专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009153856A1 防着カバー付きキャリアおよび防着カバー着脱装置审中-公开
标题翻译：携带联系人防护罩，并联系预防盖子连接/拆卸设备
公开(公告)号：WO2009153856A1
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：PCT/JP2008/061021
申请日：2008-06-17
申请人：キヤノンアネルバ株式会社 , 曽根浩 , 宝満信也 , 野沢直之 , 長谷川善郎
发明人：曽根浩 , 宝満信也 , 野沢直之 , 長谷川善郎
IPC分类号： G11B7/26
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/564 , C23C14/568
摘要：キャリアを起因として発生する付着膜の剥離を抑制し、キャリアの交換周期を長くする。基板２を支える基板ホルダ３を搬送するための機構を有するスライダー７から構成されるキャリア１で、基板ホルダ３を覆うことが可能な成膜される基板２と同等かそれ以上の開口を持つ防着カバー２０ａ、２０ｂが、基板ホルダ３の両面に設置される。この際、基板ホルダ３、支持爪４、固定部６は、防着カバー２０により隠れる配置となる。成膜室において、防着カバー２０により覆われたキャリア１は、基板２に所定の成膜を行うため、成膜室にてプラズマ空間に曝され成膜が行われるが、防着カバー２０により覆われた基板ホルダ３、支持爪４、固定部６には、膜の堆積を抑えることができる。このため、爪のたわみによる膜剥がれや、固定部６などの鋭角部からの膜剥がれを抑制し、キャリア１の交換周期を長くすることができる。
摘要翻译：提供了通过抑制接触膜自身分离而延长其替换周期的载体。载体（1）由具有用于输送支撑基板（2）的基板支架（3）的机构的滑块（7）构成。可以覆盖基板保持件（3）并具有类似于或大于要被成膜的基板（2）的开口的防止接触盖（20a和20b）安装在基板支架（3）的两个表面上，。然后，衬底保持器（3），支撑爪（4）和固定部分（6）被布置成被防接触盖（20）隐藏。在成膜室中，覆盖有防接触盖（20）的载体（1）在成膜室中暴露于等离子体空间，使得其可以在基板（2）上具有预定的膜，但是基板保持器如图3所示，在膜沉积中可以抑制由防接触盖20覆盖的支撑爪4和固定部6。结果，可以抑制由于棘爪的翘曲和固定部分（6）的锐角部分引起的膜分离，从而延长载体（1）的交换周期。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式