专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

KR1020090017108A 반도체 제조 설비용 케미컬 혼합 공급 장치 无效
标题翻译：半导体制造设备的化学混合和供应装置
公开(公告)号：KR1020090017108A
公开(公告)日：2009-02-18
申请号：KR1020070081598
申请日：2007-08-14
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 장윤형 , 이상곤 , 이중선 , 허상구
IPC分类号： H01L21/02
摘要： A chemical mixing & supplying apparatus for semiconductor manufacturing equipment are provided to accurately maintains the mixing ratio of the chemical according to processing condition of the wafer and to reduce the defective proportion of the semiconductor device. A plurality of reservoirs(100) has the fixed store volume for storing chemical. A plurality of chemical supply parts(200) supplies each chemical to a plurality of reservoirs. The chemical storage regulating unit(300) successively stores the different flow. The chemical mixing control part(500) supplies the chemical stored in reservoirs to the mixing vessel(400). A pair of supply tube(310) connect the reservoir and the plurality of chemical supply parts. The measurement apparatus(330) measures the storage quantity of the chemical supplied in reservoir. The first controller(340) is electrically connected to the measurement apparatus.
摘要翻译：提供一种用于半导体制造设备的化学混合和供应装置，以根据晶片的处理条件精确地保持化学品的混合比例并减少半导体器件的不良比例。多个储存器（100）具有用于储存化学品的固定储存容积。多个化学品供应部件（200）将每种化学品提供给多个储存器。化学品储存调节单元（300）依次存储不同的流。化学混合控制部分（500）将储存在储存器中的化学品供应到混合容器（400）。一对供应管（310）连接储存器和多个化学品供应部件。测量装置（330）测量储存器中供应的化学品的储存量。第一控制器（340）电连接到测量装置。

2. 发明公开

KR1020080043051A 표시 패널 및 이를 구비하는 표시 장치 无效
标题翻译：显示面板和显示设备
公开(公告)号：KR1020080043051A
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：KR1020060111578
申请日：2006-11-13
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 정석기 , 주승용 , 이중선 , 이동엽
IPC分类号： G02F1/1345
CPC分类号： G02F1/1345 , G02F2202/22 , H01R12/716 , H05K1/0215 , H05K2201/05
摘要： A display panel and a display device having the display panel are provided to prevent whitening of an LCD(Liquid Crystal Display) and breakdown of a driving chip by coating silver paste on one side of a flexible printed circuit connector to form a ground and widening a ground region using a stainless steel reinforcing plate. A display panel(100) includes a first substrate(110), a second substrate(120), and a flexible printed circuit board(220). The first and the second substrate face each other. The flexible printed circuit board is connected to one side of the second substrate and includes a connector(230) for receiving external signal. A ground is formed on one side of the connector. The ground is formed by coating silver paste(500) on one side of the connector. A stainless steel reinforcing plate(600) is placed on the silver paste.
摘要翻译：提供了具有显示面板的显示面板和显示装置，以防止LCD（液晶显示器）的白化，并且通过在柔性印刷电路连接器的一侧上涂覆银膏来形成地面并加宽地面采用不锈钢加强板。显示面板（100）包括第一基板（110），第二基板（120）和柔性印刷电路板（220）。第一和第二基板彼此面对。柔性印刷电路板连接到第二基板的一侧，并且包括用于接收外部信号的连接器（230）。在连接器的一侧形成接地。地面是通过在连接器一侧涂上银膏（500）而形成的。将不锈钢加强板（600）放置在银浆上。

3. 发明公开

KR1020080036450A 기판 처리 장치 및 방법 无效
标题翻译：用于处理基板的装置和方法
公开(公告)号：KR1020080036450A
公开(公告)日：2008-04-28
申请号：KR1020060103068
申请日：2006-10-23
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 안승훈 , 이상곤 , 이중선 , 허상구 , 이동원 , 장윤형
IPC分类号： H01L21/304
摘要： An apparatus and a method for processing a substrate are provided to minimize the gelling of poly-silazane based chemicals in a pipe by forming nitrogen gas atmosphere in an exhaust pipe to block reaction of the poly-silazane based chemicals with moisture and oxygen. A substrate(W) is placed on a rotatable substrate supporting member(100). A chemical supplying member(200) supplies chemicals to the substrate. A bowl(300) is arranged to surround the substrate supplying member. The bowl includes a chemical exhaust hole(312) and an air exhaust hole(314) to separate the chemical dispersed by rotation of the substrate from air and to exhaust the separated chemical and the air. A chemical exhaust unit(400) is connected to the chemical exhaust hole of the bowl. The dispersed chemicals flowed in the bowl are exhausted and stored in the chemical exhaust unit. A purge gas supplying member(500) supplies purge gas to the chemical exhaust unit.
摘要翻译：提供了一种用于处理基板的装置和方法，以通过在排气管中形成氮气气氛来最大限度地减少多管硅氮烷基化学品在管中的凝胶化，以阻止多硅氮烷基化学品与水分和氧气的反应。将基板（W）放置在可旋转的基板支撑构件（100）上。化学品供应构件（200）向基材供应化学品。碗（300）布置成围绕衬底供应构件。该碗包括一个化学排放孔（312）和一个排气孔（314），用于通过基板旋转和空气分离分散的化学物质，并排出分离的化学物质和空气。化学排气单元（400）连接到碗的化学排气孔。流入碗中的分散的化学物质被排出并储存在化学排气单元中。净化气体供给构件（500）向化学排气单元提供净化气体。

4. 发明公开

KR1020070031723A 약액 공급 장치 无效
标题翻译：化学设备
公开(公告)号：KR1020070031723A
公开(公告)日：2007-03-20
申请号：KR1020050086466
申请日：2005-09-15
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 오석 , 김왕근 , 이상곤 , 김치수
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 본 발명은 반도체 제조 공정에 사용하는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치는 소정의 약품유체를 저장하는 공간을 갖는 하우징과 상기 하우징의 내부벽 표면을 보호하는 소정의 보호막, 그리고 상기 보호막이 손상되면 손상된 부분을 통해 약품유체가 외부로 배출되는 복수의 배출홀들을 포함하는 약액 탱크 및 상기 배출홀들로부터 배출되는 상기 약품유체의 유무를 검출하는 감지 시스템을 포함한다. 이때, 상기 보호막은 불소수지 재질의 보호시트이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 약액 공급 장치는 약액을 저장하는 약액 탱크의 내부 손상을 감지할 수 있다.
약액, 저장탱크, 라이닝 탱크, 약액 공급 장치, 검출부재

5. 发明授权

KR100246963B1 반도체 제조장치의 웨이퍼 홀더용 스테이지 失效
标题翻译：半导体制造单元的保持架
公开(公告)号：KR100246963B1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR1019960056736
申请日：1996-11-22
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 김태협
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/67103
摘要： 본 발명은 웨이퍼에의 파티클들의 퇴적을 방지하기 위하여 스테이지와 그 표면의 웨이퍼가 가열될 수 있도록 형성된 반도체 제조장치의 웨이퍼 홀더용 스테이지에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 제조장치의 웨이퍼 홀더용 스테이지는, 웨이퍼홀더(4)와 함께 웨이퍼(6)를 낱장으로 올려놓고, 이송할 수 있도록 이루어진 웨이퍼(6) 홀더용 스테이지(5)에 있어서, 상기 스테이지(5)를 가열가능한 스테이지로 구성하여 이루어진다.
따라서, 본 발명은 웨이퍼(6)에의 파티클들의 흡착 또는 퇴적을 예방함으로써 제품의 결함을 방지하고, 나아가 반도체 장치의 수율을 증대시키는 효과가 있다.

6. 发明授权

KR100241698B1 반도체 제조장비의 열배기장치 失效
标题翻译：半导体制造热排除装置
公开(公告)号：KR100241698B1
公开(公告)日：2000-02-01
申请号：KR1019970011906
申请日：1997-03-31
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 류재준 , 이중선 , 김대열 , 안요한
IPC分类号： H01L21/22
摘要： 반도체 제조장비의 하단부에 범용이 가능하도록 블록으로 조립된 배기덕트를 설치함으로써 작업실 외부로 열을 강제배기시켜 열로 인한 설비 및 웨이퍼의 영향을 최소화하는 반도체 제조장비의 열배기장치에 관한 것이다.
본 발명은 본체 내부에 발열부를 구비하고 본체의 하부가 개방된 형태의 반도체 제조장비에 있어서, 상기 본체의 하단부를 따라 설치되어 바닥면과 하단부 사이의 기밀을 유지하도록 하고, 속이 빈 중공형태로서 내측면에 본체의 내부와 연통하는 흡입구가 형성된 배기덕트 및 상기 배기덕트에 호스를 연결하여 본체 내부의 열을 강제로 배기시키기 위한 펌핑모터로 구성됨을 특징으로 한다.
따라서 제조장비의 과열을 방지하여 제조장비의 정지나 고장을 막고 적정온도의 작업환경을 유지하며 발열부에 의한 작업실 및 작업자의 영향을 최소화할 수 있고 필요시엔 언제든지 설치와 분해가 가능하고 다른 장비와의 호환이 자유로우며 경제적이고 펌핑모터에서 발생하는 분진이나 소음 및 진동 등이 작업실 내부에 영향을 미치지 않게 하는 효과를 갖는다.

7. 发明授权

KR100210599B1 가변형 프로브를 구비한 파티클 카운터 失效
标题翻译：颗粒计数器
公开(公告)号：KR100210599B1
公开(公告)日：1999-07-15
申请号：KR1019960045095
申请日：1996-10-10
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 안요한 , 김태호 , 유재준 , 이중선
IPC分类号： H01L21/66
CPC分类号： G01N1/2247 , G01N1/2202 , G01N2001/2223 , G01N2001/225 , G01N2001/2285
摘要： 청정실내의 대기풍속에 대응하여 최적의 파티클 측정을 할 수 있도록 개선된 파티클 카운터가 개시되어 있으며, 샘플링 프로브와 카운터 본체를 구비하여 공기중의 파티클수를 계수하는 파티클 카운터에 있어서, 샘플링 공기를 흡입하는 상기 샘플링 프로브의 취입구의 단면적이 순차적으로 증감하며 동일한 형상을 갖는 복수개의 뿔대가 프로브의 전체 길이가 연장 또는 단축이 가능하도록 상호 삽입되는 형태로 구성된다.
따라서, 다양한 대기풍속에 대하여 최적의 측정을 손쉽고 용이하게 수행할 수 있다는 효과가 있다.

8. 发明公开

KR1019990041354A 반도체장치 제조설비의 압력 제어장치 无效
标题翻译：半导体器件制造设备的压力控制装置
公开(公告)号：KR1019990041354A
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019970061936
申请日：1997-11-21
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 전재강 , 이만순 , 홍사문
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 전자부품의 제조, 유전공학 및 항공우주산업 등과 같은 고청정을 요구하는 설비, 즉 공기 및 케미컬이 공급되는 설비의 내부와 외부의 압력차를 줄여서 파티클의 발생을 방지하는 반도체장치 제조설비의 압력 제어장치에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체장치를 제조하기 위한 유체를 팬모터의 구동으로 공급하는 반도체장치 제조설비의 압력 제어장치에 있어서, 상기 제조설비의 내부 및 외부의 압력을 감지하는 센싱수단, 상기 센싱수단으로부터 인가되는 센싱신호의 크기를 기설정신호의 크기와 비교하는 신호비교수단 및 상기 신호비교수단으로부터 인가되는 비교결과에 대하여 상기 팬모터로의 전류공급량을 가변시켜서 유체유입량을 조절하는 전류조절수단을 구비하여 이루어진다.
따라서, 본 발명에 의하면 제조설비의 내부와 외부 사이의 압력차이가 영(零)에 근접되게 유지되어서 압력차에 따른 파티클발생이 감소되고, 파티클에 의한 오염이 최소화되어서 수율이 향상되는 효과가 있다.

9. 发明授权

KR100192962B1 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법 失效
标题翻译：动态驾驶空气清洁室及其控制方法
公开(公告)号：KR100192962B1
公开(公告)日：1999-06-15
申请号：KR1019950065738
申请日：1995-12-29
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 김대열 , 안요한 , 전재강
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： B08B5/02 , F24F3/161
摘要： 본 발명은 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법에 관한 것으로서, 본 발명은 에어 크린 룸의 바닥을 간편하게 변경하여 샤워 효율을 극대화할 수 있는 능동 구동형 에어 크린 룸 및 그 제어 방법을 제공하는데 그 목적을 두고 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸은 에어 크린 룸의 바닥에 설치된 복수 개의 샤워 디스크에 작업자가 탑승하였는가의 여부를 감지하는 감지부와, 상기 감지부에 의해 감지된 신호에 따라 구동되는 구동부와, 상기 구동부에 의해 연동되는 샤워 디스크의 작동과 동시에 공기를 분사하는 분사부와, 상기 분사부의 작동에 의해 이탈된 파티클을 배출하는 복수 개의 배출공으로 구성됨을 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 의한 능동 구동형 에어 크린 룸의 제어 방법은 전동기의 회전수 및 그 작동 방법(수동/자동)을 제어부에 입력하는 제1 입력 스텝과, 상기 제1 입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 작동시키는 작동 스템과, 상기 작동 스텝에 의해 구동되는 전동기의 작동 상태에 관한 자료를 검출하여 제어부에 입력시키는 제2 입력 스텝과, 상기 제2 입력 스텝에 의해 입력된 자료를 근거로 제어부에서 전동기와 분사부를 동시에 정지시키는 정지 스텝으로 구성됨을 특징으로 한다.

10. 发明授权

KR100144884B1 클린룸용 스피커 설비 失效
标题翻译：扬声器设备清洁室
公开(公告)号：KR100144884B1
公开(公告)日：1998-08-01
申请号：KR1019950019025
申请日：1995-06-30
申请人： 삼성전자주식회사
发明人： 이중선 , 김대열 , 박은정
IPC分类号： H04R1/00
摘要： 본 발명은 클린룸용 스피커 설비에 관한 것이다. 스피커, 다수의 구멍이 뚫려 있으며 상기 스피커를 감싸고 있는 케이스 및 상기 케이스 내에 구비되어 있는 입자 여과용 울파 필터용 여재를 포함하는 것을 특징으로 하는 클린룸용 스피커 설비에서는 오염 입자가 거의 발생되지 않기 때문에 그 사용 범위가 극히 제한되어 왔던 방송 시스템의 활용을 극대화할 수 있을 뿐만 아니라, 작업 능률 향상을 위한 음악 방송 실시 또는 무선 호출 시스템의 사용도 가능하다.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式