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1. 发明专利

TWI630161B 基板搬送室及容器連接機構有权
简体标题：基板搬送室及容器连接机构
公开(公告)号：TWI630161B
公开(公告)日：2018-07-21
申请号：TW103134495
申请日：2014-10-03
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：若林真士 , WAKABAYASHI, SHINJI , 近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE , 小林仙尚 , KOBAYASHI, SENSHO
IPC分类号： B65G65/00

2. 发明专利

TWI700160B 基板搬送方法及基板處理系統有权
简体标题：基板搬送方法及基板处理系统
公开(公告)号：TWI700160B
公开(公告)日：2020-08-01
申请号：TW106110242
申请日：2017-03-28
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： B25J15/02 , B25J18/04 , B25J9/06 , H01L21/68

3. 发明专利

TW201712780A 基板搬送室、基板處理系統以及基板搬送室內之氣體置換方法审中-公开
简体标题：基板搬送室、基板处理系统以及基板搬送室内之气体置换方法
公开(公告)号：TW201712780A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW105122984
申请日：2016-07-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67017 , H01L21/67196 , H01L21/677 , H01L21/67766 , H01L21/67775 , H01L21/67778
摘要：區間可變裝置係具備有：阻流板，係具有複數開口，且整體為矩形；矩形框體，係圍繞阻流板周圍；波紋管，係連結於框體下方；以及波紋管支撐部，係固定波紋管下端。在讓大氣側搬送裝置之搬送臂上升時，由於卡固於搬送臂之區間可變裝置的框體會上升，而讓波紋管伸長，故會使得大氣壓搬送室內部之氣體流通空間的體積縮小，而可以短時間來置換大氣壓搬送室內部之氣體流通空間的氛圍。
简体摘要：区间可变设备系具备有：阻流板，系具有复数开口，且整体为矩形；矩形框体，系围绕阻流板周围；波纹管，系链接于框体下方；以及波纹管支撑部，系固定波纹管下端。在让大气侧搬送设备之搬送臂上升时，由于卡固于搬送臂之区间可变设备的框体会上升，而让波纹管伸长，故会使得大气压搬送室内部之气体流通空间的体积缩小，而可以短时间来置换大气压搬送室内部之气体流通空间的氛围。

4. 发明专利

TW201701393A 載體搬送裝置及載體搬送方法审中-公开
简体标题：载体搬送设备及载体搬送方法
公开(公告)号：TW201701393A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105104344
申请日：2016-02-15
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：若林真士 , WAKABAYASHI, SHINJI , 近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67733 , H01L21/6773 , H01L21/67736 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要：提供一種載體搬送裝置，可和搬送載體之外部搬送裝置進行載體之收授；具有：架框，可載置該載體；第1埠，係設置於該架框，和該外部搬送裝置收授該載體；第2埠，係設置於該架框，設有蓋體開閉機構；以及移載機，係設置於該架框，用以移載該載體；於該外部搬送裝置之搬送軌道下配置該第1埠、該移載機以及該第2埠；該第1埠以及該第2埠係配置於該移載機的兩側；該第2埠係以多段方式構成。
简体摘要：提供一种载体搬送设备，可和搬送载体之外部搬送设备进行载体之收授；具有：架框，可载置该载体；第1端口，系设置于该架框，和该外部搬送设备收授该载体；第2端口，系设置于该架框，设有盖体开闭机构；以及移载机，系设置于该架框，用以移载该载体；于该外部搬送设备之搬送轨道下配置该第1端口、该移载机以及该第2端口；该第1端口以及该第2端口系配置于该移载机的两侧；该第2端口系以多段方式构成。

5. 发明专利

TW201527196A 基板搬送室及容器連接機構审中-公开
简体标题：基板搬送室及容器连接机构
公开(公告)号：TW201527196A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103134495
申请日：2014-10-03
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：若林真士 , WAKABAYASHI, SHINJI , 近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE , 小林仙尚 , KOBAYASHI, SENSHO
IPC分类号： B65G65/00
CPC分类号： H01L21/67772 , B65G2201/0297 , H01L21/67769
摘要：本發明之課題在於提供一種可抑制專有面積增大之基板搬送室。基板處理系統10中，從收容晶圓W之FOUP18搬出晶圓W之加載器模組15具有：俯視上為變形6角形之架框狀本體21、以及作為用以將FOUP18連接於本體21之容器連接機構的複數加載埠22，複數加載埠22當中之下側加載埠22a以及上側加載埠22b係於本體21之高度方向上重疊配置。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种可抑制专有面积增大之基板搬送室。基板处理系统10中，从收容晶圆W之FOUP18搬出晶圆W之加载器模块15具有：俯视上为变形6角形之架框状本体21、以及作为用以将FOUP18连接于本体21之容器连接机构的复数加载端口22，复数加载端口22当中之下侧加载端口22a以及上侧加载端口22b系于本体21之高度方向上重叠配置。

6. 发明专利

TW201740496A 基板收納容器之連結機構及連結方法审中-公开
简体标题：基板收纳容器之链接机构及链接方法
公开(公告)号：TW201740496A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW106102447
申请日：2017-01-23
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE , 辻徳彦 , TSUJI, NORIHIKO
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67389 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67393 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要：盡可能地防止將基板收納容器與循環氮等之沖洗氣體之構造的常壓搬運室連結之時，氧氣或水分，及微粒從連結部或基板收納容器侵入。具備：載置FOUP(10)之工作台(42)；被設置在常壓搬運室(8)之壁部(8a)的晶圓搬運口(40)；開關晶圓搬運口(40)之開關門(43)；使被載置於工作台(42)之FOUP(10)密接於開關門(43)，使FOUP(10)之蓋體(22)與開關門(43)結合之結合機構；在FOUP(10)藉由結合機構與開關門(43)結合之狀態下，對FOUP(10)內進行排氣、沖洗之排氣、沖洗機構(51、54)；在晶圓搬運口(10)之周緣和開關門(43)之間、開關門(43)和蓋體(22)之間等形成密閉空間之密封構件(47、71、72)；及對密閉空間進行排氣的排氣手段(62、66)。
简体摘要：尽可能地防止将基板收纳容器与循环氮等之冲洗气体之构造的常压搬运室链接之时，氧气或水分，及微粒从链接部或基板收纳容器侵入。具备：载置FOUP(10)之工作台(42)；被设置在常压搬运室(8)之壁部(8a)的晶圆搬运口(40)；开关晶圆搬运口(40)之开关门(43)；使被载置于工作台(42)之FOUP(10)密接于开关门(43)，使FOUP(10)之盖体(22)与开关门(43)结合之结合机构；在FOUP(10)借由结合机构与开关门(43)结合之状态下，对FOUP(10)内进行排气、冲洗之排气、冲洗机构(51、54)；在晶圆搬运口(10)之周缘和开关门(43)之间、开关门(43)和盖体(22)之间等形成密闭空间之密封构件(47、71、72)；及对密闭空间进行排气的排气手段(62、66)。

7. 发明专利

TW201632428A 蓋體開閉裝置及蓋體開閉方法审中-公开
简体标题：盖体开闭设备及盖体开闭方法
公开(公告)号：TW201632428A
公开(公告)日：2016-09-16
申请号：TW104130533
申请日：2015-09-16
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE , 田代慎 , TASHIRO, MAKOTO
IPC分类号： B65D43/22 , B65D85/86 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要：本發明之課題在於：高度方向上具有複數載置台之蓋體開閉裝置，可抑制載置台所載置之基板收納容器內的基板附著上異物。提供一種蓋體開閉裝置，於高度方向設置有複數載置台而可載置基板收納容器，該基板收納容器於一側面具有取出口以及阻塞該取出口之蓋體；該蓋體開閉裝置具備有以和該複數載置台所個別載置之該基板收納容器的該蓋體成為對向的方式所設之蓋體開閉機構；至少上段之載置台側之該蓋體開閉機構在和該蓋體成為對向之面具有：掛設鑰匙，於該蓋體之裝卸時進行驅動；吸引埠，係用以吸引該蓋體開閉機構與該蓋體之間的空間內之氣體；蓋體保持部，係吸附保持該蓋體；以及填料，相對於該掛設鑰匙以及該吸引埠設置於外周側。
简体摘要：本发明之课题在于：高度方向上具有复数载置台之盖体开闭设备，可抑制载置台所载置之基板收纳容器内的基板附着上异物。提供一种盖体开闭设备，于高度方向设置有复数载置台而可载置基板收纳容器，该基板收纳容器于一侧面具有取出口以及阻塞该取出口之盖体；该盖体开闭设备具备有以和该复数载置台所个别载置之该基板收纳容器的该盖体成为对向的方式所设之盖体开闭机构；至少上段之载置台侧之该盖体开闭机构在和该盖体成为对向之面具有：挂设钥匙，于该盖体之装卸时进行驱动；吸引端口，系用以吸引该盖体开闭机构与该盖体之间的空间内之气体；盖体保持部，系吸附保持该盖体；以及填料，相对于该挂设钥匙以及该吸引端口设置于外周侧。

8. 发明专利

TW201624599A 基板搬送方法及處理系統审中-公开
简体标题：基板搬送方法及处理系统
公开(公告)号：TW201624599A
公开(公告)日：2016-07-01
申请号：TW104130723
申请日：2015-09-17
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67103 , H01L21/67167 , H01L21/67703 , H01L21/67745 , H01L21/68707
摘要：提供一種基板搬送方法，係使用具有第1拾取器及第2拾取器之搬送機構，在熱處理室及與該熱處理室相異之其他室之間依序搬送基板的基板搬送方法，具有：將未處理基板保持於該第1拾取器，並搬送至該熱處理室之第1工序；將在該熱處理室熱處理之處理後基板保持於該第2拾取器，並將該第1拾取器所保持之未處理基板搬入至該熱處理室之第2工序；將該第2拾取器所保持之該處理後基板搬送至該其他室之第3工序；以及，將該其他室內之未處理基板保持於該第1拾取器，在該第2拾取器所保持之處理後基板搬送至該其他室後，讓該第1拾取器及該第2拾取器均成為未保持基板的狀態之第4工序。
简体摘要：提供一种基板搬送方法，系使用具有第1十取器及第2十取器之搬送机构，在热处理室及与该热处理室相异之其他室之间依序搬送基板的基板搬送方法，具有：将未处理基板保持于该第1十取器，并搬送至该热处理室之第1工序；将在该热处理室热处理之处理后基板保持于该第2十取器，并将该第1十取器所保持之未处理基板搬入至该热处理室之第2工序；将该第2十取器所保持之该处理后基板搬送至该其他室之第3工序；以及，将该其他室内之未处理基板保持于该第1十取器，在该第2十取器所保持之处理后基板搬送至该其他室后，让该第1十取器及该第2十取器均成为未保持基板的状态之第4工序。

9. 发明专利

TWI389235B 被處理體的搬送裝置有权
简体标题：被处理体的搬送设备
公开(公告)号：TWI389235B
公开(公告)日：2013-03-11
申请号：TW095123214
申请日：2006-06-27
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：町山彌 , MACHIYAMA, WATARU , 石澤繁 , ISHIZAWA, SHIGERU , 小泉浩 , KOIZUMI, HIROSHI , 廣木勤 , HIROKI, TSUTOMU , 近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/00 , B25J9/10
CPC分类号： H01L21/67745 , H01L21/67276 , H01L21/67742

10. 发明专利

TWI388029B 基板搬運裝置、基板搬運模組、基板搬運方法及電腦可讀取之記憶媒體有权
简体标题：基板搬运设备、基板搬运模块、基板搬运方法及电脑可读取之记忆媒体
公开(公告)号：TWI388029B
公开(公告)日：2013-03-01
申请号：TW097110153
申请日：2008-03-21
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：近藤圭祐 , KONDOH, KEISUKE
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/67766 , B25J19/00 , H01L21/67248 , H01L21/67742

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