会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 4. 发明申请
    • 基板処理システム及び基板処理装置
    • 基板处理系统和基板处理装置
    • WO2010076863A1
    • 2010-07-08
    • PCT/JP2009/069475
    • 2009-11-17
    • キヤノンアネルバ株式会社小林 浩仁
    • 小林 浩仁
    • H01L21/677H01L21/027
    • G05B19/4189G05B2219/32006G05B2219/45031H01L21/67276Y02P90/28
    • 本発明は、基板に対する処理内容の変更に応じて、容易に基板処理モジュールを拡張、変更が可能な基板処理システムを提供する。本発明の一実施形態は、メイン装置(100)、サブ装置(200、300)を有する基板処理システムである。搬送制御部(130)は、少なくともローカルアドレス、及び、当該ローカルアドレスの属する基板処理装置を特定可能な付加情報を含み、基板の搬送先をメイン装置(100)、サブ装置(200、300)内で一意に指定する搬送先指定情報を取得する搬送手順取得部(131)と、搬送手順取得部(131)により取得した搬送先指定情報に基づいて、基板の搬送先がメイン装置(100)、サブ装置(200)、またはサブ装置(300)のいずれかを判定可能な搬送先判定部(132)と、自装置内で一意に割り当てられたローカルアドレスを用いて、自装置の搬送チャンバに接続されるプロセスチャンバに基板を搬送させるローカル搬送部(133)とを有する。
    • 一种基板处理系统,其可以根据基板处理的改进来容易地延伸和修饰基板处理模块。 基板处理系统包括主装置(100)和辅助装置(200,300)。 传送控制部分(130)包括传送过程捕获部分(131),目的地判断部分(132)和本地传送部分(133)。 传送过程捕获部分(131)捕获至少包含本地地址的目的地指定信息和可以指定本地地址所属的衬底处理装置的附加信息,并且可以在主要地址中唯一地指定衬底的目的地 设备(100)和辅助设备(200,300)。 目的地判断部分132基于从传送过程捕获部分捕获的目的地指定信息来判断基板的目的地是主设备(100),辅助设备(200)还是辅助设备(300) 131)。 本地传送部分(133)使用唯一分配给每个设备的本地地址将衬底传送到连接到每个设备的传送室的处理室。
    • 10. 发明申请
    • 防着カバー付きキャリアおよび防着カバー着脱装置
    • 携带联系人防护罩,并联系预防盖子连接/拆卸设备
    • WO2009153856A1
    • 2009-12-23
    • PCT/JP2008/061021
    • 2008-06-17
    • キヤノンアネルバ株式会社曽根 浩宝満 信也野沢 直之長谷川 善郎
    • 曽根 浩宝満 信也野沢 直之長谷川 善郎
    • G11B7/26
    • C23C14/50C23C14/564C23C14/568
    • キャリアを起因として発生する付着膜の剥離を抑制し、キャリアの交換周期を長くする。基板2を支える基板ホルダ3を搬送するための機構を有するスライダー7から構成されるキャリア1で、基板ホルダ3を覆うことが可能な成膜される基板2と同等かそれ以上の開口を持つ防着カバー20a、20bが、基板ホルダ3の両面に設置される。この際、基板ホルダ3、支持爪4、固定部6は、防着カバー20により隠れる配置となる。成膜室において、防着カバー20により覆われたキャリア1は、基板2に所定の成膜を行うため、成膜室にてプラズマ空間に曝され成膜が行われるが、防着カバー20により覆われた基板ホルダ3、支持爪4、固定部6には、膜の堆積を抑えることができる。このため、爪のたわみによる膜剥がれや、固定部6などの鋭角部からの膜剥がれを抑制し、キャリア1の交換周期を長くすることができる。
    • 提供了通过抑制接触膜自身分离而延长其替换周期的载体。 载体(1)由具有用于输送支撑基板(2)的基板支架(3)的机构的滑块(7)构成。 可以覆盖基板保持件(3)并具有类似于或大于要被成膜的基板(2)的开口的防止接触盖(20a和20b)安装在基板支架(3)的两个表面上, 。 然后,衬底保持器(3),支撑爪(4)和固定部分(6)被布置成被防接触盖(20)隐藏。 在成膜室中,覆盖有防接触盖(20)的载体(1)在成膜室中暴露于等离子体空间,使得其可以在基板(2)上具有预定的膜,但是基板保持器 如图3所示,在膜沉积中可以抑制由防接触盖20覆盖的支撑爪4和固定部6。 结果,可以抑制由于棘爪的翘曲和固定部分(6)的锐角部分引起的膜分离,从而延长载体(1)的交换周期。