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    • 8. 发明申请
    • α-置換アクリル酸エステル誘導体及びその製造方法
    • β-取代丙烯酸衍生物及其制备方法
    • WO2008099727A1
    • 2008-08-21
    • PCT/JP2008/051913
    • 2008-02-06
    • 株式会社クラレ佐藤 純子福本 隆司松田 英樹
    • 佐藤 純子福本 隆司松田 英樹
    • C07C311/28C07C303/40G03F7/039C07B61/00
    • C07C311/28C07C2602/42C08F20/38G03F7/0397
    • 【課題】  193nm付近における高い透明性を維持しながら、溶解速度のコントロールに優れたフォトレジスト組成物用高分子化合物の材料として有用である、新規なα-置換アクリル酸エステル誘導体およびその効率的な製造方法を提供する。 【解決手段】   下記一般式(I) 【化1】 (式中、R 1 は水素原子、炭素数1~5のアルキル基または炭素数1~5のフッ素化アルキル基を表し、R 2 およびR 3 はそれぞれ独立して水素原子、アルキル基もしくはアルコキシ基を表すか、または両者が結合して任意の位置に酸素原子または硫黄原子を含んでもよいアルキレン基、-O-、若しくは-S-を表し、R 4 およびR 5 はそれぞれ独立して水素原子、任意の位置に酸素原子を含んでもよいアルキル基、任意の位置に酸素原子を含んでもよいシクロアルキル基またはアルコキシカルボニル基を表す。) で示されるα-置換アクリル酸エステル誘導体を提供する。
    • 公开了一种新颖的α-取代的丙烯酸酯衍生物,其可用作光致抗蚀剂组合物的高分子化合物的材料,其在控制溶解速度方面具有优异的性能,同时保持193nm附近的高透明度。 还公开了一种有效生产这种α-取代的丙烯酸酯衍生物的方法。 具体公开了由以下通式(I)表示的α-取代的丙烯酸酯衍生物。 (式中,R 1表示氢原子,具有1-5个碳原子的烷基或具有1-5个碳原子的氟化烷基; R 2和 R 3独立地表示氢原子,烷基或烷氧基,或者它们可以组合在一起形成任意地含有氧原子或硫原子的任意位置的亚烷基,-O - 或-S-;且R 4和R 5独立地表示氢原子,任意地含有氧原子的任选位置的烷基,任选含有 任意位置的氧原子或烷氧基羰基。)