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    • 5. 发明申请
    • 유도 가열 조리기기
    • 感应加热烹饪器具
    • WO2015182914A1
    • 2015-12-03
    • PCT/KR2015/005038
    • 2015-05-20
    • 삼성전자주식회사
    • 정광진김중권이지형
    • F24C7/04F24C15/10
    • H05B6/1218F24C7/04F24C15/10H05B6/02H05B6/1236H05B6/1245H05B2206/022
    • 유도 가열 조리기기는 빛을 통과시키는 보조 슬릿을 갖는 조리대와, 조리대 위에 올려 놓인 조리 용기를 유도 가열하도록 자기장을 발생시키는 유도 코일과, 유도 코일의 외곽에 배치되는 적어도 하나의 광원과, 광원에서 발산되는 빛의 진행 방향을 전환하고 집광시키는 광학 부재와, 조리 용기에 불꽃 이미지를 형성시키도록 광학 부재에서 발산되는 빛을 통과시키는 메인 슬릿을 포함하여 유도 코일의 작용 시에 조리 용기의 하단 표면에 가상의 불꽃 이미지를 형성시킴으로써 조리 용기의 가열 상태를 용이하게 인지할 수 있다.
    • 感应加热烹饪器具包括:具有光通过的辅助狭缝的烹饪台; 用于产生磁场以感应加热放置在烹饪台上的烹饪容器的感应线圈; 设置在所述感应线圈的外缘的至少一个光源; 用于改变发射光源并聚焦光的光的行进方向的光学构件以及从光学构件发射的光通过的主狭缝,以便在烹饪容器上形成火焰图像。 感应加热烹饪装置在感应线圈操作时在烹饪容器的下表面上形成虚拟火焰图像,从而能够容易地识别烹饪容器的加热状态。
    • 8. 发明公开
    • 반도체 장치의 트렌치 아이솔레이션 형성 방법
    • 在半导体器件中形成沟槽隔离的方法
    • KR1019980048261A
    • 1998-09-15
    • KR1019960066823
    • 1996-12-17
    • 삼성전자주식회사
    • 정광진
    • H01L21/76
    • 본 발명은 SOG막을 이용하여 트렌치 아이솔레이션을 형성하는 반도체 장치의 트렌치 아이솔레이션 형성 방법에 관한 것으로, 반도체 기판상에 제 1 절연막, 제 2 절연막, 그리고 제 3 절연막을 순차적으로 형성하는 공정과; 상기 제 3 절연막상에 트렌치가 형성될 영역을 정의하여 포토레지스트 패턴을 형성하는 공정과; 상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 사용하고, 상기 제 3 절연막, 제 2 절연막, 그리고 제 1 절연막을 순차적으로 식각하여 제 1 및 제 2, 그리고 제 3 절연막 패턴을 형성하는 공정과; 상기 제 3 절연막 패턴을 마스크로 사용하고, 상기 반도체 기판을 소정의 두께로 식각하여 트렌치를 형성하는 공정과; 상기 제 3 절연막 패턴을 제거하는 공정과; 상기 트렌치를 산화시켜 상기 트렌치의 저면 및 측벽에 제 4 절연막을 형성하는 공정과; 상기 트렌치의 제 4 절연막을 포함하여 상기 제 2 절연막 패턴상에 SOG막을 형성하는 공정과; 상기 SOG막을 1차 베이크하는 공정과; 상기 SOG막을 상기 1차 베이크 보다 상대적으로 높은 온도에서 2차 베이크하는 공정을 포함한다. 이와같은 방법에 의해서, 트렌치를 충전할 시, 트렌치내에 보이드 또는 씸이 발생되는 것을 방지할 수 있고, 또한 다양한 크기의 폭을 갖는 트렌치가 동시에 형성되더라도 트렌치간의 충전물의 두께가 일정하게 형성되기 때문에 반도체 장치의 균일성를 확보할 수 있다.
    • 10. 发明公开
    • 최종 보호막 형성 방법
    • 形成最终保护层的方法
    • KR1020010068583A
    • 2001-07-23
    • KR1020000000574
    • 2000-01-07
    • 삼성전자주식회사
    • 정광진
    • H01L21/318
    • PURPOSE: A method for forming a final protective layer is provided to prevent previously troubles generated in the next process by removing a polymer generated from a plasma etching process. CONSTITUTION: A silicon nitride layer is applied on a semiconductor wafer formed with an external connection pad and a fuse(200). A photoresist pattern is formed on the silicon nitride layer(210). The first plasma etching process is performed by using the photoresist pattern as a mask(220). The external connection pad and the fuse are exposed by the first plasma etching process(230). The second plasma etching process is performed to remove a polymer generated from the first plasma etching process(240). The photoresist pattern is removed by performing an ashing process and a strip process.
    • 目的:提供一种用于形成最终保护层的方法,以通过除去由等离子体蚀刻工艺产生的聚合物来防止在下一工艺中产生的先前的麻烦。 构成:在形成有外部连接焊盘和熔丝(200)的半导体晶片上施加氮化硅层。 在氮化硅层(210)上形成光刻胶图案。 通过使用光致抗蚀剂图案作为掩模(220)来执行第一等离子体蚀刻工艺。 外部连接焊盘和熔丝通过第一等离子体蚀刻工艺(230)暴露。 执行第二等离子体蚀刻工艺以去除由第一等离子体蚀刻工艺(240)产生的聚合物。 通过进行灰化处理和剥离处理来去除光致抗蚀剂图案。