专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2020111774A 使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020111774A
公开(公告)日：2020-07-27
申请号：JP2019002445
申请日：2019-01-10
申请人：株式会社ティー・オール
发明人：小泉茂 , 富谷弘
IPC分类号： B22F8/00 , B22F5/10 , C23C14/34
摘要：【課題】ドライコーティング技術に使用された表面に大きな凹部の消耗部分が形成された使用済み成膜用ターゲットを、粉砕や溶解することなくそのまま利用し、使用前と同様の性能の再生品の成膜用ターゲット製品を製造できる、経済性に優れた技術の開発。【解決手段】浸食により表面に消耗部分が形成されている使用済み成膜用ターゲット製品を使用し、消耗部分に、使用済み成膜用ターゲット製品と同一成分よりなる、新品のターゲット粉末、リサイクル粉末、又は新品のターゲット粉末とリサイクル粉末との混合粉末のいずれかの粉末を充填して、肉盛成形してリサイクル用ターゲットベースを得るターゲット粉末の充填工程と、前記リサイクル用ターゲットベースを加圧下において熱処理して焼結し、前記粉末と前記使用済みの成膜用ターゲット製品とを一体化する焼結工程と、を有する使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法。【選択図】図2

2. 发明专利

JP5754603B2 成膜用ターゲットの再生方法有权
标题翻译：对于沉积再生目标的方法
公开(公告)号：JP5754603B2
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：JP2013040608
申请日：2013-03-01
申请人：国立研究開発法人産業技術総合研究所 , 株式会社ティー・オール , ペルメレック電極株式会社
发明人：清水透 , 小泉茂 , 平尾和宏 , 竹内篤実
IPC分类号： B22F8/00 , C22C1/04 , B22F9/04 , B22F9/16 , C22B7/00 , C23C14/24 , C22B34/20 , C22B34/10 , C23C14/34
CPC分类号： Y02P10/24 , Y02W30/541

3. 发明专利

JP2014169467A Method of regenerating target for forming film 有权
标题翻译：再生形成薄膜目标的方法
公开(公告)号：JP2014169467A
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：JP2013040608
申请日：2013-03-01
申请人： National Institute Of Advanced Industrial & Technology , 独立行政法人産業技術総合研究所 , T-Owl Co Ltd , 株式会社ティー・オール , Permelec Electrode Ltd , ペルメレック電極株式会社
发明人： SHIMIZU TORU , KOIZUMI SHIGERU , HIRAO KAZUHIRO , TAKEUCHI ATSUMI
IPC分类号： C23C14/34 , B22F8/00 , B22F9/04 , B22F9/16 , C22B7/00 , C22B34/10 , C22B34/20 , C22C1/04 , C23C14/24
CPC分类号： Y02P10/24 , Y02W30/541
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a regeneration method for a target for forming a film for regeneration, in which expensive rare metal left in a product at the end of using the target for forming film is effectively recovered with a low cost by utilizing an adjustment technology and a sintering technology for metal powders by hydrogenation reaction and dehydrogenation reaction of a used target.SOLUTION: A regeneration method for a target for forming film includes steps of: hydrogenation treatment where a used target for forming film is hydrogenated by heat treatment in a hydrogen atmosphere to form a hydrogenated product; a crush treatment where the hydrogenated product formed at the hydrogenation treatment is crush-treated to form hydrogenerated crushed powders; a dehydrogenation treatment where the hydrogenated crushed powders are dehydrogenated with heat-treatment under a reduced pressure or vacuum to form dehydrogenated crushed powders; and a sintering process where the dehydrogenated crushed powders are sintering-treated by heat treatment to from sintered powders.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种再生方法，其用于形成用于再生的膜的再生方法，其中在使用成膜靶材结束时残留在产品中的昂贵的稀有金属通过利用调整被有效地回收成本低技术和用于金属粉末的烧结技术通过使用的靶的氢化反应和脱氢反应。解决方案：用于形成膜的靶的再生方法包括以下步骤：氢化处理，其中用于形成膜的所用靶通过热处理氢化氢气气氛形成氢化产物; 压缩处理，其中在氢化处理中形成的氢化产物被压碎处理以形成水压发生的粉碎粉末; 脱氢处理，其中氢化粉碎粉末在减压或真空下热处理脱氢以形成脱氢粉碎粉末; 以及通过热处理从烧结粉末对脱氢粉碎粉末进行烧结处理的烧结工序。

4. 发明专利

JP6650141B1 使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法有权
公开(公告)号：JP6650141B1
公开(公告)日：2020-02-19
申请号：JP2019002445
申请日：2019-01-10
申请人：株式会社ティー・オール
发明人：小泉茂 , 富谷弘
IPC分类号： B22F8/00 , B22F5/10 , C23C14/34
摘要：【課題】ドライコーティング技術に使用された表面に大きな凹部の消耗部分が形成された使用済み成膜用ターゲットを、粉砕や溶解することなくそのまま利用し、使用前と同様の性能の再生品の成膜用ターゲット製品を製造できる、経済性に優れた技術の開発。【解決手段】浸食により表面に消耗部分が形成されている使用済み成膜用ターゲット製品を使用し、消耗部分に、使用済み成膜用ターゲット製品と同一成分よりなる、新品のターゲット粉末、リサイクル粉末、又は新品のターゲット粉末とリサイクル粉末との混合粉末のいずれかの粉末を充填して、肉盛成形してリサイクル用ターゲットベースを得るターゲット粉末の充填工程と、前記リサイクル用ターゲットベースを加圧下において熱処理して焼結し、前記粉末と前記使用済みの成膜用ターゲット製品とを一体化する焼結工程と、を有する使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法。【選択図】図2

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式