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1. 发明申请

WO2005017634A2 VERFAHREN UND SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR PRÄZISEN, DYNAMISCHEN DIGITALEN ANSTEUERUNG VON INSBESONDERE PIEZOAKTOREN FÜR MIKROPOSITIONIERSYSTEME 审中-公开
标题翻译：用于显微系统的压电陶瓷的精确，动态数字控制的方法和电路装置
公开(公告)号：WO2005017634A2
公开(公告)日：2005-02-24
申请号：PCT/EP2004/008695
申请日：2004-08-03
申请人： PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO. KG , GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
发明人： GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
IPC分类号： G05B19/35
CPC分类号： G05B19/351 , G05B2219/41344 , H01L41/042 , H02N2/0075
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren sowie eine Schaltungsanordnung zur präzisen, dynamischen digitalen Ansteuerung von insbesondere Piezoaktoren für Mikropositioniersysteme mit einem Regler, wobei zur Minimierung von Positions-Folge-Abweichungen das zukünftige Systemverhalten abgeschätzt und aktuelle Korrektursignale im Sinne einer Feedforward-Korrektur gewonnen werden. Erfindungsgemäß gelangt zur Reduzierung von Latenzzeiten im Feedforward-Zweig des Abtastsystems das Signal der Führungsgröße über einen schaltbaren Bypass auf einen Digital-Analog-Wandler höchster Auflösung, wobei dieser Wandler mit der Abtastrate des Abtastsystems betrieben wird. Weiterhin führt die Feedforward-Strecke auf einen schnellen Digital-Analog-Wandler, welcher abtastsystemunabhängig angesteuert wird. Die die Steuerspannungen repräsentierenden Ausgangssignale der Wandler werden addiert zur anzusteuernden Einrichtung, insbesondere einem Piezoaktor weitergeleitet, welcher mit einem Positionssensor die Regelstrecke bildet.
摘要翻译：
本发明涉及一种方法和用于PR BEAR精密的电路装置，动态数字控制用于导航使用ř微定位与调节器尤其是压电致动器，以最小化位置顺序偏差ZUK导航用途nftige系统行为abgesch＆AUML 可以获得在前馈校正意义上的tzt和电流校正信号。发明＆AUML;大街传递到的延迟时间的F导航用途hrungs＆害羞的采样的信号的前馈回路的减少; GR＆ouml;道路导航用途＆|接着编ouml ;;经由切换旁路到数字 - 模拟转换器H＆OUML方案中，所述转换器在的采样率扫描系统运行。此外，前馈路径导致一个快速的数模转换器，该转换器由扫描系统独立控制。代表控制电压的换能器的输出信号被添加到待控制的装置中，特别是被转发到压电致动器，该压电致动器形成具有位置传感器的受控系统

2. 发明公开

EP1654602A2 VERFAHREN UND SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR PRÄ ZISEN, DYNAMISCHEN DIGITALEN ANSTEUERUNG VON INSBESONDERE PIEZOAKTOREN FÜR MIKRPOSITIONIERSYSTEME 有权
标题翻译：方法与电路PRE-精度，动态数字化方法控制MIKRPOSITIONIERSYSTEME特别是压电致动器
公开(公告)号：EP1654602A2
公开(公告)日：2006-05-10
申请号：EP04763753.3
申请日：2004-08-03
申请人： Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
发明人： GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
IPC分类号： G05B19/35
CPC分类号： G05B19/351 , G05B2219/41344 , H01L41/042 , H02N2/0075
摘要： The invention relates to a method and to a circuit arrangement for the precise, dynamic digital control of especially piezoelectric actuators for micropositioning systems, comprising a regulator, whereby, in order to minimize position order deviations, the future system behavior is estimated and current correction signals for the purpose of feedforward correction are obtained. The aim of the invention is to reduce latency times in the feedforward loop of the scanner system. For this purpose, the signal of the command variable is passed over a switched bypass to a high-resolution digital-to-analog converter, said converter being operated at the scan rate of the scanner system. The feedforward loop leads to a fast digital-to-analog converter which is controlled in a scanner system-independent manner. The output signals of the converters representing the control voltages are added to the device to be controlled, especially they are forwarded to a piezoelectric actuator which together with the position sensor forms the controlled system.

3. 发明授权

EP1654602B1 VERFAHREN UND SCHALTUNGSANORDNUNG ZUR PRÄ ZISEN, DYNAMISCHEN DIGITALEN ANSTEUERUNG VON INSBESONDERE PIEZOAKTOREN FÜR MIKRPOSITIONIERSYSTEME 有权
标题翻译：方法与电路PRE-精度，动态数字化方法控制MIKRPOSITIONIERSYSTEME特别是压电致动器
公开(公告)号：EP1654602B1
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：EP04763753.3
申请日：2004-08-03
申请人： Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG
发明人： GEYER, Bernhard , BESCH, Berthold , JORDAN, Scott
IPC分类号： G05B19/35
CPC分类号： G05B19/351 , G05B2219/41344 , H01L41/042 , H02N2/0075
摘要： The invention relates to a method and to a circuit arrangement for the precise, dynamic digital control of especially piezoelectric actuators for micropositioning systems, comprising a regulator, whereby, in order to minimize position order deviations, the future system behavior is estimated and current correction signals for the purpose of feedforward correction are obtained. The aim of the invention is to reduce latency times in the feedforward loop of the scanner system. For this purpose, the signal of the command variable is passed over a switched bypass to a high-resolution digital-to-analog converter, said converter being operated at the scan rate of the scanner system. The feedforward loop leads to a fast digital-to-analog converter which is controlled in a scanner system-independent manner. The output signals of the converters representing the control voltages are added to the device to be controlled, especially they are forwarded to a piezoelectric actuator which together with the position sensor forms the controlled system.

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