会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 5. 发明专利
    • 陶瓷環測試裝置
    • 陶瓷环测试设备
    • TW201538995A
    • 2015-10-16
    • TW104105882
    • 2015-02-24
    • 應用材料股份有限公司APPLIED MATERIALS, INC.
    • 小林悟KOBAYASHI, SATORU朱俞飛ZHU, YUFEI賈格沙魯巴GARG, SAURABH朴書南PARK, SOONAM路柏曼斯基迪米奇LUBOMIRSKY, DMITRY
    • G01R31/12G01N33/38
    • 一種用於測試腔室元件(例如陶瓷環)之電性特性的測試裝置,該測試裝置包括外部導體及內部導體,該內部導體設置於該外部導體內且與該外部導體電性隔離。該外部導體具有基座、頂部及設置於該基座與該頂部之間的內部體積側壁。該內部導體具有頂部部分及底部部分,該頂部部分具有第一直徑且該底部部分具有第二直徑,其中該第二直徑大於該第一直徑。樣品面積定義於該外部導體之該基座與該內部導體之該底部部分之間,且該樣品面積經配置以接收腔室元件。該腔室元件的電性特性可基於施加信號至該外部導體或該內部導體之至少一者而量測。
    • 一种用于测试腔室组件(例如陶瓷环)之电性特性的测试设备,该测试设备包括外部导体及内部导体,该内部导体设置于该外部导体内且与该外部导体电性隔离。该外部导体具有基座、顶部及设置于该基座与该顶部之间的内部体积侧壁。该内部导体具有顶部部分及底部部分,该顶部部分具有第一直径且该底部部分具有第二直径,其中该第二直径大于该第一直径。样品面积定义于该外部导体之该基座与该内部导体之该底部部分之间,且该样品面积经配置以接收腔室组件。该腔室组件的电性特性可基于施加信号至该外部导体或该内部导体之至少一者而量测。