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    • 1. 发明申请
    • 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속을 이용하여 파이로 프로세싱에서 발생하는 고준위방사성 용융염에 포함된 악티늄족원소군(群)과 희토류원소군을 분리하는 방법 및 이를 이용한 분리 장치
    • 用于分离使用双相或双相铅合金的液体金属的双相加工中产生的高水平放射性钼盐的ACTINIDE元素组和稀土元素组的方法以及使用其的分离装置
    • WO2017052314A1
    • 2017-03-30
    • PCT/KR2016/010724
    • 2016-09-23
    • 서울대학교산학협력단연세대학교 산학협력단
    • 황일순손성준박재영박병기한병찬최성열
    • G21C19/46G21F9/00
    • G21C19/46G21F9/00Y02W30/883
    • 본 발명은 사용후핵연료 파이로프로세싱공정에서 발생하는 용융염 내에 포함된 악티늄족원소군과 희토류원소군을 고온에서 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속을 사용하여 분리함으로써 건식분리공정에서 발생하는 최종폐기물의 방사성준위 및 열밀도를 낮추어 고준위페기물을 모두 중준위폐기물 또는 저준위폐기물로 정화하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 용융염 내에 포함된 악티늄족원소군과 희토류원소군은 전해제련으로부터 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속 내부로 환원 및 용해되어 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속 내에서 액체 또는 고체상태의 이종금속화합물을 형성하면서 동일 원소군 내의 원소들간의 평형전위가 근접하게 되어 원소별 분리를 어렵게 만들되, 그 이종금속화합물의 밀도가 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속보다 크거나 또는 작아서, 두 가지 원소족의 이종금속화합물을 밀도 차를 이용하여 분리하며 이를 위하여 여과기, 교반기, 원심분리기, 자기장발생기, 배관, 밸브가 포함된 장치를 구성할 수 있으며 이종금속화합물을 수거하고 남은 비스무스 또는 비스무스-납 합금 액체금속은 분리 후 자체 정화되어 전해전착에서 재사용될 수 있는 특징을 갖는다.
    • 本发明涉及一种通过降低干分离过程中产生的最终废物的放射性水平和热密度而将所有高级废物净化为中级废物或低级废物的方法和装置,通过分离锕系元素 和在高温下使用铋或铋铅合金的液态金属在废燃料的热解处理中产生的熔融盐中所含的稀土元素基团和稀土元素基团,其中,所述锕系化合物组和所述稀土元素基团 熔融盐被还原并溶解在电解冶炼中的铋或铋铅合金的液态金属中,以在铋或铋铅合金的液态金属中形成液态或固态的异金属化合物,同时在铋或铋铅合金的元素之间的平衡电位 相同的元件组变得彼此接近,从而难以通过元件分离元件,其中密度 金属化合物大于或小于铋或铋铅合金的液态金属的密度,使得两个元素基团的异金属化合物使用密度差分离,并且为此,包括过滤器 可以配置搅拌器,离心机,磁场发生器,配管和阀,收集异金属化合物后的铋或铋铅合金的剩余液态金属可以在分离后自净化,并且可以重复使用 在电解电沉积。
    • 7. 发明公开
    • 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의압축 및 복원 방법 및 시스템
    • 用三维网格模型压缩和解码MESH数据随机访问的方法和系统
    • KR1020090080423A
    • 2009-07-24
    • KR1020080006349
    • 2008-01-21
    • 삼성전자주식회사포항공과대학교 산학협력단
    • 김호경이승용이종석최성열
    • G06T17/20G06T17/00
    • G06T9/001G06T9/004G06T9/20G06T17/20
    • A method and a system for compressing and restoring mesh data capable of random access in a 3D mesh model are provided to improve accessibility to the 3D mesh model by schematically showing the 3D mesh model by using a wire mesh. A random access mesh data compression system(100) comprises a mesh data acquisition unit(110), a wire mesh generation part(120), a data construct generating unit(130), and an encoding unit(140). The mesh data acquisition part obtains mesh data from a 3D mesh model. By using the mesh data, the wire mesh generation part produces a wire mesh consisting of a plurality of wire cells. The data construct generating unit produces wire mesh information for the wire mesh and wire cell data including mesh data about each wire cell. The encoding unit compresses the generated wire mesh information and the wire cell data.
    • 提供了一种用于压缩和恢复能够在3D网格模型中随机访问的网格数据的方法和系统,以通过使用丝网示意性地显示3D网格模型来改善对3D网格模型的可访问性。 随机接入网状数据压缩系统(100)包括网格数据获取单元(110),有线网格生成单元(120),数据结构生成单元(130)和编码单元(140)。 网格数据采集部分从3D网格模型获取网格数据。 通过使用网格数据,丝网生成部分产生由多个线细胞组成的丝网。 数据结构生成单元生成用于线网和有线单元数据的丝网信息,包括关于每个线单元的网格数据。 编码单元压缩生成的网格信息和有线单元数据。
    • 8. 发明公开
    • 포토레지스트 애싱 장치
    • 防晒装置
    • KR1020060012770A
    • 2006-02-09
    • KR1020040061406
    • 2004-08-04
    • 삼성전자주식회사
    • 최성열
    • H01L21/3065
    • 본 발명은 마이크로웨이브 파워(microwave power)에 대한 상황을 쉽게 알 수 있는 포토레지스트 애싱 장치에 관한 것이다. 본 발명의 포토레지스트 애싱 장치는 마이크로웨이브 제너레이터에서 발생된 마이크로웨이브 파워에 의한 플라즈마로 포토레지스트의 애싱을 수행하는 포토레지스트 애싱 장치에 있어서, 마이크로웨이브 제너레이터에 설치되어 제너레이터 구동을 제어하여 마이크로웨이브 파워의 출력값을 제어하는 교정 보드와, 마이크로웨이브 제너레이터의 마이크로웨이브 파워에 대한 실제 파워(real power)와 디스플레이 장치에서의 파워(display power)와 리플렉트 파워(reflect power)를 측정 및 산출하는 디스플레이 키트(kit)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 플라즈마 상태를 인가하기 위한 마이크로웨이브 의 실제 파워와 디스플레이 파워 및 리플렉트 파워에 대한 모니터링 및 출력값의 조정이 용이하게 이루어질 수 있다. 이에 의에 포워드 파워(Forward Power) 및 리플렉트 파워(Reflected Power)에 대한 확인이 용이하며 마이크로웨이브 파워 교정 작업이 용이하게 이루어질 수 있다.
      애셔, 애싱(ashing), 포토레지스트, 제너레이터, 리플렉트 파워
    • 9. 发明公开
    • 반도체장치 애싱설비
    • 用于SEMICONDUCTOR的ASHING设备
    • KR1020030010417A
    • 2003-02-05
    • KR1020010045464
    • 2001-07-27
    • 삼성전자주식회사
    • 최성열
    • H01L21/3065
    • PURPOSE: An ashing apparatus for semiconductor is provided to isolate an ultraviolet lamp from an influence of RF power and change stably process gas into plasma by covering the ultraviolet lamp with a screen having plural mesh patterns. CONSTITUTION: An ultraviolet lamp(40) is supported by a lamp holder(42) which is fixed on the predetermined portion of the sidewall of the plasma chamber(20). A power cable is projected to the outside of the plasma chamber(20). A fixing portion(44) is used for supporting and fixing the power cable. The ultraviolet lamp(40) is covered with a screen(46). A plurality of meshes are formed on the screen(46). The screen(46) is formed with a metallic material. An end portion of the screen(46) is fixed on the lamp holder(42) by using a combination portion(48). A size of the mesh is 0.8mm to 1.2mm.
    • 目的:提供一种用于半导体的灰化装置,用于隔离紫外线灯与RF功率的影响,并通过用具有多个网格图案的屏幕覆盖紫外灯来改变稳定地将气体加工成等离子体。 构成:紫外灯(40)由固定在等离子体室(20)的侧壁的预定部分上的灯座(42)支撑。 电力电缆投影到等离子体室(20)的外部。 固定部分(44)用于支撑和固定电力电缆。 紫外线灯(40)被屏幕(46)覆盖。 多个网格形成在屏幕(46)上。 筛(46)由金属材料形成。 屏幕(46)的端部通过组合部分(48)固定在灯座(42)上。 网格尺寸为0.8mm至1.2mm。