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热词
    • 11. 发明授权
    • 조직박리용 어셈블리
    • KR101841456B1
    • 2018-03-23
    • KR1020170085227
    • 2017-07-05
    • 김광선김창영김해영전종경
    • 김창영김해영김광선전종경
    • A61B17/32A61B17/16A61B17/00
    • A61B17/320016A61B17/1628A61B2017/00367A61B2217/002
    • 본발명은조직박리기와벤딩장치로이루어지되, 상기조직박리기는인체내부로삽입되는외관, 전단부가상기외관의전단으로부터돌출되게상기외관의내부로삽입된내관; 상기내관의전단에위치한절삭헤드; 상기절삭헤드의후단에연결된케이블; 상기케이블의후단에연결된구동샤프트; 및상기구동샤프트에회전력을부여하는구동모터를포함하여이루어지고,상기벤딩장치는상기외관이끼워지는끼움부; 상기끼움부의후단에회동가능하게결합된회동레버; 상기내관의전단에밀착되도록상기끼움부의단부에고정된제1롤러; 상기내관을사이에두고, 상기제1롤러와마주하도록상기회동레버에고정되어상기회동레버가회동할때 상기제1롤러를중심으로회동하면서상기내관의벤딩력을부여하는제2롤러; 상기끼움부의일측으로상기회동레버가회동시 상기회동레버단부의회동경로상에구비되는각도조절홈; 회동하는상기회동레버의단부와간섭되도록상기각도조절홈에설치됨으로써상기회동레버의회동각도를제한하는각도조절용핀을포함하며,상기제1롤러와상기제2롤러의외주면에는상기내관과의밀착력을극대화시키기위한반원형의홈부가구비되는조직박리용어셈블리를제공한다.
    • 13. 发明授权
    • 노광 장치 및 이를 이용하여 마스크와 기판 사이의 간극을설정하는 방법
    • 掩膜与底物之间建立Gab的曝光装置及方法
    • KR100793260B1
    • 2008-01-10
    • KR1020060033220
    • 2006-04-12
    • 주식회사 코디엠김광선김종원이우영조현찬
    • 임천희강흥석김채수김광선이우영조현찬김종원
    • H01L21/027
    • 본 발명에 따른 노광 장치는 마스크를 지지하는 마스크 홀더부, 기판을 지지하는 기판 스테이지부, 상기 기판 스테이지부를 지지하는 척 실린더부, 상기 척 실린더부를 X 축, Y 축, 그리고 θ 축으로 이동시키는 척 실린더 구동부를 포함한다. 척 실린더부는 상단 외측 측면에 스퍼 기어, 하단 외측 측면에 나사산, 그리고 하단 내측 측면에 오목부가 구비되고, 오목부 중심에 관통홀이 형성되어 있는 간극 조절 상부 하우징, 상단 내측 측면에 상기 간극 조절 상부 하우징의 나사산에 대응하는 나사산, 그리고 상부 내측에 오목부가 구비되고, 오목부 중심에 관통홀이 형성되어 있는 간극 조절 하부 하우징, 상기 간극 조절 상부 하우징의 관통홀과 간극 조절 하부 하우징의 관통홀을 통과하여 상하 운동하며, 상기 간극 조절 상부 하우징의 오목부의 하단과 상기 간극 조절 하부 하우징의 오목부의 상단 사이에 구비되는 공간부에 위치하는 돌출부를 가지는 간극 조절 샤프트, 및 공기를 공급 받아 상승하며, 상승시 상기 간극 조절 샤프트도 동시에 상승시키는 실린더 로드를 포함한다. 간극 조절 상부 하우징은 스퍼 기어를 이용하여 나사산을 따라 회전하면서 상부로 이동하여, 마스크와 기판 사이의 간극을 설정한다.
      노광 장치, 마스크, 간극
    • 14. 发明公开
    • 반도체 장비용 약액 공급 장치, 이를 위한 모니터링 제어장치 및 모니터링이 가능한 반도체 장비용 약액 공급 장치
    • 供应半导体设备的化学品监督化学品供应和供应化学品监测能力的规定
    • KR1020070120410A
    • 2007-12-24
    • KR1020060095445
    • 2006-09-29
    • 조현찬조중근김광선김두용
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • H01L21/304
    • A chemical supply apparatus for semiconductor equipment is provided to shorten an interval of process time and reduce the quantity of an unnecessarily wasted cleaning solution by including a chemical supply apparatus used in a cleaning process such that the chemical supply apparatus is an in-line system. A chemical valve(131) adjusts the quantity of supplied chemicals, connected to a chemical supply pipe. A DIW(deionized water) valve(132) adjusts the quantity of supplied DIW, connected to a DIW supply pipe. A chemical flowmeter(141) measures the quantity of supplied DIW flowing through the DIW supply pipe. A DIW flowmeter(142) measures the quantity of supplied DIW flowing through the DIW supply pipe. A mixture solution of the chemical and DIW flows through a mixture supply pipe connected to the end of the chemical supply pipe and the end of the DIW supply pipe. A heater block heats part of the mixture supply pipe. A DIW heater heats the end of the DIW supply pipe.
    • 提供了一种用于半导体设备的化学品供应装置,通过包括在化学品供给装置是在线系统的清洁处理中使用的化学品供应装置来缩短处理时间的间隔并减少不必要浪费的清洁溶液的量。 化学阀(131)调节连接到化学品供应管的供应化学品的数量。 DIW(去离子水)阀(132)调节与DIW供油管连接的DIW供应量。 化学流量计(141)测量流经DIW供应管道的DIW供应量。 DIW流量计(142)测量流经DIW供应管道的DIW供应量。 化学品和DIW的混合溶液流过连接到化学品供应管的端部和DIW供应管的端部的混合物供应管。 加热器块加热混合物供应管的一部分。 DIW加热器加热DIW供应管的末端。
    • 15. 发明授权
    • 유량제어 콘트롤러 시스템
    • 流量控制控制器系统
    • KR100565548B1
    • 2006-03-30
    • KR1020050095704
    • 2005-10-11
    • 김광선최영학윤지한
    • 김광선윤지한최영학
    • G05D7/06
    • 본 발명은 코르츠통의 외벽(또는 내벽)에 골드막을 형성하고 이를 여러조각으로 쪼개어 커패시터전극을 형성하여 하나의 크로스 커패시티브 센서를 만들고 이 센서에 프리앰프와 솔레노이드 밸브를 결합하여 디지탈회로의 제어에 의해 MFC(Mass Flow Controller)역할을 하도록 한 유량제어 콘트롤러 시스템에 관한 것이다.
      본 발명은 코르츠통(10)의 외벽에 골드막(11)을 형성하고, 이 골드막(11)을 횡방향으로 4개(또는 8개)로 쪼개어 커패시티브 전극을 형성하여 하나의 크로스 커패시티브 센서(12)를 구성한 것으로, 크로스 커패시티브 센서(12)의 코르츠통(10)내부를 흐르는 유량(또는 기체)의 커패시턴스를 측정하여 안정적인 유속신호를 얻을 수 있으며, 정확도가 ±0.5%까지 나옴을 알 수 있었다.
      유량제어, 센서, 골드 필름 전극, 금속, 온도변화, 가스, 파이프라인
    • 本发明紧身胸衣,以形成所述外壁(或壁),在cheutong的金膜和该形成电容器电极分割成多块由前置放大器和电磁阀结合到传感器以建立数字电路的横电容传感器控制 到质量流量控制器(MFC)。
    • 17. 发明公开
    • 집적회로의 언더필 인캡슐레이션 장치 및 방법
    • 集成电路不充分封装的装置和方法
    • KR1020030013115A
    • 2003-02-14
    • KR1020010047446
    • 2001-08-07
    • 서화일한세진김광선
    • 서화일김광선한세진
    • H01L21/56
    • PURPOSE: An apparatus and method for underfill encapsulation of integrated circuits are provided to shorten a time for encapsulation process by removing the remaining encapsulant from an encapsulant injection hole and an encapsulant exhaust hole after hardening the encapsulant. CONSTITUTION: A frame(100) includes a base(110), an upper plate(120), a plurality of guide bars(130) for connecting the base(110) with the upper plate(120), and a transport plate(140). A mold(200) is formed with an upper mold(210) loaded on a bottom face of the upper plate(120) and a lower mold(220) mounted on the transport plate(140). A cavity(212) and a channel are formed at a lower portion of the upper mold(210). A groove(222) is formed at the upper mold(220). The groove(222) corresponds to the cavity(212) and the channel. An elevator(300) is used for moving the transport plate(140) along the guide bars(130). An encapsulant injector(400) has a plunger(410) and a sub motor(420) in order to inject an encapsulant into the cavity(212). A pressure controller(500) has a plunger(510) and a sub motor(520) in order to control a pressure of the cavity(212) or remove the remaining encapsulant from an exhaust hole(216).
    • 目的:提供一种用于集成电路的底部填充封装的装置和方法,以缩短封装工艺的时间,通过在封装剂硬化之后从密封剂注入孔和密封剂排出孔中除去剩余的密封剂。 框架(100)包括底座(110),上板(120),用于将基座(110)与上板(120)连接的多个导杆(130)和传送板(140) )。 模具(200)形成有装载在上板(120)的底面上的上模(210)和安装在输送板(140)上的下模220。 在上模具(210)的下部形成空腔(212)和通道。 在上模(220)处形成有凹槽(222)。 凹槽(222)对应于空腔(212)和通道。 电梯(300)用于沿着导杆(130)移动传送板(140)。 密封剂注入器(400)具有柱塞(410)和子马达(420),以便将密封剂注入到空腔(212)中。 压力控制器(500)具有柱塞(510)和副马达(520),以便控制空腔(212)的压力或从排气孔(216)移除剩余的密封剂。
    • 20. 发明授权
    • 단열 창호 프레임
    • KR102238714B1
    • 2021-04-09
    • KR1020200069075
    • 2020-06-08
    • 김광선
    • 김광선
    • E06B3/267E06B3/263
    • 본발명은단열창호프레임에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른단열창호프레임은, 서로일면이마주보도록길이방향이평행하게제공되는제1 프레임몸체및 제2 프레임몸체; 및상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체를서로이격되도록연결하고, 상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체보다낮은열전달율을가지는단열부재를포함하되, 상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체의상기일면에는상기단열부재의상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체를향하는양 끝단이각각삽입되는체결홈이길이방향을따라내측으로만입되어형성되고, 상기단열부재는상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체와별도로제조된후 상기제1 프레임몸체및 상기제2 프레임몸체에체결된다.