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热词
    • 1. 发明公开
    • 대향타겟식 스퍼터링법을 이용한 고배향성 박막 제작법
    • 使用针对目标类型的溅射工艺形成高导磁薄膜的方法
    • KR1020040004742A
    • 2004-01-14
    • KR1020020039079
    • 2002-07-05
    • 김경환금민종박원효
    • 김경환금민종박원효
    • H01L21/203
    • PURPOSE: A method for forming a high oriented thin film using an opposite target type sputtering process is provided to be capable of preventing the damage of the thin film due to the impact of grains against a substrate and solving the difficulties caused by a thin film depositing process. CONSTITUTION: A pair of targets are opposite to each other. While flowing Ar gas into a chamber, a local discharge phenomenon is generated between the targets and a shield ring by applying negative DC(Direct Current) voltage to the targets. At this time, the local discharge phenomenon promotes the ionization of the Ar gas for generating plasma between the targets. Preferably, a heater is used for controlling the temperature of a substrate.
    • 目的:提供一种使用相反靶型溅射工艺形成高取向薄膜的方法,以能够防止由于晶粒对基片的冲击而导致的薄膜的损坏,并且解决了由薄膜沉积引起的困难 处理。 构成:一对目标彼此相对。 在将Ar气流入室内时,通过对目标施加负DC(直流)电压,在目标和屏蔽环之间产生局部放电现象。 此时,局部放电现象促进用于在靶之间产生等离子体的Ar气体的电离。 优选地,加热器用于控制基板的温度。
    • 2. 发明公开
    • 대향 타겟식 스퍼터 장비의 타겟 효율 향상용 음극 모듈
    • 面向目标的目标组件改进的CATHODE模块
    • KR1020100132144A
    • 2010-12-17
    • KR1020090050808
    • 2009-06-09
    • 임유승김상모금민종김경환
    • 임유승김상모금민종김경환
    • C23C14/35
    • PURPOSE: A cathode module for enhancing the target efficiency of an opposite target type of sputter equipment is provided to raise the cathode falling energy of a particle and to enable high-speed sputtering since particles on a target can uniformly cathode-fall on the front of the target. CONSTITUTION: A sputter gun consists of a first yoke plate(4), a second yoke plate and a plurality of magnets(10). One or both sides of the first yoke plate are open. The yoke plates are arranged on the center of the magnet at regular intervals. The magnets consist of upper and lower parts. The upper and lower parts of a polygon shape have different magnetic poles. Each magnet has a trapezoid shape. The yoke plate and a yoke post are formed in a T-shape. A pair of sputter guns are arranged to face each other.
    • 目的:提供一种用于提高相对目标类型的溅射设备的目标效率的阴极模块,以提高颗粒的阴极下落能量,并且能够进行高速溅射,因为靶上的颗粒可以均匀地阴极落在 目标。 构成:溅射枪由第一轭板(4),第二轭板和多个磁体(10)组成。 第一轭板的一侧或两侧是敞开的。 轭板以规则的间隔布置在磁体的中心。 磁铁由上部和下部组成。 多边形的上部和下部具有不同的磁极。 每个磁体都有梯形。 轭板和轭架形成为T形。 一对溅射枪被布置为面对彼此。
    • 7. 发明授权
    • 대향 타겟식 스퍼터링 장치 및 그 음극 구조
    • 相对靶式溅射装置及其阴极结构
    • KR100713223B1
    • 2007-05-02
    • KR1020060007124
    • 2006-01-24
    • 이성호김경환김경득
    • 이성호김경득김경환박희철금민종이도경서승한
    • H01L21/203
    • 본 발명은 서로 마주보는 한 쌍의 타겟이 구비된 대향 타겟식 스퍼터링 장치 및 그 음극 구조에 관한 것이다. 상기 대향 타겟식 스퍼터링 장치는, 챔버와, 상기 챔버 내에서 소정거리를 두고 평행하게 대향하는 한 쌍의 타겟과, 상기 타겟 각각의 배면에 배치되어 타겟면과 수직한 방향의 자기장을 발생시키는 제 1 자계 발생 수단과, 상기 타겟 및 제 1 자계 발생 수단의 주변에 설치되는 실드 링과, 상기 제 1 자계 발생 수단에 의해 형성되는 자기장 영역 밖에서 타겟 중심으로부터 소정거리 떨어져 설치되어 기판을 지지하기 위한 기판 홀더를 포함하는 대향식 타켓 스퍼터링 장치에 있어서, 상기 타겟과 제 1 자계 발생 수단 사이에 위치하는 자성체 또는 제 2 자계 발생 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
      스퍼터링 장치, 대향 타겟, 자성체
    • 溅镀装置技术领域本发明涉及具有一对相对的靶材和其阴极结构的逆靶溅射装置。 对置靶型溅射装置,首先是放置在腔室中,一对所述目标的和目标的背面,分别平行于与用于产生正常的靶表面的磁场的方向在腔室中一预定距离的计数器 屏蔽环设置在靶的周围,并且第一磁场产生装置和基板保持件设置在离开由第一磁场产生装置形成的磁场区外侧的靶的中心的预定距离处以支撑基板, 其中,磁场产生装置还包括位于目标和第一磁场产生装置之间的磁体或第二磁场产生装置。