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1. 发明专利

TWI677049B 方位可調整的多區域靜電夾具有权
简体标题：方位可调整的多区域静电夹具
公开(公告)号：TWI677049B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW105101249
申请日：2016-01-15
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：張純磊 , ZHANG, CHUNLEI , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 烏爾斯特倫大衛 , ULLSTROM, DAVID
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20

2. 发明专利

TWI674638B 工件處理系統及其設備有权
简体标题：工件处理系统及其设备
公开(公告)号：TWI674638B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW104139247
申请日：2015-11-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 費賈斯汀 , PHI, JUSTIN , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A. , 修吉瑟吉歐富庫達 , SHOJI, SERGIO FUKUDA , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673

3. 发明专利

TW201818487A 對於使用加熱器元件陣列的基板載具的溫度量測审中-公开
简体标题：对于使用加热器组件数组的基板载具的温度量测
公开(公告)号：TW201818487A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：TW106127535
申请日：2017-08-15
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 郭智強 , GUO, ZHIQIANG
IPC分类号： H01L21/66 , H01L21/67 , H01L21/683
摘要：說明使用加熱器元件陣列對基板載具進行溫度量測。在一個範例中，一種方法包含：量測靜電吸盤中複數個加熱元件之每一者的第一結合電流負載；改變複數個加熱元件中之第一加熱元件的電力狀態；在改變第一加熱元件的電力狀態之後，量測複數個加熱元件之每一者的第二結合電流負載；判定第一結合電流負載與第二結合電流負載之間的差異；使用此差異判定第一加熱元件的溫度；以及將第一加熱元件的電力狀態回復至改變之前的電力狀態，並對於複數個加熱元件中之其他加熱元件之每一者重複改變電力、量測電流負載、判定差異、以及判定溫度，以判定複數個加熱元件中之每一者的溫度。
简体摘要：说明使用加热器组件数组对基板载具进行温度量测。在一个范例中，一种方法包含：量测静电吸盘中复数个加热组件之每一者的第一结合电流负载；改变复数个加热组件中之第一加热组件的电力状态；在改变第一加热组件的电力状态之后，量测复数个加热组件之每一者的第二结合电流负载；判定第一结合电流负载与第二结合电流负载之间的差异；使用此差异判定第一加热组件的温度；以及将第一加热组件的电力状态回复至改变之前的电力状态，并对于复数个加热组件中之其他加热组件之每一者重复改变电力、量测电流负载、判定差异、以及判定温度，以判定复数个加热组件中之每一者的温度。

4. 发明专利

TW202015171A 方位可調整的多區域靜電夾具审中-公开
简体标题：方位可调整的多区域静电夹具
公开(公告)号：TW202015171A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW108135905
申请日：2016-01-15
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：張純磊 , ZHANG, CHUNLEI , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 烏爾斯特倫大衛 , ULLSTROM, DAVID
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20
摘要：本文所述的實施提供一種用於處理基板支撐組件上的基板之方法，該方法促成靜電夾具與基板之間的熱轉移的橫向與方位角兩者上的調整。該方法包括下述步驟：使用在具有主要加熱器和空間上可調整的加熱器的一基板支撐組件上的一第一溫度分布來處理一第一基板。從處理第一基板的結果來決定偏移分布。回應於該偏移分布來控制該空間上可調整的加熱器以在形成一第二溫度分布時促進該基板支撐組件的局部熱點和冷點的橫向與方位角上的離散調整。然後使用第二溫度分布來處理第二基板。
简体摘要：本文所述的实施提供一种用于处理基板支撑组件上的基板之方法，该方法促成静电夹具与基板之间的热转移的横向与方位角两者上的调整。该方法包括下述步骤：使用在具有主要加热器和空间上可调整的加热器的一基板支撑组件上的一第一温度分布来处理一第一基板。从处理第一基板的结果来决定偏移分布。回应于该偏移分布来控制该空间上可调整的加热器以在形成一第二温度分布时促进该基板支撑组件的局部热点和冷点的横向与方位角上的离散调整。然后使用第二温度分布来处理第二基板。

5. 发明专利

TW201818473A 具有可獨立控制式加熱器元件陣列的基板載具审中-公开
简体标题：具有可独立控制式加热器组件数组的基板载具
公开(公告)号：TW201818473A
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：TW106127525
申请日：2017-08-15
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：巴巴揚史蒂芬 , BABAYAN, STEVEN , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 郭智強 , GUO, ZHIQIANG
IPC分类号： H01L21/324 , H01L21/67 , H01L21/683
摘要：說明具有可獨立控制式加熱器元件陣列的基板載具。在一個範例中，一種設備包含：用於承載基板以供處理的基板載具；在載具中的複數個電阻式加熱元件以藉由加熱載具來加熱基板；供應電力至加熱元件的電源供應器；提供控制訊號的電力控制器，控制訊號控制施加至每一加熱元件的電流量；以及在載具中的複數個電力介面，複數個電力介面之每一者耦接至加熱元件以接收來自電源供應器的電力以及來自控制器的控制訊號，並回應於控制訊號而調變施加至所各別耦接的加熱元件的電力。
简体摘要：说明具有可独立控制式加热器组件数组的基板载具。在一个范例中，一种设备包含：用于承载基板以供处理的基板载具；在载具中的复数个电阻式加热组件以借由加热载具来加热基板；供应电力至加热组件的电源供应器；提供控制信号的电力控制器，控制信号控制施加至每一加热组件的电流量；以及在载具中的复数个电力界面，复数个电力界面之每一者耦接至加热组件以接收来自电源供应器的电力以及来自控制器的控制信号，并回应于控制信号而调制施加至所各别耦接的加热组件的电力。

6. 发明专利

TW201815727A 具有在生坯片陶瓷上金屬化材料之次微米均勻性之精密網版印刷审中-公开
简体标题：具有在生坯片陶瓷上金属化材料之次微米均匀性之精密网版印刷
公开(公告)号：TW201815727A
公开(公告)日：2018-05-01
申请号：TW106126357
申请日：2017-08-04
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：黃世英 , HUANG, SHIH-YING , 巴巴揚史蒂芬 , BABAYAN, STEVEN , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 普洛提史蒂芬 , PROUTY, STEPHEN , 黃柏暟 , HUANG, ANTHONY
IPC分类号： C04B41/88 , B41M1/12 , B41M1/34 , B41M5/00 , H01L21/683 , H02N13/00 , H05B3/10
摘要：描述了精密網版印刷，其能夠使得印刷在生坯片陶瓷上的金屬化材料具有次微米均勻性。在一些例子中，藉由在陶瓷生坯片上以電跡線的圖案而網版印刷含有金屬的糊狀物而形成具有電跡線的圓盤；及處理印刷的生坯片，以形成工件載體的圓盤。在一些例子中，印刷包括當生坯片在網版印刷機的印刷機床上時，在刮墨方向上將網版印刷機的刮片施加到印刷的生坯片上。方法進一步包括沿刮墨方向在多個位置處映射印刷機床；識別印刷機床映射中的不均勻性；及修改網版印刷機的印刷機控制器，用於補償印刷機床中的映射不均勻性。
简体摘要：描述了精密网版印刷，其能够使得印刷在生坯片陶瓷上的金属化材料具有次微米均匀性。在一些例子中，借由在陶瓷生坯片上以电迹线的图案而网版印刷含有金属的煳状物而形成具有电迹线的圆盘；及处理印刷的生坯片，以形成工件载体的圆盘。在一些例子中，印刷包括当生坯片在网版印刷机的印刷机床上时，在刮墨方向上将网版印刷机的刮片施加到印刷的生坯片上。方法进一步包括沿刮墨方向在多个位置处映射印刷机床；识别印刷机床映射中的不均匀性；及修改网版印刷机的印刷机控制器，用于补偿印刷机床中的映射不均匀性。

7. 发明专利

TWI693653B 用於在射頻環境中之裝置的控制架構有权
简体标题：用于在射频环境中之设备的控制架构
公开(公告)号：TWI693653B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW104139236
申请日：2015-11-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A.
IPC分类号： H01L21/67

8. 发明专利

TW202015152A 工件處理系統及其設備审中-公开
简体标题：工件处理系统及其设备
公开(公告)号：TW202015152A
公开(公告)日：2020-04-16
申请号：TW108131771
申请日：2015-11-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 費賈斯汀 , PHI, JUSTIN , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A. , 修吉瑟吉歐富庫達 , SHOJI, SERGIO FUKUDA , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673
摘要：本案描述一種基板載具，該基板載具使用比例式熱流體輸送系統。在一個實例中，設備包括熱交換器以向基板載具之流體通道提供熱流體，且接收來自流體通道之熱流體，流體通道中之熱流體用以在基板處理期間控制載具之溫度。比例閥控制從熱交換器至流體通道之熱流體流速。溫度控制器接收來自載具之熱感測器的測得溫度，且回應於該測得溫度而控制比例閥以調整流速。
简体摘要：本案描述一种基板载具，该基板载具使用比例式热流体输送系统。在一个实例中，设备包括热交换器以向基板载具之流体信道提供热流体，且接收来自流体信道之热流体，流体信道中之热流体用以在基板处理期间控制载具之温度。比例阀控制从热交换器至流体信道之热流体流速。温度控制器接收来自载具之热传感器的测得温度，且回应于该测得温度而控制比例阀以调整流速。

9. 发明专利

TW201626491A 使用比例式熱流體輸送系統的基板載具审中-公开
简体标题：使用比例式热流体输送系统的基板载具
公开(公告)号：TW201626491A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104139247
申请日：2015-11-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 費賈斯汀 , PHI, JUSTIN , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A. , 修吉瑟吉歐富庫達 , SHOJI, SERGIO FUKUDA , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67248 , H01J37/32724 , H01L21/67017 , H01L21/67109 , H01L21/6831
摘要：本案描述一種基板載具，該基板載具使用比例式熱流體輸送系統。在一個實例中，設備包括熱交換器以向基板載具之流體通道提供熱流體，且接收來自流體通道之熱流體，流體通道中之熱流體用以在基板處理期間控制載具之溫度。比例閥控制從熱交換器至流體通道之熱流體流速。溫度控制器接收來自載具之熱感測器的測得溫度，且回應於該測得溫度而控制比例閥以調整流速。
简体摘要：本案描述一种基板载具，该基板载具使用比例式热流体输送系统。在一个实例中，设备包括热交换器以向基板载具之流体信道提供热流体，且接收来自流体信道之热流体，流体信道中之热流体用以在基板处理期间控制载具之温度。比例阀控制从热交换器至流体信道之热流体流速。温度控制器接收来自载具之热传感器的测得温度，且回应于该测得温度而控制比例阀以调整流速。

10. 发明专利

TW201810495A 用於電漿處理腔室中晶圓載體的先進溫度控制审中-公开
简体标题：用于等离子处理腔室中晶圆载体的雪铁龙温度控制
公开(公告)号：TW201810495A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：TW106109667
申请日：2017-03-23
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：席門瑞費南多M , SILVEIRA, FERNANDO M. , 張純磊 , ZHANG, CHUNLEI , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 趙在龍 , CHO, JAEYONG
IPC分类号： H01L21/673 , H01L21/677 , F28F27/02 , H01J37/32 , C23C16/50 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/67248 , C23C16/46 , C23C16/50 , C23C16/505 , C23C16/52 , C23C16/56 , H01J37/32715 , H01J37/32724 , H01J37/3299 , H01L21/67017 , H01L21/67103 , H01L21/67109
摘要：本案描述用於電漿處理腔室中晶圓載體的先進溫度控制系統和方法。在一個實例中，熱交換器提供溫度控制的熱流體給工件載體的流體通道以及接收來自流體通道的熱流體。比例閥在熱交換器和流體通道之間，以控制從熱交換器到流體通道的熱流體的流速。氣動閥亦在熱交換器和流體通道之間，亦控制來自熱交換器與流體通道的熱流體的流速。溫度控制器接收來自載體的熱感測器之量測的溫度並控制比例閥和氣動閥來回應該量測的溫度，以調整熱流體的流速。
简体摘要：本案描述用于等离子处理腔室中晶圆载体的雪铁龙温度控制系统和方法。在一个实例中，热交换器提供温度控制的热流体给工件载体的流体信道以及接收来自流体信道的热流体。比例阀在热交换器和流体信道之间，以控制从热交换器到流体信道的热流体的流速。气动阀亦在热交换器和流体信道之间，亦控制来自热交换器与流体信道的热流体的流速。温度控制器接收来自载体的热传感器之量测的温度并控制比例阀和气动阀来回应该量测的温度，以调整热流体的流速。

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