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    • 1. 发明授权
    • 반도체 장비용 약액 공급 장치, 이를 위한 모니터링 제어장치 및 모니터링이 가능한 반도체 장비용 약액 공급 장치
    • 为半导体设备供应化学品,监测化学品供应和供应化学品的监测能力
    • KR100847590B1
    • 2008-07-21
    • KR1020060095445
    • 2006-09-29
    • 조현찬조중근김광선김두용
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • H01L21/304
    • 반도체 장비용 약액 공급 장치, 이를 위한 모니터링 제어 장치 및 모니터링이 가능한 반도체 장비용 약액 공급 장치가 개시된다.
      본 발명은 약액 공급용 파이프에 연결되어 약액의 공급량을 조절하는 약액 밸브, 초순수 공급용 파이프에 연결되어 초순수의 공급량을 조절하는 초순수 밸브, 상기 약액 공급용 파이프를 흐르는 약액의 공급량을 측정하는 약액 유량계, 상기 초순수 공급용 파이프를 흐르는 초순수의 공급량을 측정하는 초순수 유량계, 상기 약액 공급용 파이프의 말단부와 상기 초순수 공급용 파이프의 말단부와 연결되어 상기 약액 및 초순수의 혼합액이 흐르는 혼합액 공급용 파이프 및 상기 혼합액 공급용 파이프의 일 부분을 가열하는 히터 블록을 포함한다.
      본 발명에 의하면, 세정공정에 사용되는 약액 공급 장치를 인라인 시스템화함으로써, 공정시간을 현저히 감소 시킬 수 있고, 불필요 하게 낭비되는 세정액을 감소시키며, 다수의 약액 공급 장치를 효과적으로 모니터링 할 수 있고, 무선기술의 접목을 통해 클린룸 부피를 감소시킬 수 있으며, 세정공정의 운영을 종래의 탱커방식에 비해 효율적이게 할 수 있고, 불필요한 약액의 낭비를 줄여 반도체 제조 원가를 절약 할 수 있으며, 궁극적으로 환경 오염을 줄일 수 있다.
    • 2. 发明授权
    • 데이터베이스 시스템 구축 방법
    • 一种构建数据库系统的方法
    • KR100721611B1
    • 2007-05-25
    • KR1020050073083
    • 2005-08-10
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • G06F17/40
    • 본 발명은 데이터베이스 구축방법에 관한 것이다. 다수의 공정으로 이루어진 시스템에서 시스템의 특정 공정이 변할 경우에도 해당 공정의 중요한 속성(ATTRIBUTE)들인 속성 A1, A2, …, An을 효과적으로 데이터베이스화 하여, 일관성 있고 논리적인 데이터베이스를 구축하는 방법에 있어서, 데이터베이스를 구축하고자 하는 시스템의 보편적인 주요 특징들을 다수의 엔티티(entity) ENTITY_1, ENTITY_2, …, ENTITY_M로 설정하는 단계; 상기 설정 뒤 ENTITY_1에 대해 다수의 하위 개념의 엔티티들을 ENTITY_1의 속성들에 해당하는 ENTITY_11, ENTITY_12, …, ENTITY_1L로 설정하는 단계; 및 상기 ENTITY_1의 하위 엔티티의 설정 뒤 ENTITY_1에 대해서와 같은 방식으로 ENTITY_2부터 ENTITY_M까지 차례로 각각의 하위 개념의 특성들을 다수개의 속성들로 설정하여 각각 별도의 데이터베이스에 저장하는 단계를 포함하여 이루어지는 것이 본 발명에 따른 데이터베이스 시스템 구축방법의 특징이다.
      본 발명을 반도체 약액 공급 장치와 관련된 공정간의 상호 관계를 이용한 최적화된 데이터베이스를 구축하는 경우를 포함하여 여러가지 분야에 적용할 수 있다. 그리고 다수의 공정으로 이루어진 시스템에서 어떤 공정의 변화가 일어나도 종래에 비해 데이터베이스 관리가 용이하고, 각 공정마다 분산되어 있는 데이터베이스를 쉽게 통합할 수 있다. 그리고 중복된 데이터에 의한 메모리 낭비를 최소화할 수 있으며, 데이터의 일관성을 유지하기가 용이하고, 효과적인 데이터 처리가 가능 하여 데이터 처리 속도를 향상시킬 수 있다. 아울러 본 발명에 의하면 효율적 데이터베이스 구성을 통해 전체 시스템 성능 향상에 기여할 수 있으며, 또한, 본 발명에 의해 구축된 데이터베이스는 약액 공급 제어 장치의 실시간 모니터링 시스템을 구축하는데 필요한 데이터베이스로 활용될 수 있다. 또한 본 발명에 의해 구축된 데이터베이스 시스템은 공정 상호간에 유기적인 관계(relation)를 효율적으로 갖고 있는 것이 특징이다.
      반도체, 데이터베이스, 약액, 웨이퍼, 엔티티, 세정, 제조공정.
    • 3. 实用新型
    • 조립식 피브이씨 창호
    • 预制PVC窗户
    • KR200358364Y1
    • 2004-08-06
    • KR2020040011717
    • 2004-04-27
    • 조중근윤정용
    • 조중근윤정용
    • E06B3/68
    • E06B3/685
    • 본 고안은 실내 분위기를 조성하는 데 큰 역할을 하는 도어(창과 문)의 마감재에 관한 것으로,
      더욱 상세하게는 일정한 형태의 무늬를 갖는 무늬 부재와 중간 무늬를 PVC를 이용하여 일체형으로 사출하는 방법에 의하여 성형하고 이들을 연결하는 연결방법을 통하여 시스템 창호에 적용할 수 있도록 하는 조립식 피브이씨(PVC) 창호에 관한 것이다.
      이러한 본 고안은 일측면으로 돌축(520, 710, 810)이 형성되며 PVC로 일체형이 되게 사출성형되어 문틀(400)의 상측과 하측에 형성되는 무늬 부재(500, 700, 800)와,
      상기 유리(110)의 중앙에 형성되며 상, 하측과 일측으로 돌축(610, 760, 860)이 형성되고 PVC로 일체형이 되게 사출성형되는 중간무늬(600, 750, 850)와,
      상기 돌축(520, 610)에 사각관(540)을 연결하고 그 사각관(540)을 양측에 돌축(570)이 형성된 연결부재(560)로 연결하여 전통 창살이 성형되도록 함을 특징으로 하는 것이다.
    • 4. 实用新型
    • 좌변기용 위생커버 부착장치
    • 将盖子安装在马桶上的装置
    • KR200440371Y1
    • 2008-06-12
    • KR2020060028118
    • 2006-10-19
    • 조중근
    • 조중근
    • A47K13/16A47K13/24A47K13/12
    • A47K13/16A47K13/12A47K13/24
    • 본 고안은 좌변기의 커버시트에 낱장씩 깔아 사용자의 신체에 시트가 직접 접촉되지 않는 채로 용변을 보도록 형성된 좌변기용 위생커버를 좌변기 커버시트에 부착시키는 장치에 있어서, 상기 좌변기의 커버시트 테두리형태를 취하고 있는 테두리날개; 상기 테두리 날개의 일측에 형성되어, 상기 테두리날개의 회전을 가능하게 하는 힌지가 형성되어 있는 회전부;로 구성되되, 상기 테두리날개는 좌변기 커버시트에 좌변기용 위생커버를 펼친 상태에서 위생커버를 좌변기의 커버시트의 가장자리의 테두리의 표면에 밀착하여 고정하는 것을 특징으로 하는 좌변기용 위생커버 부착장치에 관한 것이다.
      본 고안의 실시로 좌변기 시트에 부착된 좌변기용 위생커버의 위치를 유지시켜주는 장치가 마련될 뿐만 아니라 그 부착동작이 용이하게 이루어질 수 있으므로서, 사용자는 보다 위생적이고 안정된 상태에서 용변을 볼 수 있는 좌변기용 위생커버 부착장치를 제공한다.

      좌변기, 위생커버, 테두리날개, 커버시트
    • 5. 发明授权
    • 카트 손잡이의 위생시트 장치
    • 装备手提包的手段
    • KR100805320B1
    • 2008-02-20
    • KR1020060096918
    • 2006-10-02
    • 조중근
    • 조중근
    • B62B5/06
    • B62B5/069
    • A disposable sanitary sheet covering apparatus for a handle of shopping cart is provided to allow sanitary use of a shopping cart by exchanging its handle cover and to enhance advertisement effect through the phrases printed on the sanitary cover. A disposable sanitary sheet covering apparatus comprises: two housings(110,112) formed on both sides of body frame of a shopping cart; a handle(100) of shopping cart both ends of which are supported by the housing; a roll type sanitary sheet including cutting lines in a certain intervals of 1 pitch capable of wrapping the handle of cart; a sanitary sheet rolling implement(120) supported rotatably on the inside of the housing; and a driving implement(130) established on one side of the handle, which provides power for automatic operation of the sanitary sheet rolling implement.
    • 提供了一种用于购物车手柄的一次性卫生纸覆盖装置,以通过更换手柄盖来卫生使用购物车,并通过印在卫生罩上的短语来增强广告效果。 一次性卫生纸覆盖装置包括:形成在购物车的车体框架两侧的两个壳体(110,112) 其两端由所述壳体支撑的购物车的手柄(100) 卷筒式卫生纸,其包括能够包围推车手柄的1个间距的一定间隔的切割线; 可旋转地支撑在壳体内部的卫生纸滚动工具(120); 以及设置在手柄的一侧的驱动工具(130),其提供用于卫生板滚动工具的自动操作的动力。
    • 7. 发明授权
    • 카트 손잡이의 위생커버 교체장치
    • 装备手提包的手段
    • KR100805319B1
    • 2008-02-20
    • KR1020060112590
    • 2006-11-15
    • 조중근
    • 조중근
    • B62B5/06B62B5/00
    • B62B5/069B62B3/1408
    • A sanitary cover replacement apparatus for a shopping cart handle is provided to allow users to use a cart sanitarily in an airport or a shopping mall, etc, and to replace the used sanitary cover automatically by touching a switch. A sanitary cover replacement apparatus for a shopping cart handle comprises a cart handle(100), a housing(200), a sanitary cover, a rolling unit(400) for the sanitary cover, a driving unit and a sanitary cover cartridge(600). The cart handle with a pipe type is formed in an upper portion of a frame of a body. The housing is formed in both side ends of the cart handle, and includes a sending guide(220) for sending sanitary covers and a drawing guide(240) for drawing the sanitary covers. The sanitary cover with a roll type includes a cutting line in an outside circumference of the cart handle. The rolling unit for the sanitary cover is formed inside the housing so as to be rotated. The driving unit is arranged in one side or both side ends of the handle pipe. The sanitary cover cartridge is mounted with a roll rod for the sanitary cover in the inside.
    • 提供了一种用于购物车手柄的卫生间盖更换装置,以允许使用者在机场或商场等中卫生地使用手推车,并通过触摸开关来自动更换使用过的卫生间盖。 一种用于购物车手柄的卫生间盖更换装置,包括一个手推车手柄(100),一个壳体(200),一个卫生罩,一个用于卫生盖的滚动单元(400),一个驱动单元和一个卫生盖盒(600) 。 具有管型的推车手柄形成在主体的框架的上部。 壳体形成在手推车手柄的两个侧端,并且包括用于发送卫生罩的送出引导件(220)和用于抽出卫生罩的拉出引导件(240)。 具有辊型卫生罩包括在车把手的外圆周上的切割线。 用于卫生罩的滚动单元形成在壳体内以便旋转。 驱动单元布置在手柄管的一侧或两侧端。 卫生保护盖在内部安装有用于卫生罩的辊杆。
    • 8. 发明公开
    • 반도체 장비용 약액 공급 장치, 이를 위한 모니터링 제어장치 및 모니터링이 가능한 반도체 장비용 약액 공급 장치
    • 供应半导体设备的化学品监督化学品供应和供应化学品监测能力的规定
    • KR1020070120410A
    • 2007-12-24
    • KR1020060095445
    • 2006-09-29
    • 조현찬조중근김광선김두용
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • H01L21/304
    • A chemical supply apparatus for semiconductor equipment is provided to shorten an interval of process time and reduce the quantity of an unnecessarily wasted cleaning solution by including a chemical supply apparatus used in a cleaning process such that the chemical supply apparatus is an in-line system. A chemical valve(131) adjusts the quantity of supplied chemicals, connected to a chemical supply pipe. A DIW(deionized water) valve(132) adjusts the quantity of supplied DIW, connected to a DIW supply pipe. A chemical flowmeter(141) measures the quantity of supplied DIW flowing through the DIW supply pipe. A DIW flowmeter(142) measures the quantity of supplied DIW flowing through the DIW supply pipe. A mixture solution of the chemical and DIW flows through a mixture supply pipe connected to the end of the chemical supply pipe and the end of the DIW supply pipe. A heater block heats part of the mixture supply pipe. A DIW heater heats the end of the DIW supply pipe.
    • 提供了一种用于半导体设备的化学品供应装置,通过包括在化学品供给装置是在线系统的清洁处理中使用的化学品供应装置来缩短处理时间的间隔并减少不必要浪费的清洁溶液的量。 化学阀(131)调节连接到化学品供应管的供应化学品的数量。 DIW(去离子水)阀(132)调节与DIW供油管连接的DIW供应量。 化学流量计(141)测量流经DIW供应管道的DIW供应量。 DIW流量计(142)测量流经DIW供应管道的DIW供应量。 化学品和DIW的混合溶液流过连接到化学品供应管的端部和DIW供应管的端部的混合物供应管。 加热器块加热混合物供应管的一部分。 DIW加热器加热DIW供应管的末端。
    • 10. 发明公开
    • 데이터베이스 시스템 구축 방법
    • 如何建立数据库系统
    • KR1020070018409A
    • 2007-02-14
    • KR1020050073083
    • 2005-08-10
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • 김두용조현찬김광선조중근
    • G06F17/40
    • G06F17/30292G06F17/30604
    • 본 발명은 데이터베이스 구축방법에 관한 것이다. 다수의 공정으로 이루어진 시스템에서 시스템의 특정 공정이 변할 경우에도 해당 공정의 중요한 속성(ATTRIBUTE)들인 속성 A1, A2, … , An을 효과적으로 데이터베이스화 하여, 일관성 있고 논리적인 데이터베이스를 구축하는 방법에 있어서, 데이터베이스를 구축하고자 하는 시스템의 보편적인 주요 특징들을 다수의 엔티티(entity) ENTITY_1, ENTITY_2, … , ENTITY_M로 설정하는 단계; 상기 설정 뒤 ENTITY_1에 대해 다수의 하위 개념의 엔티티들을 ENTITY_1의 속성들에 해당하는 ENTITY_11, ENTITY_12, … , ENTITY_1L로 설정하는 단계; 및 상기 ENTITY_1의 하위 엔티티의 설정 뒤 ENTITY_1에 대해서와 같은 방식으로 ENTITY_2부터 ENTITY_M까지 차례로 각각의 하위 개념의 특성들을 다수개의 속성들로 설정하여 각각 별도의 데이터베이스에 저장하는 단계를 포함하여 이루어지는 것이 본 발명에 따른 데이터베이스 시스템 구축방법의 특징이다.
      본 발명을 반도체 약액 공급 장치와 관련된 공정간의 상호 관계를 이용한 최적화된 데이터베이스를 구축하는 경우를 포함하여 여러가지 분야에 적용할 수 있다. 그리고 다수의 공정으로 이루어진 시스템에서 어떤 공정의 변화가 일어나도 종래에 비해 데이터베이스 관리가 용이하고, 각 공정마다 분산되어 있는 데이터베이스를 쉽게 통합할 수 있다. 그리고 중복된 데이터에 의한 메모리 낭비를 최소화할 수 있으며, 데이터의 일관성을 유지하기가 용이하고, 효과적인 데이터 처리가 가능 하여 데이터 처리 속도를 향상시킬 수 있다. 아울러 본 발명에 의하면 효율적 데이터베이스 구성을 통해 전체 시스템 성능 향상에 기여할 수 있으며, 또한, 본 발명에 의해 구축된 데이터베이스는 약액 공급 제어 장치의 실시간 모니터링 시스템을 구축하는데 필요한 데이터베이스로 활용될 수 있다. 또한 본 발명에 의해 구축된 데이터베이스 시스템은 공정 상호간에 유기적인 관계(relation)를 효율적으로 갖고 있는 것이 특징이다.
      반도체, 데이터베이스, 약액, 웨이퍼, 엔티티, 세정, 제조공정.
    • 数据库构建方法本发明涉及数据库构建方法。 对于由多个进程组成的系统,即使系统的特定进程发生更改,属性ATTRIBUTE A1,A2,... 通过有效的数据库福,为建库,建库到系统的共同主要特征一致的和逻辑的方法,一些实体(实体)ENTITY_1,ENTITY_2,这... ,ENTITY_M; ENTITY_11,ENTITY_12,...,ENTITY_11对应于ENTITY_1的属性。 ,ENTITY_1L; 并且,本发明,其包括分别由从ENTITY_2设定的相同的方式,相应子集的特性,为了在许多性质相对于ENTITY_M到ENTITY_1的子实体的设置回ENTITY_1存储在单独的数据库中,所述步骤 以及根据本发明构建数据库系统的方法。