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    • 38. 发明申请
    • DIAMOND-LIKE CARBON (DLC) HARDMASK AND METHODS OF FABRICATION USING SAME
    • 类金刚石(DLC)HARDMASK及其制造方法
    • US20090184091A1
    • 2009-07-23
    • US12018084
    • 2008-01-22
    • Yi Zheng
    • Yi Zheng
    • B44C1/22
    • G11B5/3116G11B5/3163
    • A method according to one embodiment comprises forming a thin film layer; forming a hardmask layer above the thin film layer, the hardmask layer comprising laminated layers of diamond-like carbon; removing a portion of the hardmask layer; and removing a portion of the thin film layer that is unprotected by the hardmask layer. A method according to another embodiment comprises forming a thin film layer; forming a patterned hardmask layer above the thin film layer, the hardmask layer comprising laminated layers of diamond-like carbon; and implanting a material into a portion of the thin film layer that is unprotected by the patterned hardmask layer. Additional methods are disclosed.
    • 根据一个实施方案的方法包括形成薄膜层; 在所述薄膜层上形成硬掩模层,所述硬掩模层包括类金刚石碳的叠层; 去除硬掩模层的一部分; 以及去除未被硬掩模层保护的薄膜层的一部分。 根据另一实施例的方法包括形成薄膜层; 在薄膜层上形成图案化的硬掩模层,硬掩模层包括类金刚石碳的层压层; 以及将材料注入到未被图案化的硬掩模层保护的薄膜层的一部分中。 公开了另外的方法。