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2. 发明专利

JP2021062316A 排気システムおよび排気方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021062316A
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：JP2019186629
申请日：2019-10-10
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：松島圭亮 , 宮崎一知
IPC分类号： B01F5/00 , B01F3/02
摘要：【課題】バッファタンク内の圧力の上昇を防止しつつ、大量の希釈ガスを必要とせずに水素ガスを爆発下限界以下の濃度まで希釈することが可能な排気システムを提供する。【解決手段】排気システム1は、排気ライン55に配置された主バルブ57が閉じられると、入口ライン2に配置された入口バルブ11と、出口ライン7に配置された第1出口バルブ12とを開いて、装置50からの排ガスをバッファタンク5の接線方向に導入しつつ、バッファタンク5の下部から水素ガスよりも重いガスを排出する初期排気動作を実行する。次いで、排気システム1は、入口バルブ11および第1出口バルブ12を閉じて、バイパスライン10に配置されたバイパスバルブ18と、水素排出ライン15に配置された第2出口バルブ16を開いて、排ガスをバイパスライン10に流しつつ、バッファタンク5の上部に滞留した水素ガスを排出する水素排気動作を実行する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2018181971A コイル一体型ヨークおよびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018181971A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017076547
申请日：2017-04-07
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：松島圭亮 , 狩俣努
IPC分类号： H01F7/20 , H01J37/147 , H01F41/02
CPC分类号： H01F7/20 , H01F41/02 , H01J37/147
摘要：【課題】精度よく電子ビームの軌道を偏向可能な偏向器を実現するためのコイル一体型ヨークおよびその製造方法を提供する。【解決手段】ヨークの第1面から第2面に向かう溝にモールド剤、コイルおよびスペーサを順に入れる工程と、前記ヨークの第1面を前記スペーサとともに研磨する工程と、を備えるコイル一体型ヨークの製造方法が提供される。【選択図】図3

4. 发明专利

JP2017123271A 磁場レンズおよびこれを有する検査装置、ならびに、ホイルコイルの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017123271A
公开(公告)日：2017-07-13
申请号：JP2016001785
申请日：2016-01-07
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：松島圭亮 , 狩俣努
IPC分类号： H01J37/29 , H01J37/141
摘要：【課題】検査装置に好適な磁場レンズ、磁場レンズを有する検査装置、ならびに、そのような磁場レンズに用いられるホイルコイルを製造する方法を提供する。【解決手段】本発明の一態様によれば、電子ビームによって形成される像を拡大または縮小する磁場レンズ(724)であって、前記電子ビームの進路(90)と対向する位置にギャップ(92a)が設けられたヨーク(92)と、巻回された薄膜から構成され、前記ヨーク(92)の内側に設けられたホイルコイル(92)であって、前記薄膜は、金属膜と、接着剤と、前記金属膜および前記接着剤の間に設けられた絶縁膜と、を含み、内側が前記電子ビームの進路(90)となるホイルコイル(92)と、を備える磁場レンズ(724)が提供される。【選択図】図10B

6. 发明专利

JP2018181403A 検査装置及び照射装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018181403A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017073424
申请日：2017-04-03
申请人：株式会社荏原製作所
发明人：當間康 , 狩俣努 , 松島圭亮 , 小原孝志
IPC分类号： H01J37/073
摘要：【課題】光電面の量子効率の低下を抑制しつつ光電面の寿命を延ばす。【解決手段】光を受けて電子を放出する光電面を有する光電部と、当該光電面に沿った平面上で前記光電部を運動させる運動機構部と、当該運動機構部を制御する制御部と、を有し、光の光軸は当該光電面の中心から外れており、制御部は、当該光の当該光電面における照射位置移動速度が規定速度以下になるよう当該運動機構部を制御する。【選択図】図1

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