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1. 发明申请

WO2012030005A1 배관 막힘 방지 수단이 마련된 반도체용 슬러리 공급장치 审中-公开
标题翻译：用于半导体供应浆料的设备，提供管道预防措施
公开(公告)号：WO2012030005A1
公开(公告)日：2012-03-08
申请号：PCT/KR2010/005992
申请日：2010-09-03
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 홍사문 , 고세종 , 김형일
发明人： 홍사문 , 고세종 , 김형일
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B24B57/02
摘要： 본 발명은 반도체용 슬러리 공급장치의 진공발생 수단 내에 슬러리가 유입되어 고착됨으로써 진공발생 수단의 오리피스 영역나 배기관이 막히는 것을 방지하는 배관 막힘 방지 수단이 마련된 반도체용 슬러리 공급장치를 개시한다. 본 발명은 반도체 소자의 제조시 연마 공정에서 슬러리를 공급하기 위한 반도체용 슬러리 공급장치에 있어서, 상기 슬러리가 저장된 저장 탱크; 상기 저장 탱크에 각각 연결되어 상기 저장 탱크로부터 슬러리를 공급받아 외부로 배출하는 복수의 가압 베슬; 상기 가압 베슬에 연결되어 상기 가압 베슬에 진공압력을 발생시키는 진공발생수단; 및 상기 가압 베슬과 상기 진공 발생수단의 연결라인에 설치되어 유입되는 압축공기에 포함된 이물질을 원심력으로 압축공기에서 분리시키는 원심분리수단을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明提供了一种用于供应半导体浆料的装置，其具有管堵塞防止装置。管堵塞防止装置由于在流入时在真空产生装置中粘附淤浆而防止真空产生装置的孔口或排气管堵塞。本发明的特征在于在磨损过程中用于供应半导体浆料的装置，该装置包括：储存罐，其中储存浆料; 分别连接到储罐的多个按压容器，以从储罐供给浆料并将其排出到外部; 连接到压力容器上以在压力容器中产生真空压力的真空产生装置; 以及安装在压力容器和真空产生装置的连接线上的离心分离装置，以便通过使用离心力将异物与连接线中的压缩空气的流入分离。

2. 发明申请

WO2010035998A2 반도체용 슬러리 공급장치 및 슬러리 공급방법 审中-公开
标题翻译：用于半导体和浆料供应方法的浆料供应装置
公开(公告)号：WO2010035998A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/KR2009/005373
申请日：2009-09-22
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 김형일 , 홍사문 , 고세종
发明人： 김형일 , 홍사문 , 고세종
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： B24B37/04 , B24B57/02
摘要： 본 발명은 공급되는 상기 슬러리 중 소정치 이상의 입자를 제거하기 위한 여과기; 상기 여과기에 연결되어 주입되는 압축공기를 통해 상기 여과기의 역세척을 실시하는 공기 주입기; 상기 여과기에 연결되어 여과되지 않은 슬러리가 저장되는 슬러리 회수탱크; 및 상기 슬러리 회수 탱크에 설치되어 여과되지 않은 슬러리를 파쇄하기 위한 파쇄기를 포함하여 이루어진데 특징이 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于除去所供给的浆料中的预定值或更多的颗粒的过滤器，连接到过滤器并通过压缩空气对过滤器进行反冲洗的空气喷射器被喷射; 浆液收集罐连接到过滤器以储存未过滤的浆液; 破碎机安装在泥浆收集槽中，用于破碎未经过滤的泥浆。

3. 发明授权

KR100636021B1 사이클론, 이를 갖는 슬러리 분류 장치, 이 장치를 이용한슬러리 공급 시스템 및 방법 有权
标题翻译：旋风分离器，具有该分离装置的浆料分选设备，浆料供给系统和使用该系统的方法
公开(公告)号：KR100636021B1
公开(公告)日：2006-10-18
申请号：KR1020050010433
申请日：2005-02-04
申请人： 삼성전자주식회사 , 씨앤지하이테크 주식회사
发明人： 김승언 , 홍사문 , 김왕근 , 이상곤 , 황상열
IPC分类号： B04C5/08 , B04C5/081
CPC分类号： B04C5/13 , B04C5/081 , B24B57/00
摘要： 사이클론은 몸체와 선회류 출구부재를 포함한다. 몸체는 유체가 투입되는 인입 통로, 인입 통로에 연결되어 유체 내의 제 1 입자가 배출되는 상단을 갖는 원통형 통로, 및 원통형 통로의 하단에 연결된 상단과 상기 제 1 입자보다 큰 비중을 갖는 제 2 입자가 배출되는 개방된 하단을 갖는 원추형 통로를 갖는다. 선회류 출구부재는 원통형 통로의 상단에 삽입된다. 원통형 통로로부터 선회 상승하는 제 1 입자가 배출되는 제 1 배출 통로가 선회류 출구부재 내에 수직 방향을 따라 형성된다. 수직 방향을 따른 원통형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 0.5 내지 2배이고, 수직 방향을 따른 원추형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 5 내지 9배이다.
摘要翻译：旋风器包括主体和旋流出口构件。体是具有顶部和具有较大的比重大于所述第一颗粒被连接到在其中引入一个流体连接到所述圆筒形通道的下端的入口通道，入口通道的第二颗粒，并具有顶部到其上的圆柱形通道中的流体排出第一颗粒并且具有开放的下端的锥形通道被排出。涡流出口部件插入圆柱形通道的上端。在回旋流出口构件上沿着铅直方向形成有第一排出通路，通过该第一排出通路，从圆柱形通路上升并且上升的第一颗粒被排出。圆柱形通道沿竖直方向的长度是圆柱形通道直径的0.5至2倍，圆锥形通道沿竖直方向的长度是圆柱形通道直径的5至9倍。

4. 发明公开

KR1020060089403A 사이클론, 이를 갖는 슬러리 분류 장치, 이 장치를 이용한슬러리 공급 시스템 및 방법 有权
标题翻译：环氧树脂，用于分离浆料的设备，使用设备提供浆料的系统和方法
公开(公告)号：KR1020060089403A
公开(公告)日：2006-08-09
申请号：KR1020050010433
申请日：2005-02-04
申请人： 삼성전자주식회사 , 씨앤지하이테크 주식회사
发明人： 김승언 , 홍사문 , 김왕근 , 이상곤 , 황상열
IPC分类号： B04C5/08 , B04C5/081
CPC分类号： B04C5/13 , B04C5/081 , B24B57/00
摘要： 사이클론은 몸체와 선회류 출구부재를 포함한다. 몸체는 유체가 투입되는 인입 통로, 인입 통로에 연결되어 유체 내의 제 1 입자가 배출되는 상단을 갖는 원통형 통로, 및 원통형 통로의 하단에 연결된 상단과 상기 제 1 입자보다 큰 비중을 갖는 제 2 입자가 배출되는 개방된 하단을 갖는 원추형 통로를 갖는다. 선회류 출구부재는 원통형 통로의 상단에 삽입된다. 원통형 통로로부터 선회 상승하는 제 1 입자가 배출되는 제 1 배출 통로가 선회류 출구부재 내에 수직 방향을 따라 형성된다. 수직 방향을 따른 원통형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 0.5 내지 2배이고, 수직 방향을 따른 원추형 통로의 길이는 원통형 통로의 지름의 5 내지 9배이다.

5. 发明授权

KR101268524B1 유량제어장치 有权
标题翻译：流量控制装置
公开(公告)号：KR101268524B1
公开(公告)日：2013-05-28
申请号：KR1020060064366
申请日：2006-07-10
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 홍사문 , 정보혁 , 박찬경 , 안철수 , 이범의 , 오윤석 , 황상열 , 조현찬
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/363 , G05D7/0635
摘要： 따라서, 차압발생요소에서부분막힘등이발생되어유량제어부에서의개도율조정이잘못실시되는것을방지할수 있게되므로, 해당유체를공급받아이용하는제조장치측에서제품불량이야기되는것을방지하여생산수율을향상시킬수 있는효과가있다.

6. 发明授权

KR101038995B1 반도체 소자 제조용 폐슬러리 재생장치 및 재생방법 有权
标题翻译：用于再生用于生产半导体器件的废浆的装置及其方法
公开(公告)号：KR101038995B1
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：KR1020030084566
申请日：2003-11-26
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 홍사문 , 하상수 , 김재민 , 조현찬
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 반도체 소자 제조용 폐슬러리 재생장치 및 재생방법에 관한 것으로서, 반도체 소자를 제조하기 위한 연마공정에서 슬러리가 공급되는 경로상에 설치되어 폐슬러리를 재생하는 장치에 있어서, 폐슬러리잔류탱크(1)로부터 폐슬러리가 재생되기 위하여 공급되는 폐슬러리공급탱크(20)와, 폐슬러리공급탱크(20)로부터 공급되는 폐슬러리를 원심력에 의해 입자 크기에 따라 분리하여 재활용이 가능한 입자 크기를 가진 폐슬러리를 재활용배출포트(32)를 통해 배출시키는 싸이클론(30)과, 싸이클론(30)의 재활용배출포트(32)로부터 배출되는 폐슬러리를 재활용을 위해 회수하는 재활용슬러리회수탱크(40)를 포함한다. 따라서, 폐슬러리잔류탱크에 잔류하는 폐슬러리를 폐기하지 않고 거의 대부분을 공정에 안정적으로 재활용할 수 있도록 함으로써 고가의 슬러리의 사용량을 줄여서 반도체 소자의 제조단가를 감소시키며, 폐기되는 폐슬러리의 양을 줄여서 환경오염을 최소화하는 효과를 가지고 있다.

7. 发明公开

KR1020080005700A 유량제어장치 有权
标题翻译：流量控制装置
公开(公告)号：KR1020080005700A
公开(公告)日：2008-01-15
申请号：KR1020060064366
申请日：2006-07-10
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 홍사문 , 정보혁 , 박찬경 , 안철수 , 이범의 , 오윤석 , 황상열 , 조현찬
IPC分类号： G05D7/00
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/363 , G05D7/0635
摘要： An apparatus for controlling the flow of liquids is provided to generate an alarm sound by recognizing the error generated from a liquid flow controller in real-time. An apparatus for controlling the flow of liquids includes a liquid flow controller(22) and an error detector(28). The liquid flow controller produces a detection flow rate corresponding to a difference pressure value generated between input and output sides having a difference pressure value generating element therebetween, and controls the opening ratio of the output side in a tube based on comparison with a set flow rate. The error detector produces a normal opening ratio on the set flow rate, compares with a calculated opening ratio from the liquid flow controller, and outputs an alarm sound or an alarm signal according to the comparison result.
摘要翻译：提供一种用于控制液体流动的装置，用于通过实时识别由液体流量控制器产生的误差来产生报警声。用于控制液体流动的装置包括液体流量控制器（22）和误差检测器（28）。液体流量控制器产生对应于在其间具有差压值产生元件的输入侧和输出侧之间产生的差压值的检测流量，并且基于与设定流量的比较来控制管中的输出侧的开口率。误差检测器根据设定的流量产生正常的开启比，与计算出的来自液体流量控制器的开度比较，并根据比较结果输出报警声或报警信号。

8. 发明公开

KR1020050050907A 반도체 소자 제조용 폐슬러리 재생장치 및 재생방법 有权
标题翻译：用于再生用于生产半导体器件的废浆的装置及其方法
公开(公告)号：KR1020050050907A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：KR1020030084566
申请日：2003-11-26
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 삼성전자주식회사
发明人： 홍사문 , 하상수 , 김재민 , 조현찬
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본 발명은 반도체 소자 제조용 폐슬러리 재생장치 및 재생방법에 관한 것으로서, 반도체 소자를 제조하기 위한 연마공정에서 슬러리가 공급되는 경로상에 설치되어 폐슬러리를 재생하는 장치에 있어서, 폐슬러리잔류탱크(1)로부터 폐슬러리가 재생되기 위하여 공급되는 폐슬러리공급탱크(20)와, 폐슬러리공급탱크(20)로부터 공급되는 폐슬러리를 원심력에 의해 입자 크기에 따라 분리하여 재활용이 가능한 입자 크기를 가진 폐슬러리를 재활용배출포트(32)를 통해 배출시키는 싸이클론(30)과, 싸이클론(30)의 재활용배출포트(32)로부터 배출되는 폐슬러리를 재활용을 위해 회수하는 재활용슬러리회수탱크(40)를 포함한다. 따라서, 폐슬러리잔류탱크에 잔류하는 폐슬러리를 폐기하지 않고 거의 대부분을 공정에 안정적으로 재활용할 수 있도록 함으로써 고가의 슬러리의 사용량을 줄여서 반도체 소자의 제조단가를 감소시키며, 폐기되는 폐슬러리의 양을 줄여서 환경오염을 최소화하는 효과를 가지고 있다.

9. 发明授权

KR101082376B1 슬러리의 공급량 조절장치 및 조절방법 有权
标题翻译：浆料供应控制和浆液流动控制方法的设备
公开(公告)号：KR101082376B1
公开(公告)日：2011-11-10
申请号：KR1020040065016
申请日：2004-08-18
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사
发明人： 홍사문 , 김문우 , 정보혁 , 김재민
IPC分类号： H01L21/304
摘要： 본발명은슬러리의공급량조절장치및 조절방법에관한것으로서, 슬러리저장탱크로부터공급라인을통해 CMP 장비로공급되는슬러리의공급량을조절하는장치로서, 공급라인상에설치되며, 공급되는전압세기에따라 CMP 장비로공급되는슬러리의공급량을조절하는유량조절수단과, 유량조절수단에제어를위해전압을공급하는제어부와, 유량조절수단에서로다른크기의전압을공급함으로써전압세기마다공급라인을통해공급되는슬러리의실제공급량을측정한데이터에의해서 CMP 장비로공급하고자하는슬러리의설정공급량이슬러리의실제공급량에해당하도록제어부에의해유량조절수단으로공급되는전압세기를보상하는멀티옵셋부를포함한다. 따라서, 본발명은유량조절수단으로공급되는전압세기마다 CMP 장비로공급되는슬러리의실제공급량을여러번 실측한데이터를통하여 CMP 장비로공급되고자하는슬러리의설정공급량에해당하는유량조절수단에공급되는전압세기를보상함으로써슬러리의설정공급량과슬러리의실제공급량이일치하도록하며, 이로인해 CMP 공정에서웨이퍼의폴리싱을안정적으로정확하게실시하도록하는효과를가지고있다.

10. 发明公开

KR1020110086434A 유기 폐기물 활성 분해 장치 有权
标题翻译：有机废弃物的主要分解方法和装置
公开(公告)号：KR1020110086434A
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：KR1020100006167
申请日：2010-01-22
申请人： 씨앤지하이테크 주식회사 , 세키네 아키오 , 사이토 히데히코
发明人： 홍사문 , 세키네아키오 , 사이토히데히코 , 미즈노토시히코
IPC分类号： B09B3/00 , F23G7/07 , A61L9/22
CPC分类号： Y02A50/2328 , B09B3/00 , A61L9/22 , F23G7/07 , Y02W30/20 , Y02W30/50
摘要： PURPOSE: An active decomposition method of organic waste using activated air, and an active decomposition apparatus for the organic waste are provided to minimize the generation amount of dioxin. CONSTITUTION: An active decomposition method of organic waste using activated air comprises the following steps: ionizing oxygen in air for obtaining the activated air(ST21); and contacting the organic waste with the activated air for decomposing the organic waste(ST22). The activated air contains active oxygen activated by a Q-bit energy radiation device using an optical catalyst.
摘要翻译：目的：提供使用活性空气的有机废物的活性分解方法和有机废物的活性分解装置，以最小化二恶英的产生量。构成：使用活性空气的有机废物的主动分解方法包括以下步骤：在空气中电离氧气以获得活化空气（ST21）; 并使有机废物与活性空气接触以分解有机废物（ST22）。活性空气含有使用光学催化剂的Q位能量辐射装置激活的活性氧。

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