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1. 发明专利

TWI674638B 工件處理系統及其設備有权
简体标题：工件处理系统及其设备
公开(公告)号：TWI674638B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW104139247
申请日：2015-11-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 費賈斯汀 , PHI, JUSTIN , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A. , 修吉瑟吉歐富庫達 , SHOJI, SERGIO FUKUDA , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673

2. 发明专利

TWI677049B 方位可調整的多區域靜電夾具有权
简体标题：方位可调整的多区域静电夹具
公开(公告)号：TWI677049B
公开(公告)日：2019-11-11
申请号：TW105101249
申请日：2016-01-15
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：張純磊 , ZHANG, CHUNLEI , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 烏爾斯特倫大衛 , ULLSTROM, DAVID
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20

3. 发明专利

TWI693653B 用於在射頻環境中之裝置的控制架構有权
简体标题：用于在射频环境中之设备的控制架构
公开(公告)号：TWI693653B
公开(公告)日：2020-05-11
申请号：TW104139236
申请日：2015-11-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A.
IPC分类号： H01L21/67

4. 发明专利

TW201626491A 使用比例式熱流體輸送系統的基板載具审中-公开
简体标题：使用比例式热流体输送系统的基板载具
公开(公告)号：TW201626491A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104139247
申请日：2015-11-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 費賈斯汀 , PHI, JUSTIN , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A. , 修吉瑟吉歐富庫達 , SHOJI, SERGIO FUKUDA , 梅斯貝德L , MAYS, BRAD L.
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/673
CPC分类号： H01L21/67248 , H01J37/32724 , H01L21/67017 , H01L21/67109 , H01L21/6831
摘要：本案描述一種基板載具，該基板載具使用比例式熱流體輸送系統。在一個實例中，設備包括熱交換器以向基板載具之流體通道提供熱流體，且接收來自流體通道之熱流體，流體通道中之熱流體用以在基板處理期間控制載具之溫度。比例閥控制從熱交換器至流體通道之熱流體流速。溫度控制器接收來自載具之熱感測器的測得溫度，且回應於該測得溫度而控制比例閥以調整流速。
简体摘要：本案描述一种基板载具，该基板载具使用比例式热流体输送系统。在一个实例中，设备包括热交换器以向基板载具之流体信道提供热流体，且接收来自流体信道之热流体，流体信道中之热流体用以在基板处理期间控制载具之温度。比例阀控制从热交换器至流体信道之热流体流速。温度控制器接收来自载具之热传感器的测得温度，且回应于该测得温度而控制比例阀以调整流速。

5. 发明专利

TW201642384A 方位可調整的多區域靜電夾具审中-公开
简体标题：方位可调整的多区域静电夹具
公开(公告)号：TW201642384A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW105101249
申请日：2016-01-15
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：張純磊 , ZHANG, CHUNLEI , 克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 烏爾斯特倫大衛 , ULLSTROM, DAVID
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/20
CPC分类号： H01L21/6831 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67248
摘要：本文所述的實施提供一種用於處理基板支撐組件上的基板之方法，該方法促成靜電夾具與基板之間的熱轉移的橫向與方位角兩者上的調整。該方法包括下述步驟：使用ESC上的第一溫度分布來處理第一基板，ESC具有主要加熱器與空間上可調整的加熱器。從處理第一基板的結果來決定偏離目標結果分布之偏移分布。基於偏移分布，來調整第一溫度分布至ESC上的第二溫度分布。調整至第二溫度分布包括下述步驟：遞增提供給對應於偏移分布的一或更多個離散位置中的一或更多個空間上可調整的加熱器之功率。然後使用第二溫度分布來處理ESC上的第二基板。
简体摘要：本文所述的实施提供一种用于处理基板支撑组件上的基板之方法，该方法促成静电夹具与基板之间的热转移的横向与方位角两者上的调整。该方法包括下述步骤：使用ESC上的第一温度分布来处理第一基板，ESC具有主要加热器与空间上可调整的加热器。从处理第一基板的结果来决定偏离目标结果分布之偏移分布。基于偏移分布，来调整第一温度分布至ESC上的第二温度分布。调整至第二温度分布包括下述步骤：递增提供给对应于偏移分布的一或更多个离散位置中的一或更多个空间上可调整的加热器之功率。然后使用第二温度分布来处理ESC上的第二基板。

6. 发明专利

TW201626490A 用於在射頻環境中之裝置的控制架構审中-公开
简体标题：用于在射频环境中之设备的控制架构
公开(公告)号：TW201626490A
公开(公告)日：2016-07-16
申请号：TW104139236
申请日：2015-11-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克里米奈爾菲利浦 , CRIMINALE, PHILLIP , 巴巴揚史蒂芬E , BABAYAN, STEVEN E. , 馬洛爾丹恩A , MAROHL, DAN A.
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H04L25/4902 , H04L21/00
摘要：一種系統包括用以產生指令的一處理工具，該指令具有可於一傳導通訊鏈路上傳輸的一第一格式。該系統進一步包括耦接至該處理裝置的一第一轉換器，以接收該指令並將該指令轉換為可於一非傳導通訊鏈路上傳輸的一第二格式。該系統進一步包括一第二轉換器，配置以於一破壞性射頻(RF)環境中運作，以接收該指令並將該指令轉換回可於一傳導通訊鏈路上傳輸的格式，然後將該指令傳送至一脈衝寬度調變(PWM)電路。PWM電路耦接至該第二轉換器，並且是配置以在該破壞性RF環境中運作，以根據該指令調整用以控制要在該破壞性RF環境中運作的一個或多個元件之設定。
简体摘要：一种系统包括用以产生指令的一处理工具，该指令具有可于一传导通信链路上载输的一第一格式。该系统进一步包括耦接至该处理设备的一第一转换器，以接收该指令并将该指令转换为可于一非传导通信链路上载输的一第二格式。该系统进一步包括一第二转换器，配置以于一破坏性射频(RF)环境中运作，以接收该指令并将该指令转换回可于一传导通信链路上载输的格式，然后将该指令发送至一脉冲宽度调制(PWM)电路。PWM电路耦接至该第二转换器，并且是配置以在该破坏性RF环境中运作，以根据该指令调整用以控制要在该破坏性RF环境中运作的一个或多个组件之设置。

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