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1. 发明申请

WO2005017634A2 VERFAHREN UND SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR PRÄZISEN, DYNAMISCHEN DIGITALEN ANSTEUERUNG VON INSBESONDERE PIEZOAKTOREN FÜR MIKROPOSITIONIERSYSTEME 审中-公开
标题翻译：用于显微系统的压电陶瓷的精确，动态数字控制的方法和电路装置
公开(公告)号：WO2005017634A2
公开(公告)日：2005-02-24
申请号：PCT/EP2004/008695
申请日：2004-08-03
申请人： PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG , GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
发明人： GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
IPC分类号： G05B19/35
CPC分类号： G05B19/351 , G05B2219/41344 , H01L41/042 , H02N2/0075
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Schaltungsanordnung zur präzisen, dynamischen digitalen Ansteuerung von insbesondere Piezoaktoren für Mikropositioniersysteme mit einem Regler, wobei zur Minimierung von Positions-Folge-Abweichungen das zukünftige Systemverhalten abgeschätzt und aktuelle Korrektursignale im Sinne einer Feedforward-Korrektur gewonnen werden. Erfindungsgemäß gelangt zur Reduzierung von Latenzzeiten im Feedforward-Zweig des Abtastsystems das Signal der Führungsgröße über einen schaltbaren Bypass auf einen Digital-Analog-Wandler höchster Auflösung, wobei dieser Wandler mit der Abtastrate des Abtastsystems betrieben wird. Weiterhin führt die Feedforward-Strecke auf einen schnellen Digital-Analog-Wandler, welcher abtastsystemunabhängig angesteuert wird. Die die Steuerspannungen repräsentierenden Ausgangssignale der Wandler werden addiert zur anzusteuernden Einrichtung, insbesondere einem Piezoaktor weitergeleitet, welcher mit einem Positionssensor die Regelstrecke bildet.
摘要翻译：
本发明涉及一种方法和用于PR BEAR精密的电路装置，动态数字控制用于导航使用ř微定位与调节器尤其是压电致动器，以最小化位置顺序偏差ZUK导航用途nftige系统行为abgesch＆AUML 可以获得在前馈校正意义上的tzt和电流校正信号。发明＆AUML;大街传递到的延迟时间的F导航用途hrungs＆害羞的采样的信号的前馈回路的减少; GR＆ouml;道路导航用途＆|接着编ouml ;;经由切换旁路到数字 - 模拟转换器H＆OUML方案中，所述转换器在的采样率扫描系统运行。此外，前馈路径导致一个快速的数模转换器，该转换器由扫描系统独立控制。代表控制电压的换能器的输出信号被添加到待控制的装置中，特别是被转发到压电致动器，该压电致动器形成具有位置传感器的受控系统

2. 发明申请

WO2005017634A3 METHOD AND CIRCUIT ARRANGEMENT FOR THE PRECISE, DYNAMIC DIGITAL CONTROL OF ESPECIALLY PIEZOELECTRIC ACTUATORS FOR MICROPOSITIONING SYSTEMS 审中-公开
标题翻译：方法与电路精密，动态数字化控制的微定位特定压电驱动器
公开(公告)号：WO2005017634A3
公开(公告)日：2005-06-23
申请号：PCT/EP2004008695
申请日：2004-08-03
申请人： PHYSIK INSTR PI GMBH & CO KG , GEYER BERNHARD , BESCH BERTHOLD , JORDAN SCOTT
发明人： GEYER BERNHARD , BESCH BERTHOLD , JORDAN SCOTT
IPC分类号： G05B19/35 , H01L41/04
CPC分类号： G05B19/351 , G05B2219/41344 , H01L41/042 , H02N2/0075
摘要： The invention relates to a method and to a circuit arrangement for the precise, dynamic digital control of especially piezoelectric actuators for micropositioning systems, comprising a regulator, whereby, in order to minimize position order deviations, the future system behavior is estimated and current correction signals for the purpose of feedforward correction are obtained. The aim of the invention is to reduce latency times in the feedforward loop of the scanner system. For this purpose, the signal of the command variable is passed over a switched bypass to a high-resolution digital-to-analog converter, said converter being operated at the scan rate of the scanner system. The feedforward loop leads to a fast digital-to-analog converter which is controlled in a scanner system-independent manner. The output signals of the converters representing the control voltages are added to the device to be controlled, especially they are forwarded to a piezoelectric actuator which together with the position sensor forms the controlled system.
摘要翻译：本发明涉及的方法和特别是压电致动器用于与调节器，其中，以最小化位置顺序的偏差和在一个前馈修正的术语获得电流修正信号来估计未来的系统行为微定位的精确动态数字控制的电路布置。根据本发明，传送到的延迟时间在参考变量的采样的信号的前馈回路经由切换旁路还原成一个数字 - 模拟转换器的最高分辨率，在该转换器设置在扫描系统的采样率运行。此外，前馈回路导致被驱动abtastsystemunabhängig快速数字 - 模拟转换器。表示所述转换器的输出信号的控制电压被添加到要被控制的设备，特别是压电致动器转发，其与位置传感器，所述受控系统形成。

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