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    • 6. 发明申请
    • SENSOR UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES SENSORS
    • 传感器和方法用于制造传感器
    • WO2006002988A1
    • 2006-01-12
    • PCT/EP2005/007262
    • 2005-07-05
    • INFINEON TECHNOLOGIES AGZIMMER, JürgenSCHMITT, StephanRÜHRIG, Manfred
    • ZIMMER, JürgenSCHMITT, StephanRÜHRIG, Manfred
    • G01L9/16
    • G01L9/16G01L1/12
    • Ein Sensor umfasst ein Substrat (100), in dem ein mechanisch verformbarer Bereich (102) gebildet ist. Ein erstes magnetostriktives Mehrschicht-Sensorelement (104a) und ein zweites magnetostriktives Mehrschicht-Sensorelement (104b) sind in dem mechanisch verformbaren Bereich gebildet, wobei das erste magnetostriktive Mehrschicht-Sensorelement (104a) und das zweite magnetostriktive Mehrschicht-Sensorelement (104b) miteinander verschaltet sind und derart ausgebildet sind, dass bei einem Erzeugen einer mechanischen Verformung des mechanisch verformbaren Bereichs (102) sich der elektrische Widerstand des ersten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104a) gegenläufig zu dem elektrischen Widerstand des zweiten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104b) ändert oder der elektrische Widerstand des ersten magnetostriktiven Mehrschicht-Sensorelements (104a) unverändert bleibt.
    • 一种传感器包括基板(100),在其上形成有机械变形区域(102)。 第一磁致伸缩多层传感器元件(104A)和第二磁致伸缩多层传感器元件(104B)形成在所述机械变形区域,其中,所述第一磁致伸缩多层传感器元件(104A)和第二磁致伸缩多层传感器元件(104B)连接到彼此 和被构造成使得产生的机械变形区域(102),所述第一磁致伸缩多层传感器元件的电阻的机械变形时(104A)相对于该第二磁致伸缩多层传感器元件(104B)的电阻被改变或电 第一磁致伸缩多层传感器元件(104A)的电阻保持不变。