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    • 54. 发明公开
    • PLASMA PROCESSING DEVICE
    • 等离子体处理装置
    • EP2506689A1
    • 2012-10-03
    • EP10833018.4
    • 2010-10-26
    • NGK Insulators, Ltd.
    • SHIONOYA WataruSHIMIZU NaohiroIMANISHI YuichiroHOTTA Sozaburo
    • H05H1/24B01J19/08
    • B01J19/088B01J2219/0811B01J2219/0813B01J2219/0815B01J2219/083B01J2219/0835B01J2219/0841B01J2219/0875B01J2219/0894H05H1/2406H05H2001/2412H05H2240/10
    • There is provided a plasma treating apparatus in which an efficiency of a treatment through plasma is enhanced and a durability of an electrode is improved. A first electrode, a second electrode and a third electrode are provided in a middle of a passage. The second electrode is provided on an upstream side of the first electrode, and the third electrode is provided on a downstream side of the first electrode. A connecting line connects the first electrode to a first pole of a pulsed power supply, and connects the second electrode and the third electrode to a second pole of the pulsed power supply. The first electrode crosses a first gas passing surface and occupies a part of the first gas passing surface. The second electrode and the third electrode cross a second gas passing surface and a third gas passing surface and occupy a part of the second gas passing surface and the third gas passing surface respectively.
    • 提供了一种等离子体处理装置,其中通过等离子体的处理效率得到提高并且电极的耐久性得到改善。 第一电极,第二电极和第三电极设置在通道的中间。 第二电极设置在第一电极的上游侧,并且第三电极设置在第一电极的下游侧。 连接线将第一电极连接到脉冲电源的第一极,并将第二电极和第三电极连接到脉冲电源的第二极。 第一电极穿过第一气体通过表面并占据第一气体通过表面的一部分。 第二电极和第三电极分别与第二气体通过表面和第三气体通过表面相交,并分别占据第二气体通过表面和第三气体通过表面的一部分。
    • 55. 发明公开
    • PLASMA TREATMENT APPARATUS AND METHOD
    • 等离子体处理装置和方法
    • EP1623064A1
    • 2006-02-08
    • EP04730408.4
    • 2004-04-30
    • Commonweatlh Scientific and Industrial Reseach OrganisationAustralian Wool Innovation Limited
    • FINN, NiallKVIZ, LadislavSCHUTZ, JurgFARMER, Anthony
    • D06M10/02H05H1/00B01J19/08
    • B01J19/088B01J2219/0813B01J2219/0815B01J2219/0818B01J2219/083B01J2219/0833B01J2219/0879B01J2219/0898D06M10/025D06M2101/12H05H1/2406H05H2001/2431
    • A plasma treated gas permeable material is produced by applying an alternating voltage between spaced electrodes, at least one of which is covered with a dielectric barrier and at least one of which comprises a plurality of discrete electrode segments, to generate plasma microdischarges between the spaced electrodes. A gas permeable material is passed between or adjacent to the spaced electrodes. A gas is moved between the electrode segments into and through the space between the electrodes and through the gas permeable material. The gas flows over plasma generation surfaces of the respective electrode segments and is moved at a rate whereby the gas flow between the spaced electrodes is turbulent and so randomises the plasma microdischarges and disperses plasma products that would otherwise give rise to burning instabilities in the gas permeable material, whereby the randomized plasma microdischarges provide a generally uniform plasma treatment of the gas permeable material. Also disclosed is an apparatus for laying out the process.
    • 通过在间隔开的电极之间施加交流电压来产生等离子体处理过的气体可渗透材料,其中至少一个电极被电介质屏障覆盖并且其中至少一个电极包括多个离散电极段以在间隔开的电极之间产生等离子体微放电 。 气体可渗透材料在间隔的电极之间或与之相邻。 气体在电极段之间进入并穿过电极之间的空间并通过气体可渗透材料。 气体在相应的电极段的等离子体产生表面上流动,并且以这样的速率移动,由此间隔开的电极之间的气体流动是紊流的并且因此随机化等离子体微放电并且分散等离子体产物,否则会导致气体可渗透性中的燃烧不稳定性 材料,由此随机等离子体微放电提供气体可渗透材料的大致均匀的等离子体处理。 还公开了用于布置该过程的设备。
    • 58. 发明专利
    • 気流発生装置
    • 空气流产生装置
    • JPWO2015008559A1
    • 2017-03-02
    • JP2015527221
    • 2014-06-12
    • 株式会社村田製作所
    • 知重 古樋
    • H05H1/24C01B13/11
    • C01B13/11A61L9/205A61L9/22A61L2209/14B01J19/088B01J2219/00162B01J2219/0809B01J2219/0815B01J2219/0828B01J2219/0875C01B2201/24C01B2201/62
    • 絶縁性基体(21)上に、複数の線状電極(22)、第1外部電極(23F)、第2外部電極(23A)および第3外部電極(23B)が形成され、表面が誘電体膜(24)で覆われている。第1外部電極(23F)は複数の線状電極(22)のうちの1本の線状電極EFに接続されている。第2外部電極(23A)は、複数の線状電極(22)のうち、線状電極EFから遠ざかる順で奇数番目の線状電極に接続されている。第3外部電極(23B)は、複数の線状電極(22)のうち、線状電極EFから遠ざかる順で偶数番目の線状電極に接続されている。周期パルス電源(1)は、第1外部電極(23F)に所定周期当たり1回の壁電荷形成用パルス電圧VFを印加するとともに、第2外部電極(23A)および第3外部電極(23B)に、所定周期当たり複数回の割合で2相のパルス電圧V1,V2をそれぞれ印加する。
    • 上的绝缘基板(21),多个线状电极(22),所述第一外部电极(23F),所述第二外部电极(23A)和第三外部电极(23B)形成,所述电介质膜的表面 它覆盖有(24)。 第一外部电极(23F)连接到多个线状电极(22)中的一个线性电极EF。 第二外部电极(23A),所述多个线状电极(22)之间连接到奇数编号的线状电极,以便从直线电极EF程。 第三外部电极(23B),所述多个线状电极(22)之间连接到所述偶数编号的线状电极,以便从直线电极EF程。 周期脉冲功率(1),其适于应用单个壁电荷每一个预定时间段到第一外部电极(23F)形成脉冲电压VF,到第二外部电极(23A)和第三外部电极(23B) ,分别施加2相脉冲电压V1,V2,以每一个预定周期数次速率。
    • 59. 发明专利
    • 電極及び電極構造体
    • 电极和电极结构
    • JP2015182904A
    • 2015-10-22
    • JP2014058387
    • 2014-03-20
    • 日本碍子株式会社
    • 近藤 好正横井 昭二寺澤 達矢高瀬 尚哉
    • H01T19/00C01B13/11
    • B01J19/088C01B13/11C01B13/115H05H1/2406B01J2219/0809B01J2219/0815B01J2219/083C01B2201/14C01B2201/22C01B2201/62H05H2001/2418
    • 【課題】エネルギー損失や耐久性に影響を及ぼす不要な放電の発生を抑制することができ、全体のサイズの小型化を図ることができ、組み立て体の構造を簡単化することができる電極及び電極構造体を提供する。 【解決手段】第1中空部12Aを有する第1絶縁体14Aと、第1中空部12A内に配された第1導体16Aとを有する第1電極18Aと、第2中空部12Bを有する第2絶縁体14Bと、第2中空部12B内に配された第2導体16Bとを有する第2電極18Bと、第1電極18Aと第2電極18Bとをそれぞれ軸方向を揃えて、且つ、互いに離間して固定する第1固定部材20A及び第2固定部材20Bとを有し、少なくとも第1電極18Aは、少なくとも第1導体16Aの一方の端面26Aaが、第1絶縁体14Aの一方の端面28Aaよりも第1中空部12A内に位置している。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种电极和电极结构,其能够抑制产生不必要的放电,影响能量损失或耐久性,减小整体尺寸,并且简化组件的结构。解决方案:电极结构具有:第一 电极18A具有具有第一中空部分12A的第一绝缘体14A和布置在第一中空部分12A中的第一导体16A; 具有第二绝缘体14B的第二电极18B,第二绝缘体14B具有第二中空部分12B和布置在第二中空部分12B中的第二导体16B; 以及第一固定构件20A和第二固定构件20B,其将第一电极18A和第二电极18B在轴向对准并彼此分开的同时固定,其中至少第一电极18A,第一电极18A和第二电极18B的一个端面26Aa 至少第一导体16A位于比第一绝缘体14A的一个端面28Aa更靠内侧的第一中空部12A的内部。