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热词
    • 1. 发明申请
    • METHOD FOR REMOVING HARD CARBON LAYERS
    • 去层用于硬质涂层
    • WO2012167886A8
    • 2014-01-23
    • PCT/EP2012002305
    • 2012-05-31
    • OERLIKON TRADING AGRAMM JUERGENWIDRIG BENO
    • RAMM JUERGENWIDRIG BENO
    • C23G5/00
    • C23G5/00
    • The invention relates to a method for removing carbon layers, in particular ta-C layers, from substrate surfaces of tools and components. The substrate to be de-coated is accordingly arranged on a substrate support in a vacuum chamber, the vacuum chamber is charged with at least one reactive gas assisting the evacuation of carbon in gaseous form and a low-voltage plasma discharge is created in the vacuum chamber to activate the reactive gas and hence assist the required chemical reaction or reactions to de-coat the coated substrate. The low-voltage plasma discharge is a dc low-volt arc discharge, the substrate surfaces to be de-coated are bombarded substantially exclusively with electrons and oxygen, nitrogen and hydrogen are used as reactive gas.
    • 一种用于汽提的碳层,特别是工具和组件基板表面的TA-C层的方法。 的被剥离基板被相应配置的基板支架上在真空室中,真空室中的至少一种加入气态形式支持反应气体中去除碳和低电压等离子放电在所述真空室的反应气体的激发,并因此支持所需的化学反应或 创建用于经涂覆的基材的剥离反应。 低压等离子体放电为直流低电压电弧放电,与电子轰击被剥离仅基底表面并基本上作为反应气体,氧,氮和氢被使用。
    • 7. 发明申请
    • PVD - VAKUUMBESCHICHTUNGSANLAGE
    • PVD - 真空涂布设备
    • WO2009070903A1
    • 2009-06-11
    • PCT/CH2008/000485
    • 2008-11-17
    • OERLIKON TRADING AG, TRÜBBACHRAMM, JuergenWOHLRAB, Christian
    • RAMM, JuergenWOHLRAB, Christian
    • C23C14/32C23C14/50
    • C23C14/325C23C14/50C23C14/505
    • Eine Vakuumbeschichtungsanlage enthält einen Reaktivgaseinlass (12), mindestens eine PVD - Beschichtungsquelle (8, 21) mit einer flächigen Kathode (11) und einen Substratträger (6) mit enthaltend mehrere Substrate (7), wobei der Substratträger (6) eine zweidimensionale horizontale Ausdehnung ausbildet und dieser zwischen mindestens zwei PVD - Beschichtungsquellen positioniert ist und dass die mehreren Substrate (7) Schneidwerkzeuge sind mit mindestens einer Schneidkante (E), im peripheren Randbereich des flächigen Substrates (7), die in einer Ebene der zweidimensionalen Ausdehnung des Substratträgers (6) verteilt abgelegt sind, wobei der Substratträger (6) in einer horizontalen Ebene (3) in der Vakuumprozesskammer (1) beabstandet, zwischen den flächigen Kathoden (11) der mindestens zwei PVD - Beschichtungsquellen (8, 21) positioniert angeordnet ist derart, dass mindestens ein Teil jeder der mindestens einen Schneidkante (E) eine aktive Schneidkante (E') enthält und diese gegenüber mindestens einer der Kathoden (11) der PVD - Beschichtungsquellen (8, 21) jederzeit in Sichtverbindung exponiert ausgerichtet ist.
    • 一种真空涂覆设备,其包括反应性气体入口(12),至少一个PVD - 涂布源(8,21),其具有片状阴极(11)和(6)含有多个基板(7)的基板支撑件,其中,所述衬底支撑件(6)的二维水平延伸 形式和至少两个之间PVD - 涂料源被定位,并且具有至少一个切削刃(e)中,所述多个基板(7)切割工具的在薄片基板(7)(的周缘区域中的基片载体6的二维扩展的平面 )被存储分布,其中,所述衬底支撑件(6)在水平面(3)(以在一定距离的真空处理室1)(的所述至少两个PVD平面阴极11)之间 - 涂料源(8,21)被布置成定位成使得 至少每个所述至少一个切削刃(e)和一个工作的切削刃(E“)的针对此的一部分 在PVD的阴极(11)中的至少一个 - 涂料源(8,21)在任何时候都在视线对准露出。
    • 8. 发明申请
    • PERMEATION BARRIER LAYER
    • 渗透障碍层
    • WO2009092816A2
    • 2009-07-30
    • PCT/EP2009050820
    • 2009-01-26
    • OERLIKON TRADING AGRAMM JUERGEN
    • RAMM JUERGEN
    • C23C14/02C23C14/08C23C28/00F16C1/16H01M8/04
    • B65D25/14B65D25/34C23C14/025C23C14/08F16C33/043F16C33/14F16C2223/60G21B1/11H01M8/04089H01M8/2475Y02P70/56Y10T428/13Y10T428/2933Y10T428/31678
    • The method for manufacturing a hydrogen permeation barrier comprises the steps of a) depositing on a substrate (SUB) a layer system (LS) comprising at least one layer (L1,L2,L3); characterized in that step a) comprises the step of b) depositing at least one hydrogen barrier layer (HPBL) comprising an at least ternary oxide. The apparatus comprises a sealable volume and a wall forming at least a portion of a boundary limiting said volume, wherein said wall comprises a hydrogen permeation barrier comprising a layer system (LS) comprising at least one layer, wherein said layer system comprises at least one hydrogen barrier layer (HPBL) comprising an at least ternary oxide. Preferably, said at least ternary oxide is substantially composed of Al, Cr and 0, and said depositing said at least one hydrogen barrier layer (HPBL) is carried out using a physical vapor deposition method, in particular a cathodic arc evaporation method. Preferably, step a) comprises depositing on said substrate at least one of : an adhesion layer (AdhL), a hydrogen storage layer (HStL), a protective layer (ProtL), in particular a thermal barrier layer (ThBL), a diffusion barrier layer (DBL), an oxidation barrier layer (OxBL), a chemical barrier layer (ChBL), a wear resistance layer (WRL). Excellent hydrogen permeation barrier properties can be achieved, and the layer system can be tailored as required by an envisaged application.
    • 用于制造氢渗透阻挡层的方法包括以下步骤:a)在衬底(SUB)上沉积包括至少一层(L1,L2,L3)的层系统(LS); 其特征在于步骤a)包括以下步骤:b)沉积包含至少三元氧化物的至少一个氢阻挡层(HPBL)。 该装置包括可密封体积和形成限制所述体积的边界的至少一部分的壁,其中所述壁包括氢渗透屏障,其包括包含至少一层的层系统(LS),其中所述层系统包括至少一个 包含至少三元氧化物的氢阻挡层(HPBL)。 优选地,所述至少三元氧化物基本上由Al,Cr和O组成,并且所述沉积所述至少一个氢阻挡层(HPBL)是使用物理气相沉积法,特别是阴极电弧蒸发法进行的。 优选地,步骤a)包括在所述衬底上沉积以下至少一种:粘合层(AdhL),储氢层(HStL),保护层(ProtL),特别是热阻挡层(ThBL),扩散阻挡层 层(DBL),氧化阻挡层(OxBL),化学阻挡层(ChBL),耐磨层(WRL)。 可以实现优异的氢渗透阻隔性能,并且层系统可以根据设想的应用的要求进行定制。