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1. 发明申请

WO2012043102A1 アクリルアミド誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物审中-公开
标题翻译：丙烯酰胺衍生物，聚合物化合物和光电组合物
公开(公告)号：WO2012043102A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/JP2011/069213
申请日：2011-08-25
申请人：株式会社クラレ , 荒谷一弘 , 福本隆司
发明人：荒谷　一弘 , 福本　隆司
IPC分类号： C08F20/56 , C07D307/93 , C07D327/04 , C07D493/18 , C07D497/18 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/004 , C07D307/93 , C07D327/04 , C07D493/18 , C07D497/18 , C08F20/56 , G03F7/0397
摘要：　フォトレジスト組成物に含有させる高分子化合物の構成単位となり得るアクリル酸アミド誘導体、該アクリル酸アミド誘導体を含有する原料を重合することにより得られる高分子化合物、および該高分子化合物を含有する、従来よりもＬＷＲが改善されて高解像度のレジストパターンが形成されたフォトレジスト組成物を提供する。具体的には、下記一般式（１）｛式中、Ｒ 1 は、水素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基を表す。Ｗは、炭素数１～１０のアルキレン基または炭素数３～１０のシクロアルキレン基を表す。Ｒ 2 は、下記一般式（２）（式中、Ｘは、酸素原子、または＞Ｎ－Ｒ 3 を表し、Ｒ 3 は、水素原子または炭素数１～５のアルキル基を表す。Ｙは、＞Ｃ＝Ｏまたは＞Ｓ（＝Ｏ）ｎを表し、ｎは、０～２の整数を表す。）で表される環形成原子数３～２０の環状基を示す。｝で表されるアクリルアミド誘導体を提供する。
摘要翻译：提供可以作为光致抗蚀剂组合物中包含的高分子化合物的结构单元的丙烯酰胺衍生物，通过聚合含有所述丙烯酰胺衍生物的原料而获得的高分子化合物和含有所述LWR已经被加入的所述高分子化合物的光致抗蚀剂组合物改进了以前的抗蚀剂，并且已经形成了高分辨率抗蚀剂图案。具体地，提供由式（1）表示的丙烯酰胺衍生物。（1）[式中，R 1表示氢原子，甲基或三氟甲基。 W表示C1-10亚烷基或C3-10亚环烷基。 R 2表示由式（2）表示的具有3〜20个成环原子的环状基团。（2）（式中，X表示氧原子或> N-R3，R3表示氢原子或C1-5烷基，Y表示> C = O或> S（= O）n，n表示 0-2的整数）]。

2. 发明申请

WO2007094474A1 第３級アルコール誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物审中-公开
标题翻译：仲醇醇衍生物，聚合物化合物和光电组合物
公开(公告)号：WO2007094474A1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/JP2007/052892
申请日：2007-02-16
申请人：株式会社クラレ , 福本隆司 , 荒谷一弘
发明人：福本隆司 , 荒谷一弘
IPC分类号： C08F20/28 , C07D307/32 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C07D307/33 , C07C403/20 , C07C2601/14 , C07D407/04 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0397
摘要： Disclosed are (1) a polymer compound for photoresist compositions which has a high dissolution rate in a developer liquid after exposure, while being small in swelling during development; (2) a polymerizable compound which is a raw material for such a polymer compound; and (3) a photoresist composition containing such a polymer compound. Specifically disclosed is a tertiary alcohol derivative represented by the general formula (1) below. [Chemical formula 1] (1) (In the formula, R 1 and R 2 combine together and form a ring with a carbon atom to which they are bonded, and the combined R 1 and R 2 represent a linear, branched or cyclic alkylene group having 2-9 carbon atoms which may contain an oxygen atom in an arbitrary position; R 3 represents a hydrogen atom or a methyl group; W represents a linear, branched or cyclic alkylene group having 1-10 carbon atoms; and n represents 0 or 1.)
摘要翻译：公开了（1）光致抗蚀剂组合物的高分子化合物，其在曝光后在显影液中的溶解速度高，而在显影时溶胀小; （2）作为这样的高分子化合物的原料的聚合性化合物; 和（3）含有这种高分子化合物的光致抗蚀剂组合物。具体公开的是下述通式（1）表示的叔醇衍生物。 [化学式1]（1）（式中，R 1和R 2 2结合在一起形成与它们相连的碳原子的环，并且 R 1和R 2两个表示具有2-9个碳原子的直链，支链或环状的亚烷基，其可以含有任意位置的氧原子; R“ 3表示氢原子或甲基; W表示具有1-10个碳原子的直链，支链或环状亚烷基; n表示0或1.）

3. 发明申请

WO2007094473A1 第３級アルコール誘導体、高分子化合物およびフォトレジスト組成物审中-公开
标题翻译：仲醇醇衍生物，聚合物化合物和光电组合物
公开(公告)号：WO2007094473A1
公开(公告)日：2007-08-23
申请号：PCT/JP2007/052891
申请日：2007-02-16
申请人：株式会社クラレ , 中山修 , 荒谷一弘
发明人：中山修 , 荒谷一弘
IPC分类号： C08F20/28 , C07D307/32 , C07D309/10 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： C07D309/12 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/0397 , Y10S430/111
摘要： Disclosed are (1) a polymer compound for photoresist compositions which is high in storage stability and small in swelling during development; (2) a compound which is a raw material for such a polymer compound; and (3) a photoresist composition containing such a polymer compound and improved in LWR. Specifically disclosed is [1] a tertiary alcohol derivative represented by the general formula (1) below. [Chemical formula 1] (1) (In the formula, R 1 represents a linear alkyl group having 1-6 carbon atoms, a branched alkyl group having 3-6 carbon atoms or a cyclic alkyl group having 3-6 carbon atoms; R 2 represents a hydrogen atom or a methyl group; W represents a linear alkylene group having 1-10 carbon atoms, a branched alkylene group having 3-10 carbon atoms or a cyclic alkylene group having 3-10 carbon atoms; n represents 0 or 1; and p represents 1 or 2.)
摘要翻译：公开了（1）光致抗蚀剂组合物的高分子化合物，其储存稳定性高，显影时溶胀小; （2）作为这种高分子化合物的原料的化合物; 和（3）含有这种高分子化合物并且改进了LWR的光致抗蚀剂组合物。具体公开的是[1]由下述通式（1）表示的叔醇衍生物。 [化学式1]（1）（式中，R 1表示具有1-6个碳原子的直链烷基，具有3-6个碳原子的支链烷基或具有 3-6个碳原子; R 2表示氢原子或甲基; W表示具有1-10个碳原子的直链亚烷基，具有3-10个碳原子的支链亚烷基或环状具有3-10个碳原子的亚烷基; n表示0或1; p表示1或2.）

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