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1. 发明公开

KR1020090080423A 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의압축 및 복원 방법 및 시스템 有权
标题翻译：用三维网格模型压缩和解码MESH数据随机访问的方法和系统
公开(公告)号：KR1020090080423A
公开(公告)日：2009-07-24
申请号：KR1020080006349
申请日：2008-01-21
申请人： 삼성전자주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 김호경 , 이승용 , 이종석 , 최성열
IPC分类号： G06T17/20 , G06T17/00
CPC分类号： G06T9/001 , G06T9/004 , G06T9/20 , G06T17/20
摘要： A method and a system for compressing and restoring mesh data capable of random access in a 3D mesh model are provided to improve accessibility to the 3D mesh model by schematically showing the 3D mesh model by using a wire mesh. A random access mesh data compression system(100) comprises a mesh data acquisition unit(110), a wire mesh generation part(120), a data construct generating unit(130), and an encoding unit(140). The mesh data acquisition part obtains mesh data from a 3D mesh model. By using the mesh data, the wire mesh generation part produces a wire mesh consisting of a plurality of wire cells. The data construct generating unit produces wire mesh information for the wire mesh and wire cell data including mesh data about each wire cell. The encoding unit compresses the generated wire mesh information and the wire cell data.
摘要翻译：提供了一种用于压缩和恢复能够在3D网格模型中随机访问的网格数据的方法和系统，以通过使用丝网示意性地显示3D网格模型来改善对3D网格模型的可访问性。随机接入网状数据压缩系统（100）包括网格数据获取单元（110），有线网格生成单元（120），数据结构生成单元（130）和编码单元（140）。网格数据采集部分从3D网格模型获取网格数据。通过使用网格数据，丝网生成部分产生由多个线细胞组成的丝网。数据结构生成单元生成用于线网和有线单元数据的丝网信息，包括关于每个线单元的网格数据。编码单元压缩生成的网格信息和有线单元数据。

2. 发明公开

KR1020060012770A 포토레지스트 애싱 장치 无效
标题翻译：防晒装置
公开(公告)号：KR1020060012770A
公开(公告)日：2006-02-09
申请号：KR1020040061406
申请日：2004-08-04
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： H01L21/3065
摘要： 본 발명은 마이크로웨이브 파워(microwave power)에 대한 상황을 쉽게 알 수 있는 포토레지스트 애싱 장치에 관한 것이다. 본 발명의 포토레지스트 애싱 장치는 마이크로웨이브 제너레이터에서 발생된 마이크로웨이브 파워에 의한 플라즈마로 포토레지스트의 애싱을 수행하는 포토레지스트 애싱 장치에 있어서, 마이크로웨이브 제너레이터에 설치되어 제너레이터 구동을 제어하여 마이크로웨이브 파워의 출력값을 제어하는 교정 보드와, 마이크로웨이브 제너레이터의 마이크로웨이브 파워에 대한 실제 파워(real power)와 디스플레이 장치에서의 파워(display power)와 리플렉트 파워(reflect power)를 측정 및 산출하는 디스플레이 키트(kit)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 따르면, 플라즈마 상태를 인가하기 위한 마이크로웨이브 의 실제 파워와 디스플레이 파워 및 리플렉트 파워에 대한 모니터링 및 출력값의 조정이 용이하게 이루어질 수 있다. 이에 의에 포워드 파워(Forward Power) 및 리플렉트 파워(Reflected Power)에 대한 확인이 용이하며 마이크로웨이브 파워 교정 작업이 용이하게 이루어질 수 있다.
애셔, 애싱(ashing), 포토레지스트, 제너레이터, 리플렉트 파워

3. 发明公开

KR1020030010417A 반도체장치 애싱설비 无效
标题翻译：用于SEMICONDUCTOR的ASHING设备
公开(公告)号：KR1020030010417A
公开(公告)日：2003-02-05
申请号：KR1020010045464
申请日：2001-07-27
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： H01L21/3065
摘要： PURPOSE: An ashing apparatus for semiconductor is provided to isolate an ultraviolet lamp from an influence of RF power and change stably process gas into plasma by covering the ultraviolet lamp with a screen having plural mesh patterns. CONSTITUTION: An ultraviolet lamp(40) is supported by a lamp holder(42) which is fixed on the predetermined portion of the sidewall of the plasma chamber(20). A power cable is projected to the outside of the plasma chamber(20). A fixing portion(44) is used for supporting and fixing the power cable. The ultraviolet lamp(40) is covered with a screen(46). A plurality of meshes are formed on the screen(46). The screen(46) is formed with a metallic material. An end portion of the screen(46) is fixed on the lamp holder(42) by using a combination portion(48). A size of the mesh is 0.8mm to 1.2mm.
摘要翻译：目的：提供一种用于半导体的灰化装置，用于隔离紫外线灯与RF功率的影响，并通过用具有多个网格图案的屏幕覆盖紫外灯来改变稳定地将气体加工成等离子体。构成：紫外灯（40）由固定在等离子体室（20）的侧壁的预定部分上的灯座（42）支撑。电力电缆投影到等离子体室（20）的外部。固定部分（44）用于支撑和固定电力电缆。紫外线灯（40）被屏幕（46）覆盖。多个网格形成在屏幕（46）上。筛（46）由金属材料形成。屏幕（46）的端部通过组合部分（48）固定在灯座（42）上。网格尺寸为0.8mm至1.2mm。

4. 发明授权

KR101520649B1 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의압축 및 복원 방법 및 시스템 有权
公开(公告)号：KR101520649B1
公开(公告)日：2015-05-15
申请号：KR1020080006349
申请日：2008-01-21
申请人： 삼성전자주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 김호경 , 이승용 , 이종석 , 최성열
IPC分类号： G06T17/20 , G06T17/00
摘要： 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의 압축 및 복원 방법 및 시스템이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 3차원 메쉬 모델에서의 임의 접근 가능한 메쉬 데이터의 압축 방법은 3차원 메쉬 모델로부터 메쉬 데이터를 획득하는 메쉬 데이터 획득부, 상기 메쉬 데이터를 이용하여 복수의 와이어 셀(Wire cell)로 구성되는 와이어 메쉬를 생성하는 와이어 메쉬 생성부, 상기 각 와이어 셀에 대한 메쉬 데이터를 포함하는 와이어 셀 데이터 및 상기 와이어 메쉬에 대한 와이어 메쉬 정보를 생성하는 데이터 구조 생성부, 및 상기 생성된 와이어 메쉬 정보와 상기 와이어 셀 데이터를 압축하는 인코딩부를 포함한다.
3차원 메쉬 모델, 와이어 메쉬, 와이어 셀, 임의 접근, 메쉬 압축, 메쉬 복원

5. 发明公开

KR1020060009539A 반도체 제조 설비의 에싱 장치 无效
标题翻译：半导体器件制造设备的散热装置
公开(公告)号：KR1020060009539A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：KR1020040058155
申请日：2004-07-26
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： G03F7/427 , H01L21/67253
摘要： 본 발명은 식각공정시 사용되는 감광막을 제거하기 위한 에싱 장치에 관한 것이다. 본 발명에서는, 상기 에싱 장치의 상부에 형성되는 램프의 페일을 신속하게 검출할 수 있도록 하는 램프 페일 디텍터를 형성함을 특징으로 한다. 상기 램프 페일 디텍터를 형성함으로 인해, 램프에 페일이 검출될 경우 즉시 공정 가동을 중단시켜 페일을 제거할 수 있게 되어 플라즈마 C/B의 오링 손상을 방지하고, 설비의 리크, 언에싱 및 프로세스 C/B의 오염 문제를 해소할 수 있게 된다.

식각공정, 감광막, 에싱(ashing), 언에싱(unashing), 플라즈마

6. 发明公开

KR1020050109726A 반도체 제조설비의 고주파 파워 모니터링장치 无效
标题翻译：用于记录半导体产品设备的无线电频率的设备
公开(公告)号：KR1020050109726A
公开(公告)日：2005-11-22
申请号：KR1020040034728
申请日：2004-05-17
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： H01J37/32935 , H01L21/67242
摘要： 본 발명은 반도체 제조설비에서 고주파 파워 공급 시 하이상태의 직류 바이어스전압을 감지하는 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 반도체 제조설비의 고주파 파워 모니터링장치는, 공정을 진행하기 위해 고주파워를 설정하기 위한 명령을 발생하고, 각종 공정진행 정보를 표시하며, 공정진행 중에 검출된 고주파 파워를 받아 표시하는 GUI; 상기 GUI로부터 고주파 파워를 설정하기 위한 명령을 받아 고주파 파워를 저장하고, 상기 저장한 고주파 파워레벨로 고주파 파워를 발생하는 제어신호를 출력하며, 공정진행 중에 검출된 고주파 파워를 받아 상기 GUI에 표시할 수 있도록 제어하는 컴퓨터; 상기 컴퓨터로부터 고주파 파워를 발생하기 위한 제어신호를 받아 설정된 고주파 전원을 생성하기 위한 제어신호를 출력하는 콘트롤러; 상기 고주파 전원을 생성하기 위한 제어신호를 받아 그에 대응하는 전원을 생성하여 출력하는 전원발생기; 상기 전원발생기로부터 전원을 공급받아 고주파 파워를 발생하여 공정챔버로 공급하고 그 발생된 반사전력을 상기 전원발생기로 피드백시키는 고주파 파워 발생기; 상기 고주파 파워 발생기로부터 발생된 고주파 파워의 레벨을 검출하여 상기 컴퓨터로 제공하는 고주파 파워 검출기;를 포함한다.
본 발명은 공정을 시작하기 전에 고주파 파워를 설정하여 놓은 후 공정진행 중에 발생되는 고주파 파워를 모니터링하여 작업자가 고주파 파워의 드롭상태를 인식할 수 있도록 하므로 웨이퍼의 공정불량 발생을 방지한다.

7. 发明公开

KR1020010017674A 위치 회전형 웨이퍼 감지 타워의 구동장치 无效
标题翻译：用于驱动检测塔位置变换类型的装置
公开(公告)号：KR1020010017674A
公开(公告)日：2001-03-05
申请号：KR1019990033330
申请日：1999-08-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： H01L21/66
摘要： PURPOSE: An apparatus for driving a wafer detecting tower of a position revolution type is provided to improve work efficiency and to reduce time and manpower, by preventing a motor, a lead screw and elements constituting a screw-type power transfer apparatus from being deteriorated. CONSTITUTION: An apparatus for driving a wafer detecting tower of a position revolution type includes an air cylinder apparatus composed of a cylinder(21), a piston(23), a cylinder shaft(25), an air input/output valve and an actuator(27). The actuator which transfers power to a connecting part(36,37) of the tower used for detecting a wafer by using the cylinder shaft, carries out a straight line motion within a predetermined scope.
摘要翻译：目的：提供一种用于驱动位置旋转型晶片检测塔的装置，通过防止电动机，丝杠和构成螺旋式电力传送装置的元件的劣化，提高工作效率并缩短时间和人力。构成：用于驱动位置旋转型晶片检测塔的装置包括气缸装置，其由气缸（21），活塞（23），气缸轴（25），空气输入/输出阀和致动器（27）。通过使用气缸轴将功率传递到用于检测晶片的塔的连接部分（36,37）的致动器在预定范围内执行直线运动。

8. 发明公开

KR1020000061053A 리덕션 풀리 가이드를 갖춘 웨이퍼 이송용 로봇 无效
标题翻译：带减速螺旋桨导向器的转子机器人
公开(公告)号：KR1020000061053A
公开(公告)日：2000-10-16
申请号：KR1019990009830
申请日：1999-03-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최성열
IPC分类号： B65G49/07
摘要： PURPOSE: A wafer transfer robot is provided to prevent a damage of roller bearing or pulley shaft by reducing a moment generated by a rotation of a reduction pulley upon rotation of a robot Z-axis in a wafer transfer robot. CONSTITUTION: A robot comprises a robot pan for supporting a wafer, a robot Z-axis for rotating the robot pan in a predetermined direction, two reduction pulleys(122,124) arranged beneath the robot Z-axis and which rotate coaxially centering from a pulley shaft(130) so as to rotate the robot Z-axis, a fixing plate(150) for fixing the pulley shaft to be rotatable onto the reduction pulley, and a reduction pulley guide(200) for fixing the pulley shaft in such a manner that the pulley shaft rotate simultaneously on and beneath the reduction pulley.
摘要翻译：目的：提供一种晶片传送机器人，通过在机器人Z轴在晶片传送机器人中旋转时减少由减速滑轮旋转产生的力矩来防止滚子轴承或滑轮轴的损坏。构成：机器人包括用于支撑晶片的机器人盘，用于沿预定方向旋转机器人盘的机器人Z轴，布置在机器人Z轴下方的两个减速带轮（122,124），并且从皮带轮轴（130），以使所述机器人Z轴旋转，用于将所述滑轮轴固定在所述减速滑轮上的固定板（150）和用于将所述滑轮轴固定的减速滑轮引导件（200）滑轮轴在减速滑轮上和下方同时旋转。

9. 发明公开

KR1020110042440A 강화 이미지 제공 시스템 및 방법 有权
标题翻译：补充图像提供系统及其方法
公开(公告)号：KR1020110042440A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020090099109
申请日：2009-10-19
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 최태호 , 최성열 , 김호경
IPC分类号： H04W4/02 , H04W88/18 , H04B1/40
摘要： PURPOSE: A reinforcing image providing system and method thereof are provided to exactly recognize a target which is photographed with a mobile device. CONSTITUTION: A mobile device(110a) displays a reinforcing image which information related to the target of a photographing image is matched. An internet server(120a) selects a neighboring scene image among a scene image which satellite navigation information is recorded based on the satellite navigation information transmitted from the mobile device. The internet server determines the target by matching the selected scene image and the photographing image. The internet server transmits target related information by searching the information.
摘要翻译：目的：提供一种加强图像提供系统及其方法，以精确识别用移动设备拍摄的目标。构成：移动设备（110a）显示与拍摄图像的目标相关的信息匹配的加强图像。互联网服务器（120a）基于从移动设备发送的卫星导航信息，在拍摄卫星导航信息的场景图像中选择相邻场景图像。互联网服务器通过匹配所选择的场景图像和拍摄图像来确定目标。互联网服务器通过搜索信息来发送目标相关信息。

10. 发明公开

KR1020090080421A ３차원 메쉬 모델의 메쉬 데이터의 압축 및 복원 방법 및시스템 有权
标题翻译：用于压缩和解码三维网格模型的MESH数据的方法和系统
公开(公告)号：KR1020090080421A
公开(公告)日：2009-07-24
申请号：KR1020080006347
申请日：2008-01-21
申请人： 삼성전자주식회사 , 포항공과대학교 산학협력단
发明人： 김호경 , 이승용 , 이종석 , 최성열
IPC分类号： G06T17/20 , G06T17/10 , G06T9/20
CPC分类号： G06T9/001 , G06T9/20 , G06T17/20
摘要： A method and a system for compressing and restoring mesh data of a 3D mesh model are provided to quantize and store location data of each node relatively exactly as compressing ad storing the location data of each node with a less number of bits. A system for compressing and restoring mesh data of a 3D mesh model(100) comprise a mesh data acquisition unit(110), a cluster mesh generation part(120), and a local quantization unit(130). The mesh data acquisition part obtains mesh data from a 3D mesh model. The cluster mesh generation part produces a plurality of cluster meshes by using the mesh data. The local quantization unit applies each local coordinate system to the plural cluster meshes, and generates quantization data for each node by quantizing the location information of each node included in each cluster mesh.
摘要翻译：提供了一种用于压缩和恢复三维网格模型的网格数据的方法和系统，用于量化和存储每个节点的位置数据，其方式和压缩方式与存储具有较少位数的每个节点的位置数据相同。用于压缩和恢复3D网格模型（100）的网格数据的系统包括网格数据获取单元（110），聚类网格生成部分（120）和局部量化单元（130）。网格数据采集部分从3D网格模型获取网格数据。集群网格生成部分通过使用网格数据生成多个聚类网格。本地量化单元将每个局部坐标系应用于多个聚类网格，并且通过量化每个聚类网格中包含的每个节点的位置信息来为每个节点生成量化数据。

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