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    • 65. 发明专利
    • 電漿處理裝置及電漿處理方法(二)
    • 等离子处理设备及等离子处理方法(二)
    • TW201230888A
    • 2012-07-16
    • TW100124856
    • 2011-07-14
    • 國立大學法人東北大學東京威力科創股份有限公司
    • 平山昌樹大見忠弘
    • H05HH01J
    • C23C16/509C23C16/4412C23C16/45565H01J37/32082H01J37/32229H01J37/32541
    • 本發明之課題係提供一種電漿處理裝置,可對傳輸於導波管(形成在電極處)之高頻進行控制。該電漿處理裝置係具備有:真空容器,其內部具有載置基板之載置台以及於該載置台上方產生電漿之電漿空間;複數電極對,係分離於第1電極部與第2電極部這2個電極部,於真空容器內部隔著間隔而配置排列;以及複數同軸管,係以橫越2個電極部的方式設置,對真空容器內部供給用以激發電漿之高頻;複數同軸管之內部導體係連接於2個電極部當中之一者,外部導體係連接於另一者,從複數同軸管所供給之高頻在傳輸於形成在2個電極部間之導波管之後,再從設置於導波管之介電體板的電漿露出面釋放至真空容器而激發電漿。
    • 本发明之课题系提供一种等离子处理设备,可对传输于导波管(形成在电极处)之高频进行控制。该等离子处理设备系具备有:真空容器,其内部具有载置基板之载置台以及于该载置台上方产生等离子之等离子空间;复数电极对,系分离于第1电极部与第2电极部这2个电极部,于真空容器内部隔着间隔而配置排列;以及复数同轴管,系以横越2个电极部的方式设置,对真空容器内部供给用以激发等离子之高频;复数同轴管之内部导体系连接于2个电极部当中之一者,外部导体系连接于另一者,从复数同轴管所供给之高频在传输于形成在2个电极部间之导波管之后,再从设置于导波管之介电体板的等离子露出面释放至真空容器而激发等离子。