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    • 17. 发明申请
    • PROCEDE DE CARACTERISATION OU DE CONTROLE DE L'ELABORATION D'UN COMPOSANT EN COUCHES MINCES PAR METHODES OPTIQUES
    • 使用光学方法表征或控制薄层组件的生产方法
    • WO2002061401A1
    • 2002-08-08
    • PCT/FR2002/000380
    • 2002-01-31
    • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE (C.N.R.S.)JOBIN YVON S.A.HOFRICHTER, AlfredDREVILLON, BernardKOUZNETSOV, Dmitri
    • HOFRICHTER, AlfredDREVILLON, BernardKOUZNETSOV, Dmitri
    • G01N21/21
    • G01B11/0616G01N21/211
    • La présente invention concerne un procédé de caractérisation ou de contrôle de l'élaboration d'un composant en couches minces par méthodes optiques. On traite les signaux S1 et S2 ainsi acquis pour obtenir les paramètres x, e des couches déposées. L'empilement est représenté par le produit de deux matrices d'Abeles pour chaque direction de polarisation s (perpendiculaire au plan d'incidence) et p (parallèle au plan d'incidence) : une matrice Mos,p connue représentant le support, une matrice dMs,p représentant une couche mince transparente en cours de dépôt.L''inversion des variations des signaux mesurés dS1, dS2 permet d'obtenir l'épaisseur x et la constante diélectrique e de la couche mince par les opérations suivantes : développement de Taylor en fonction de la variation dx de l'épaisseur x de la couche mince des coefficients de la matrice dM, calcul des coefficients de la matrice Ms,p chacun sous la forme A(e±2) dx² + B(e±1) dx + C, en déduire la relation S1,2 = A1,2(e±2) dx² + B1,2(e±1) dx + C1,2 reliant les signaux S1 et S2 aux paramètres e et dx, éliminer dx, en déduire une fonction maître P(e±4) = 0, résoudre l'équation par une méthode appropriée, sélectionner les solutions de cette équation correspondant ô des valeurs physiquement plausibles, pour mesurer
    • 本发明涉及使用光学方法来表征或控制薄层成分的制造的方法。 处理获取信号S1和S2以获得沉积层的参数x,ε。 堆叠由每个偏振方向s(垂直于入射平面)和p(平行于入射平面)的两个Abeles矩阵的乘积表示:已知矩阵Mos,p表示支持和矩阵dMs,p表示 薄的透明层被沉积。 测量的信号变化dS1和dS2被反转以通过以下操作获得薄层的厚度x和介电常数ε:作为矩阵系数的薄层的厚度x的变化dx的函数的泰勒展开 DM; 矩阵Ms,p的系数各自以形式A(ε= +/- 2))dx2 + B(ε1+/- 1)dx + C计算,并且关系式S1,2 = A1, 因此,推导出将信号S1和S2连接到参数ε和dx的2(ε<+/- 2>)dx2 + B1,2(epsilon <+/- 1>)dx + C1,2; dx被消除,从而推断出主函数P(ε<+/- 4>)= 0; 使用合适的方法来求解该方程,并且选择与所述方程式的解相对应的物理上似乎为了测量ε而使用获得的ε值来确定dx的值。