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1. 发明专利

JP2020111774A 使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020111774A
公开(公告)日：2020-07-27
申请号：JP2019002445
申请日：2019-01-10
申请人：株式会社ティー・オール
发明人：小泉茂 , 富谷弘
IPC分类号： B22F8/00 , B22F5/10 , C23C14/34
摘要：【課題】ドライコーティング技術に使用された表面に大きな凹部の消耗部分が形成された使用済み成膜用ターゲットを、粉砕や溶解することなくそのまま利用し、使用前と同様の性能の再生品の成膜用ターゲット製品を製造できる、経済性に優れた技術の開発。【解決手段】浸食により表面に消耗部分が形成されている使用済み成膜用ターゲット製品を使用し、消耗部分に、使用済み成膜用ターゲット製品と同一成分よりなる、新品のターゲット粉末、リサイクル粉末、又は新品のターゲット粉末とリサイクル粉末との混合粉末のいずれかの粉末を充填して、肉盛成形してリサイクル用ターゲットベースを得るターゲット粉末の充填工程と、前記リサイクル用ターゲットベースを加圧下において熱処理して焼結し、前記粉末と前記使用済みの成膜用ターゲット製品とを一体化する焼結工程と、を有する使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法。【選択図】図2

2. 发明专利

JP5754603B2 成膜用ターゲットの再生方法有权
标题翻译：对于沉积再生目标的方法
公开(公告)号：JP5754603B2
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：JP2013040608
申请日：2013-03-01
申请人：国立研究開発法人産業技術総合研究所 , 株式会社ティー・オール , ペルメレック電極株式会社
发明人：清水透 , 小泉茂 , 平尾和宏 , 竹内篤実
IPC分类号： B22F8/00 , C22C1/04 , B22F9/04 , B22F9/16 , C22B7/00 , C23C14/24 , C22B34/20 , C22B34/10 , C23C14/34
CPC分类号： Y02P10/24 , Y02W30/541

3. 发明专利

JP6650141B1 使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法有权
公开(公告)号：JP6650141B1
公开(公告)日：2020-02-19
申请号：JP2019002445
申请日：2019-01-10
申请人：株式会社ティー・オール
发明人：小泉茂 , 富谷弘
IPC分类号： B22F8/00 , B22F5/10 , C23C14/34
摘要：【課題】ドライコーティング技術に使用された表面に大きな凹部の消耗部分が形成された使用済み成膜用ターゲットを、粉砕や溶解することなくそのまま利用し、使用前と同様の性能の再生品の成膜用ターゲット製品を製造できる、経済性に優れた技術の開発。【解決手段】浸食により表面に消耗部分が形成されている使用済み成膜用ターゲット製品を使用し、消耗部分に、使用済み成膜用ターゲット製品と同一成分よりなる、新品のターゲット粉末、リサイクル粉末、又は新品のターゲット粉末とリサイクル粉末との混合粉末のいずれかの粉末を充填して、肉盛成形してリサイクル用ターゲットベースを得るターゲット粉末の充填工程と、前記リサイクル用ターゲットベースを加圧下において熱処理して焼結し、前記粉末と前記使用済みの成膜用ターゲット製品とを一体化する焼結工程と、を有する使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法。【選択図】図2

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