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1. 发明授权

KR100514167B1 세정액 및 이를 사용한 세라믹 부품의 세정 방법 失效
标题翻译：陶瓷零件清洗方法及清洗方法
公开(公告)号：KR100514167B1
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：KR1020020035422
申请日：2002-06-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 김대훈 , 전상문 , 김진성 , 전필권 , 박동진 , 김정주 , 류재준
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B08B7/0071 , B08B3/12 , C11D7/10 , C11D7/265 , C11D7/5013 , C11D11/0047 , C11D11/007
摘要： 세정액 및 이를 사용한 세라믹 부품의 세정 방법이 개시되어 있다. 5 내지 10 중량%의 불화물염, 10 내지 20 중량%의 유기산 및 30 내지 50 중량 %의 유기 용매 및 20 내지 50 중량%의 물을 포함하는 세정액을 제공한다. 상기 세정액에 세라믹 부품을 침지한 후 상기 세정액을 헹구어 냄으로서, 플라즈마 반응 부산물이 흡착되어 있는 세라믹 부품을 세정할 수 있다.

2. 发明授权

KR100447285B1 기판 건조 장치 失效
标题翻译： 기판건조장치
公开(公告)号：KR100447285B1
公开(公告)日：2004-09-07
申请号：KR1020020053631
申请日：2002-09-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 고용균 , 류재준 , 이헌정 , 전필권
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034
摘要： An apparatus for drying a substrate using an isopropyl alcohol vapor includes a container for receiving an isopropyl alcohol vapor to dry a plurality of substrates wherein an opening is vertically formed through an upper portion of the container to permit the loading and unloading of the substrates; a supporting member for supporting the plurality of substrates in the container in a vertical direction and for supporting the substrates side by side in a horizontal direction, wherein the supporting member extends through the container and through the opening; and a cover for obstructing a flow of clean air from flowing directly from an air cleaner disposed over the container into the container through the opening. In addition, the apparatus may include an inert gas supplying member to supply an inert gas onto the substrates to prevent native oxide films from forming on the substrates.
摘要翻译：一种使用异丙醇蒸汽干燥衬底的设备包括：用于接收异丙醇蒸气以干燥多个衬底的容器，其中通过容器的上部竖直地形成开口以允许衬底的装载和卸载; 支撑部件，用于在垂直方向上支撑所述容器中的所述多个基板，并用于沿水平方向并排支撑所述基板，其中所述支撑部件延伸穿过所述容器并穿过所述开口; 以及用于阻止清洁空气流从设置在容器上方的空气清洁器通过开口直接流入容器的盖。另外，所述设备可以包括惰性气体供应构件，以将惰性气体供应到基板上以防止在基板上形成自然氧化膜。

3. 发明公开

KR1020000056635A 샘플링 용기 无效
标题翻译：采样容器
公开(公告)号：KR1020000056635A
公开(公告)日：2000-09-15
申请号：KR1019990006119
申请日：1999-02-24
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 오윤철 , 신흥수 , 박문수 , 류재준
IPC分类号： G01N1/10
摘要： PURPOSE: A sampling container is provided to prevent pollution of sample ultrapure water by shutting off introduction of ambient air when extracting a sample at a sampling point and supplying the prepared sample ultrapure water to an analysis device. CONSTITUTION: A sampling container includes a main body having an inner space for containing a sample solution, a lid for covering an inlet of the main body, a first injection tube(16) mounted in the lid for injecting a sampling solution into the inner space of the main body and connected to a sampling point(40) via a tube(42), a second injection tube(18) mounted in the lid for injecting purge gas into the inner space, and a discharge tube(20) mounted in the lid and connected to the injection an analysis device(30) for supplying the sample solution filled in the container to the analysis device, wherein introduction of ambient air is shut off when extracting a sample at the sampling point and supplying the sample solution to the analysis device.
摘要翻译：目的：提取采样容器，通过在取样点抽取样品时切断环境空气的引入，并将制备的样品超纯水供给分析装置，以防止样品超纯水污染。构成：采样容器包括具有用于容纳样品溶液的内部空间的主体，用于覆盖主体的入口的盖，安装在盖中的用于将取样溶液注入内部空间的第一注入管（16）的主体，经由管（42）连接到取样点（40）;安装在盖中的用于将净化气体注入内部空间的第二注入管（18），以及安装在主体盖子并连接到注射用于将填充在容器中的样品溶液供应到分析装置的分析装置（30），其中当在取样点提取样品并将样品溶液供应到分析时，引入环境空气被切断设备。

4. 发明公开

KR1020000019934A 청정실의 모니터링 시스템 无效
标题翻译：清洁厅监控系统
公开(公告)号：KR1020000019934A
公开(公告)日：2000-04-15
申请号：KR1019980038292
申请日：1998-09-16
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 한윤수 , 안요한 , 임기환
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PURPOSE: A monitoring system is made so that a scale of system hardware is increased only in quantity but a cable for installing a number of sensors is not increased when applying a number of sensors in the system by minimizing wire. CONSTITUTION: A monitoring system is applied using the fact that sensing signals of all kinds of sensors(S01-S0n,S11-S1n) can be supplied to a main controller(3) through a data buffer(4a,4b) only by connecting the sensors watching a process state of a facility with wire. The system can use the space of the facility effectively by removing wire connecting the sensors with the data buffer, by adding a function receiving a wireless data to the data buffer and transmitting the sensing signals of the sensors wirelessly by connecting a wireless data transmission unit(5,6) to the sensors which transmits the sensing signals of the sensors wirelessly after converting into wireless signals.
摘要翻译：目的：进行监控系统，使系统硬件的规模只能在数量上增加，但是通过最小化电线来在系统中应用多个传感器时，不会增加安装多个传感器的电缆。构成：使用以下事实来应用监控系统，只要通过连接数据缓冲器（4a，4b），可以通过数据缓冲器（4a，4b）将各种传感器（S01-S0n，S11-S1n）的感测信号提供给主控制器（3）用传感器观察设备的过程状态。通过将数据缓冲器与传感器连接，通过将数据接收无线数据的功能添加到数据缓冲器并通过连接无线数据传输单元（无线传输）来传输传感器的感测信号，系统可以有效地利用设备的空间， 5,6）传送到在转换成无线信号之后无线地传送传感器的感测信号的传感器。

5. 实用新型

KR200151451Y1 반도체 파티클 발생기 失效
标题翻译：半导体颗粒发生器
公开(公告)号：KR200151451Y1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR2019960020766
申请日：1996-07-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 김대열
IPC分类号： H01L21/00
摘要： 실험을 목적으로 클린룸 내부에 파티클을 발생시키는 반도체 파티클 발생기에 관한 것이다.
본 고안은, 공기공급원에서 공급되는 공기가 버블발생기를 포함한 제 1 라인과 상기 제 1 라인에서 분기된 제 2 라인으로 공급되도록 구성되고, 상기 제 1 라인을 통과한 특정크기를 가지는 파티클을 포함한 에어로솔상태의 공기와 상기 제 2 라인을 통과한 공기가 제 3 라인으로 혼합 방출되도록 구성된 반도체 파티클 발생기에 있어서, 상기 버블발생기 전단에 공기의 양을 제어 및 확인하는 제 1 수단이 구성되고, 제 2 라인에도 공기의 양을 제어 및 확인하는 제 2 수단이 구성되며, 상기 제 3 라인에는 특정크기를 가지는 상기 혼합방출 공기의 파티클 수를 카운트하는 레이저 파티클 카운터가 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 파티클의 분석에 정확성을 기할 수 있는 효과가 있다.

6. 发明公开

KR1019980075663A 반도체 제조장비의 열배기장치 失效
标题翻译：半导体制造设备的排热系统
公开(公告)号：KR1019980075663A
公开(公告)日：1998-11-16
申请号：KR1019970011906
申请日：1997-03-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 이중선 , 김대열 , 안요한
IPC分类号： H01L21/22
摘要： 반도체 제조장비의 하단부에 범용이 가능하도록 블록으로 조립된 배기덕트를 설치함으로써 작업실 외부로 열을 강제배기시켜 열로 인한 설비 및 웨이퍼의 영향을 최소화하는 반도체 제조장비의 열배기장치에 관한 것이다.
본 발명은 본체 내부에 발열부를 구비하고 본체의 하부가 개방된 형태의 반도체 제조장비에 있어서, 상기 본체의 하단부를 따라 설치되어 바닥면과 하단부 사이의 기밀을 유지하도록 하고, 속이 빈 중공형태로서 내측면에 본체의 내부와 연통하는 흡입구가 형성된 배기덕트 및 상기 배기덕트에 호스를 연결하여 본체 내부의 열을 강제로 배기시키기 위한 펌핑모터로 구성됨을 특징으로 한다.
따라서 제조장비의 과열을 방지하여 제조장비의 정지나 고장을 막고 적정온도의 작업환경을 유지하며 발열부에 의한 작업실 및 작업자의 영향을 최소화할 수 있고 필요시엔 언제든지 설치와 분해가 가능하고 다른 장비와의 호환이 자유로우며 경제적이고 펌핑모터에서 발생하는 분진이나 소음 및 진동 등이 작업실 내부에 영향을 미치지 않게 하는 효과를 갖는다.

7. 实用新型

KR2019980009657U 반도체 파티클 발생기 失效
标题翻译：半导体粒子发生器
公开(公告)号：KR2019980009657U
公开(公告)日：1998-04-30
申请号：KR2019960020766
申请日：1996-07-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 김대열
IPC分类号： H01L21/00
摘要： 실험을목적으로클림룸내부에파티클을발생시키는반도체파트클발생기에관한것이다. 본고안은, 공기공급원에서공급되는공기가버블발생기를포함한제1라인과상기제1라인에서분기된제2라인으로공급되도록구성되고, 상기제1라인을통과한특정크기를가지는파티클을포함한에어솔상태의공기와상기제2라인을통과한공기가제3라인으로혼합방출되도록구성된반도체파트클발생기에있어서, 상기버블발생기전단에공기의양을제어및 확인하는제1수단이구성되고, 제2라인에도공기의양을제어및 확인하는제2수단이구성되며, 상기제3라인에는특정크기를가지는상기혼합방출공기의파티클수를카운트하는레이저파티클카운터가설치됨을특징으로한다. 따라서, 파티클의분석에정확성을기할수 있는효과가있다.
摘要翻译：实验中用于生成室内部克林姆颗粒的较大部分的半导体发生器的目的。本主题创新是由从空气供给源供给被供应到在第一行的第二行分支和包括气泡发生器的第一行的空气，含有具有特定大小通过第一行中的颗粒的空气在半导体部分是大型发电机配置成穿过空气的唯一条件和第二线hangonggi释放与第三行中，用于控制的第一装置的混合，并确定空气向气泡发生器的量，前端和配置，所述第二和用于控制空气在线的量，并确定所述结构的第二装置，所述第一特征在于，所述第三线被安装在激光粒子计数器进行计数的颗粒在排出空气混合物具有特定尺寸的数量。因此，存在能够确保在颗粒的分析精确度的效果。

8. 发明公开

KR1019970030209A 기류 제어장치, 이 장치를 이용하는 청정 실 및 청정 실내의 온도편차를 감소시키는 방법 失效
标题翻译：气流控制装置，使用该装置减少洁净室和洁净室的温度偏差的方法
公开(公告)号：KR1019970030209A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950042341
申请日：1995-11-20
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 류재준 , 이건형 , 문상영
IPC分类号： H01L21/00
摘要： 본 발명은 기류 제어장치, 이 장치를 사용하는 청정실(Clean Room) 및 청정 실내의 온도편차를 감소시키는 방법에 관해 개시한다. 본 발명에 의한 기류 제어장치는 고효율 입자 필터와 상기 고효율 입자필터 하우징 캡을 한 구성요소로 구비하는 기류유입 장치에 있어서, 상기 고효율 입자필터와 상기 필터 하우징 캡사이에 기류방향을 제어할 수 있는 우산형 수단을 구비한다. 또한, 이 장치를 청정실의 기류 유입구에 구비함으로써, 청정실내의 온도 편차를 감소시키는 방법을 제공한다. 본 발명에 의한 기류 제어장치를 사용함에 따라 임의의 실에 유입되는 기류의 확산각을 넓게 할 수 있다. 따라서 청정실 뿐만 아니라 청정을 요하는 실내의 공간영역별 온도편차를 개선시키고 상대습도를 최적화하여 정전기의 레벨을 낮출 수 있다.

9. 发明授权

KR100636016B1 반도체 제조를 위한 기판의 온도를 측정하는 방법 및 장치 失效
标题翻译：用于半导体制造中的衬底的温度测量的方法和装置
公开(公告)号：KR100636016B1
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1020000065579
申请日：2000-11-06
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 이흥상
IPC分类号： H01L21/66
摘要： 반도체 제조를 위한 기판의 온도를 측정하는 방법 및 장치가 개시되어 있다. 식각 챔버 상측에 리드가 설치되는데, 상기 리드에는 창이 형성되어 있다. 이에 따라 상기 창을 통하여 레이저를 기판 표면에 조사한다. 이때 조사되는 레이저는 기판의 중심 부위에서 주연 부위까지 조사된다. 그리고 상기 조사에 의해 반사되는 레이저를 파장을 독출하고, 상기 파장에 의거하여 기판의 표면 온도를 측정한다. 이때 상기 기판 전면에 상기 레이저가 조사되기 때문에 상기 기판 전면의 표면 온도를 측정할 수 있다. 따라서, 식각 공정을 수행하는 도중에 온도 조건이 패턴의 선폭 또는 프로파일 등에 끼치는 영향을 정확하게 파악할 수 있다.

10. 发明授权

KR100516781B1 클린룸에서사용되는운반장치 失效
公开(公告)号：KR100516781B1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：KR1019980003256
申请日：1998-02-05
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 박경호 , 김대열 , 임기환 , 류재준
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 타공판의 하부의 바퀴달린 각 다리의 중간에 진동을 완충하는 완충부를 구성하여 이동 중에 발생되는 진동이나 충격을 상부의 운반물에 전달하지 않고 소음을 방지하도록 개선시킨 클린룸에서 사용되는 운반 장치에 관한 것으로서, 복수 개의 다리로 운반물을 싣는 부분이 지지되고, 상기 다리 단부에 바퀴가 결합된 운반 장치의 다리는 상부 다리와 하부 다리로 이루어지고, 상부다리와 하부 다리의 사이에 상부 다리와 하부 다리를 결합하면서 완충력을 갖는 완충 수단이 설치되어서 이동 중 하부 다리에서 발생되는 진동이 완충 수단 상부로 전달되는 것을 차단하고, 그로써 소정 목적지로의 이동을 위하여 실리는 웨이퍼와 같은 운반물이 진동에 의하여 손상되는 것이 방지되고, 소음이 억제되어 공정환경이 안정됨으로써 수율 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.

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