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热词
    • 4. 发明授权
    • 사이클론, 이를 갖는 슬러리 분류 장치, 이 장치를 이용한슬러리 공급 시스템 및 방법
    • 旋风分离器,具有该分离装置的浆料分选设备,浆料供给系统和使用该系统的方法
    • KR100636021B1
    • 2006-10-18
    • KR1020050010433
    • 2005-02-04
    • 삼성전자주식회사씨앤지하이테크 주식회사
    • 김승언홍사문김왕근이상곤황상열
    • B04C5/08B04C5/081
    • B04C5/13B04C5/081B24B57/00
    • 사이클론은 몸체와 선회류 출구부재를 포함한다. 몸체는 유체가 투입되는 인입 통로, 인입 통로에 연결되어 유체 내의 제 1 입자가 배출되는 상단을 갖는 원통형 통로, 및 원통형 통로의 하단에 연결된 상단과 상기 제 1 입자보다 큰 비중을 갖는 제 2 입자가 배출되는 개방된 하단을 갖는 원추형 통로를 갖는다. 선회류 출구부재는 원통형 통로의 상단에 삽입된다. 원통형 통로로부터 선회 상승하는 제 1 입자가 배출되는 제 1 배출 통로가 선회류 출구부재 내에 수직 방향을 따라 형성된다. 수직 방향을 따른 원통형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 0.5 내지 2배이고, 수직 방향을 따른 원추형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 5 내지 9배이다.
    • 旋风器包括主体和旋流出口构件。 体是具有顶部和具有较大的比重大于所述第一颗粒被连接到在其中引入一个流体连接到所述圆筒形通道的下端的入口通道,入口通道的第二颗粒,并具有顶部到其上的圆柱形通道中的流体排出第一颗粒 并且具有开放的下端的锥形通道被排出。 涡流出口部件插入圆柱形通道的上端。 在回旋流出口构件上沿着铅直方向形成有第一排出通路,通过该第一排出通路,从圆柱形通路上升并且上升的第一颗粒被排出。 圆柱形通道沿竖直方向的长度是圆柱形通道直径的0.5至2倍,圆锥形通道沿竖直方向的长度是圆柱形通道直径的5至9倍。
    • 6. 发明授权
    • 화학적 기계적 연마 장비의 슬러리 공급 장치 및 방법
    • 화학적기계적연마장비의슬러리공급장치및방법
    • KR100454120B1
    • 2004-10-26
    • KR1020010070139
    • 2001-11-12
    • 삼성전자주식회사
    • 김승언채승기이제구김수련
    • H01L21/304
    • B24B37/04B24B57/02C23F3/00H01L21/31053H01L21/3212Y10T137/0971
    • An apparatus for supplying chemicals in a chemical mechanical polishing (CMP) process includes a plurality of chemical solution supply sources for supplying different chemical solutions in a pump-less manner by using a pressure applied at the chemical solution supply sources, each supply source having an associated feed line, re-circulating line, and means for measuring and controlling flow rates of the chemical solutions supplied through the feed lines. The chemical solutions are delivered via a plurality of delivery lines to a mixer, thereby providing a mixed chemical solution to a chemical injection part of a polishing apparatus. Each means for measuring and controlling flow rates is mounted in the feed lines.
    • 一种用于在化学机械抛光(CMP)过程中供应化学品的设备包括多个化学溶液供应源,用于通过使用施加在化学溶液供应源处的压力以无泵方式供应不同的化学溶液,每个供应源具有 关联的供给管线,再循环管线以及用于测量和控制通过供给管线供给的化学溶液的流量的装置。 化学溶液经由多个输送管线输送到混合器,从而将混合的化学溶液提供给抛光设备的化学注入部分。 用于测量和控制流量的每种装置都安装在进料管线中。
    • 7. 发明公开
    • 케미컬 혼합장치
    • 混合化学品的装置
    • KR1020010084012A
    • 2001-09-06
    • KR1020000008745
    • 2000-02-23
    • 삼성전자주식회사
    • 김수련채승기김승언이진선
    • B01F7/32B01F13/00
    • PURPOSE: Provided is an apparatus for mixing chemicals which is characterized by enhancing the mixing uniformity of chemicals used at a manufacturing process of semiconductor device by circulating among many mixing vessels. CONSTITUTION: The apparatus is composed of the following parts in draw 1: a first vessel (100) and a second vessel (200) to mix chemical A and B; inlets (110 and 110') for chemical A and B equipped at the first vessel (100); inlets (120 and 220) for an inert gas (ie. N2) equipped at the first vessel and the second vessel, respectively; a connection pipe (130) with the diameter of 30% of the mixing vessel diameter between the mixing vessels; and a mixer (140) shaped like a stirrer on the connection pipe (130).
    • 目的:提供一种混合化学品的装置,其特征在于通过在许多混合容器之间循环来提高半导体装置的制造过程中使用的化学品的混合均匀性。 构成:该装置由图1中的以下部分组成:第一容器(100)和混合化学品A和B的第二容器(200); 用于在第一容器(100)装备的化学品A和B的入口(110和110'); 分别装在第一容器和第二容器上的惰性气体(即N2)的入口(120和220) 连接管(130),其直径在混合容器之间的混合容器直径的30%; 以及在连接管(130)上形成为类似搅拌器的混合器(140)。
    • 9. 发明公开
    • 반도체소자제조용용수처리설비의광산화처리장치
    • 半导体器件制造用水处理设备的光氧化处理装置
    • KR1019990047773A
    • 1999-07-05
    • KR1019970066290
    • 1997-12-05
    • 삼성전자주식회사
    • 김수련김승언김현준오윤철
    • C02F1/72C02F9/00
    • 본 발명은, 반도체소자 제조용 용수처리설비의 광산화처리장치와 이를 구비하는 용수처리설비 및 용수처리방법에 관한 것이다.
      본 발명의 반도체소자 제조용 용수처리설비의 광산화처리장치는, 전처리가 이루어진 용수중에 포함되어 있는 유기물이 산화되도록 상기 소정의 파장의 유브이를 조사시키는 유브이램프; 상기 유브이램프를 수용하고, 상기 용수를 플로우시키는 광산화부; 및 상기 소정의 파장의 유브이의 조사시 상기 유기물의 산화를 활성화시킬 수 있도록 상기 광산화부의 내측벽에 구비되는 촉매부를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
      본 발명의 광산화처리장치가 구비되는 용수처리설비는, 전처리장치; 한외여과장치; 가스처리장치; 유브이램프, 광산화부 및 TiO
      2 재질의 촉매부가 구비되는 제 1 광산화처리장치; 제 1 이온교환장치; 유브이램프, 광산화부 및 TiO
      2 재질의 촉매부가 구비되는 제 2 광산화처리장치; 제 2 이온교환장치; 및 파티클처리장치를 구비하여 이루어짐을 특징으로 한다.
      따라서, 용수중에 포함되어 있는 유기물을 완전하게 처리함으로써 반도체소자의 신뢰도 및 생산성이 향상되는 효과가 있다.