅 모듈과, 상기 유기물이 코팅된 기판에 자외선 램프를 통해 자외선을 조사하되, 상기 기판과 상기 자외선 램프 사이에 구비되는 투과창을 가열하는 가열코일을 구비한 경화 모듈을 포함한다.
摘要翻译：本发明涉及一种基板处理系统，更具体地说，涉及一种基板处理系统，该基板处理系统包括防污装置，该防污装置用于在用所述有机化合物涂覆基板的过程中防止室内部被有机化合物扩散而被污染。根据本发明的基板处理系统包括涂覆模块和硬化模块。涂层模块包括喷雾单元和泵。喷雾单元将有机化合物喷射在室中的基材上，并且具有与基板间隔开的冷却板，并且其中形成有用于循环冷却剂的冷却路径，以防止滴落的有机化合物的扩散未涂覆在基材上。泵具有布置在室外部下部的冷却捕集器，所述泵通过泵连接管连接到喷射单元，该泵连接管具有在与泵连接管纵向延伸的方向相交的方向上形成的分支或弯曲部分。硬化模块通过紫外线灯将紫外线照射到涂有有机化合物的基材上，并具有用于加热插入在基板和紫外线灯之间的透射窗的加热线圈。

2. 发明申请

WO2009142427A2 유기발광소자 및 이의 제작 방법 审中-公开
标题翻译：有机发光装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2009142427A2
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/KR2009/002634
申请日：2009-05-19
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 강창호 , 남궁성태 , 이태성
发明人： 강창호 , 남궁성태 , 이태성
IPC分类号： H01L51/50
CPC分类号： H01L51/525 , H01L51/5246
摘要： 본 발명에 따른 유기발광소자 제작 방법은 기판상에 상호 이격되도록 복수의 스페이서와 유기발광층을 형성하는 단계와, 상기 스페이서 및 유기발광층이 형성된 기판을 진공 상태의 챔버에 인입하는 단계와, 상기 유기발광층을 피복하도록 충진제를 충진한 후 경화시키는 단계와, 상기 복수의 스페이서가 상호 이격되어 형성된 상기 복수의 스페이서 사이의 공간 중 충진제가 충진되지 않은 영역에 실런트를 도포하는 단계와, 상기 복수의 스페이서, 실런트 및 충진제 상면에 봉지부를 배치하는 단계와, 상기 실런트를 경화시켜 봉지하는 단계와, 상기 봉지공정이 진행된 진공 상태의 챔버를 서서히 벤트시켜. 스페이서, 실런트 및 충진제의 상면과 봉지부 사이의 공극을 제거하는 단계를 포함한다. 상술한 바와 같이 본 발명은 보호막을 포함한 유기발광층을 피복하도록 충진된 충진제를 이용하여 1차 봉지하고, 유기발광층이 형성되지 않은 기판 영역을 실런트를 이용하여 2차 봉지함으로써, 수분 및 산소가 유기발광층으로 유입되는 것을 억제하여 소자의 수명을 향상시킬 수 있다.
摘要翻译：根据本发明的制造有机发光器件的方法包括以下步骤：在衬底上形成多个间隔物和有机发光层，使得间隔物彼此间隔开; 将具有间隔物和有机发光层的基板引入真空状态室; 填充填料以涂覆有机发光层并硬化所得结构; 通过间隔物的间隔从形成在间隔物之间的空间之间施加密封剂到填充物未被施加的空间; 将封装部分设置在间隔件上，密封剂和填料上; 通过硬化密封剂来封装腔室; 并缓慢地排出封装的真空状态室以去除间隔件，密封剂和填料的上表面之间形成的空气间隙和封装部分。如上所述，本发明通过使用被填充以涂覆含有保护层的有机发光层的填料来进行第一封装，并且通过使用无机发光层在基板的区域上进行第二封装从而抑制水分和氧气进入有机发光层，从而提高装置的使用寿命。

3. 发明申请

WO2012039524A1 모노머 증착장치 审中-公开
标题翻译：单体沉积装置
公开(公告)号：WO2012039524A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/KR2010/006635
申请日：2010-09-29
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 윤형석 , 남궁성태 , 이태성 , 박일준
发明人： 윤형석 , 남궁성태 , 이태성 , 박일준
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/12
CPC分类号： C23C14/12 , B05D1/60 , C23C14/564
摘要： 기판에 모노머를 증착시키는 과정에서 기판 주변의 부재들에 모노머가 증착되는 것을 최소화할 수 있게 한 모노머 증착장치가 개시된다. 이를 위한, 모노머 증착장치는 기판이 처리되는 처리공간이 형성된 챔버와, 적어도 일부가 상기 챔버 내에 수용되고 상기 기판과 일정거리 이격되도록 배치되어 상기 기판으로 모노머를 배출시키는 증착유닛을 포함하며, 모노머의 배출이 간섭되지 않도록 상기 증착유닛 주변에 인접하게 배치되고, 상기 기판으로부터 일정거리 이격되도록 배치되어 기판에 증착되지 않은 모노머를 냉각하여 응축시키는 냉각 플레이트를 더 포함한다. 이에 따라, 기판에 증착되지 않은 모노머가 냉각 플레이트에 응축되므로, 기판 주변의 부재들에 모노머 증기가 증착되는 것을 최소화할 수 있다. 이에 따라, 메인터넌스 작업 주기를 연장시킬 수 있으므로, 생산성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제조비용을 절감할 수 있다.
摘要翻译：提供了一种单体沉积设备，当单体沉积到基底上时，使单体沉积在基底周围的构件上最小化。为此，单体沉积装置包括限定其中处理基板的处理空间的室和沉积单元，其沉积单元的至少一部分被容纳在室中并且与基板隔开预定距离，以便以将单体排出到基底上。单体沉积装置还包括与沉积单元的圆周相邻设置的冷却板，使得不会干扰单体的排出，冷却板与基板间隔预定距离以冷却未沉积的单体到基板上。因此，由于未沉积在基板上的单体被冷却板冷却，所以可以将单体蒸气沉积到基板周围的构件上。因此，由于可以延长定期维护的期间，因此可以提高生产率，并且可以降低制造成本。

4. 发明申请

WO2012039522A1 모노머 증착장치 및 모노머 증착장치의 배기방법 审中-公开
标题翻译：单体蒸发装置和单体蒸发装置的排气方法
公开(公告)号：WO2012039522A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/KR2010/006625
申请日：2010-09-29
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 윤형석 , 남궁성태 , 이태성 , 박일준
发明人： 윤형석 , 남궁성태 , 이태성 , 박일준
IPC分类号： H01L51/56 , C23C14/56 , C23C14/12
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/56 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 모노머 증착장치 및 이를 이용하는 모노머 증착장치의 배기방법에 관한 것으로서, 본 발명의 모노머 증착장치는, 기판상에 모노머가 증착되는 메인 챔버; 상기 모노머가 증기 상태로 수용되는 모노머 챔버; 상기 모노머가 상기 모노머 챔버로부터 상기 메인 챔버로 분사되도록 상기 모노머 챔버를 개방시키는 셔터; 상기 모노머 챔버에서 외부로 배출되는 가스로부터 모노머를 회수하는 모노머 회수유닛; 상기 메인 챔버 또는 상기 모노머 회수유닛에 연결되며, 상기 메인 챔버 또는 상기 모노머 챔버 내의 가스를 흡입하는 제1진공펌프; 상기 메인 챔버와 상기 제1진공펌프 사이의 유로를 개방 또는 차단하는 제1밸브; 상기 모노머 회수유닛과 상기 제1진공펌프 사이의 유로를 개방 또는 차단하는 제2밸브;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及使用其的单体蒸发装置的单体蒸发装置和排气方法。根据本发明的单体蒸发装置包括：用于蒸发基材上的单体的主室; 用于接收气态单体的单体室; 用于打开单体室的快门，使得单体从单体室注入主室; 用于从从单体室排出到外部的气体回收单体的单体回收单元; 连接到主室或单体回收单元的第一真空泵吸入主室或单体室中的气体; 用于打开或关闭主室和第一真空泵之间的路径的第一阀; 以及用于打开或关闭单体回收单元和第一真空泵之间的路径的第二阀。

5. 发明申请

WO2014034975A1 유기발광다이오드 봉지공정용 증착장치 审中-公开
标题翻译：用于有机发光二极管封装工艺的沉积装置
公开(公告)号：WO2014034975A1
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：PCT/KR2012/006867
申请日：2012-08-28
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 유운선 , 남궁성태 , 이태성 , 고재억
发明人： 유운선 , 남궁성태 , 이태성 , 고재억
IPC分类号： H01L51/56 , H05B33/04
CPC分类号： H05B33/04 , H01L51/5253 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 유기발광다이오드 봉지공정용 증착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 유기발광다이오드 봉지공정용 증착장치는 챔버부 내에 배치되는 유기발광다이오드 기판에 소스를 증착하여 봉지(encapsulating)하는 봉지공정용 증착장치에 있어서, 상기 챔버부 내에 배치되되, 내부에 소스가 유동하기 위한 유동로가 형성되며 단면이 상호 접촉하는 복수개의 유동부; 상기 복수개의 유동부에 일체로서 장착되되, 상기 유동부로부터 공급되는 소스를 기판측으로 분사하도록 상기 유동로와 연결되는 분사로가 내부에 형성되는 노즐부; 상기 복수개의 유동부에 기화된 소스를 각각 공급하기 위한 소스 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 대면적의 기판에 소스를 단속되는 구간없이 균일한 두께로 증착할 수 있는 유기발광다이오드 봉지공정용 증착장치가 제공된다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于有机发光二极管封装工艺的沉积设备。根据本发明的有机发光二极管封装方法的沉积装置通过将源材料沉积在布置在室单元中的有机发光二极管基板上来封装有机发光二极管，并且包括：多个流单元，其布置在室单元内并且具有用于其中的源材料流动的流动通道，流动单元的端部彼此接触; 喷嘴单元，与所述多个流动单元一体地布置，并且其中具有与所述流动通道连接的喷射通道，以将从所述流动单元供应的所述源材料喷射到所述基板上; 以及源材料供给单元，用于将待沉积的源材料供给到各个流动单元。因此，可以提供一种有机发光二极管封装工艺的沉积装置，其能够将源材料不间断地沉积到具有均匀厚度的大基板上。

6. 发明申请

WO2012039523A1 모노머 냉각트랩 및 이를 이용하는 모노머 증착장치 审中-公开
标题翻译：单体冷却带和单体蒸发装置使用它
公开(公告)号：WO2012039523A1
公开(公告)日：2012-03-29
申请号：PCT/KR2010/006626
申请日：2010-09-29
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 윤형석 , 남궁성태 , 김장미 , 박일준
发明人： 윤형석 , 남궁성태 , 김장미 , 박일준
IPC分类号： B01D8/00 , C23C14/12 , H01L51/56
CPC分类号： B01D8/00 , B05D1/60 , C23C14/12 , C23C14/56 , H01L51/56
摘要： 본 발명은 모노머 냉각트랩에 관한 것으로서, 증착 공정 중 발생하는 가스 및 모노머(monomer)를 외부로 배출하는 유로 상에 설치되며, 케이스; 상기 가스 및 모노머가 흡입되는 흡입구; 상기 케이스 내부에 수용되며, 내부에 냉매가 유동할 수 있는 유로가 형성되고, 표면에서 상기 모노머가 부착되며, 상하면을 관통하도록 형성된 관통홀을 구비하는 냉각 플레이트; 및 상기 케이스 내부의 가스가 배기되는 배기구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及一种单体冷却阱，其安装在将在蒸发过程中产生的气体和单体排放到外部的路径上，其特征在于包括：壳体; 用于吸入气体和单体的吸孔; 容纳在壳体中的冷却板，并且具有形成在内部的路径，使得制冷剂可以流过其中，单体附着的表面和形成为穿透上表面和下表面的通孔; 以及用于从壳体的内部排出气体的排气孔。

7. 发明申请

WO2013133460A1 패턴 형성이 가능한 증착장치 审中-公开
标题翻译：可形成图案的沉积装置
公开(公告)号：WO2013133460A1
公开(公告)日：2013-09-12
申请号：PCT/KR2012/001638
申请日：2012-03-06
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 김태환 , 유운선 , 남궁성태
发明人： 김태환 , 유운선 , 남궁성태
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/562
摘要： 본 발명은 패턴 형성이 가능한 증착장치에 관한 것으로서, 본 발명의 패턴 형성이 가능한 증착장치는 기판 상에 소스를 증착하기 위한 장치에 있어서, 상기 기판 측으로 소스를 분사하도록 분사구가 형성되는 노즐부; 상기 소스가 선택적으로 분사되도록 상기 노즐부의 분사구를 선택적으로 개폐하는 셔터부; 상기 기판 또는 상기 노즐부 중 적어도 하나를 이송시키기 위한 이송부;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明涉及能够形成图案的沉积装置。在用于在基板上沉积源的装置中，能够形成本发明图案的沉积装置包括：喷嘴部分，其形成有用于在基板的侧面喷射源的喷射孔; 用于选择性地打开和关闭喷嘴部分的喷射孔以便选择性地喷射源的快门部分; 以及用于输送基板或喷嘴部中的至少任一个的输送部。

8. 发明申请

WO2012124928A3 불순물 제거 기능의 광조사부를 구비하는 증착장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2012124928A3
公开(公告)日：2012-09-20
申请号：PCT/KR2012/001686
申请日：2012-03-08
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사 , 김태환 , 유운선 , 남궁성태
发明人： 김태환 , 유운선 , 남궁성태
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/02
摘要： 본 발명은 불순물 제거 가능 광조사부를 구비하는 증착장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 불순물 제거 가능 광조사부를 구비하는 증착장치는 소스가 기판 상에 증착되도록 내부에 상기 기판을 수용하는 챔버부; 상기 기판 측으로 자외선 광을 조사하는 광조사부; 광투과성 재질로서 상기 광조사부와 상기 기판 사이에 마련되며 상기 광조사부로부터 발생되는 자외선 광을 상기 챔버부 내로 투과시키는 윈도우, 상기 챔버부 내부에 마련되어 열을 발생시킴으로써 상기 자외선 광의 윈도우 투과를 억제하는 불순물을 제거하는 발열부재로 구성되는 광투과부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

9. 发明授权

KR101320434B1 원료물질 공급 제어장치 有权
标题翻译：控制材料供应的装置
公开(公告)号：KR101320434B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020110044331
申请日：2011-05-12
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 남궁성태 , 최호중 , 강재규 , 이봉재
IPC分类号： C23C16/448 , H01L51/56 , C23C16/455
摘要： 본 발명은 원료물질 공급 제어장치에 관한 것으로서, 기판상에 증착되는 원료물질이 고체 또는 액체 상태로 수용되는 원료 용기; 상기 원료 용기에 수용된 원료물질을 기화시키기 위하여 상기 원료 용기에 열을 공급하는 히터; 상기 원료 용기로부터 이격되게 설치되며, 상기 원료 용기로부터 기화되는 원료물질의 기화량을 감지하는 센서부; 상기 원료 용기를 상하 방향으로 왕복이송시키는 이송유닛; 및 상기 센서부에 의해 감지된 원료물질의 기화량에 따라 상기 원료 용기가 상이한 속도로 이송되도록, 상기 이송유닛을 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

10. 发明公开

KR1020090120227A 유기발광소자 및 이의 제작 방법 无效
标题翻译：有机发光装置及其制造方法
公开(公告)号：KR1020090120227A
公开(公告)日：2009-11-24
申请号：KR1020080046162
申请日：2008-05-19
申请人： 에스엔유 프리시젼 주식회사
发明人： 강창호 , 남궁성태 , 이태성
IPC分类号： H01L51/50
CPC分类号： H01L51/525 , H01L51/5246 , H01L51/5237 , H01L2224/80075 , H01L2224/80862
摘要： PURPOSE: An organic light-emitting device and a manufacturing method thereof are provided to alleviate the physical impact applied from the outside by absorbing the physical impact through a filling material. CONSTITUTION: A manufacturing method of an organic light-emitting device comprises the following steps of: forming a plurality of spacers and an organic light-emitting layer(200) on a substrate(100) so as to be separated from each other; injecting the substrate into a chamber of the vacuum condition; filling a filling material so as to coat the organic light-emitting layer and hardening it; and applying a sealant to areas in which the filling material is not filled among spaces between the spacers. A sealing unit is arranged on the spacers, sealant and filling material. The sealant(400) is hardened and sealed.
摘要翻译：目的：提供一种有机发光装置及其制造方法，以通过吸收通过填充材料的物理冲击来减轻从外部施加的物理冲击。构成：有机发光器件的制造方法包括以下步骤：在基板（100）上形成多个间隔物和有机发光层（200）以彼此分离; 将衬底注入真空条件的室中; 填充填充材料以涂覆有机发光层并使其硬化; 以及在间隔件之间的间隔中向填充材料未填充的区域施加密封剂。密封单元设置在间隔件，密封剂和填充材料上。密封剂（400）被硬化和密封。

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