基本信息:
- 专利标题： 圖案形成方法
- 专利标题（英）：Method of forming pattern
- 专利标题（中）：图案形成方法
- 申请号：TW100133211 申请日：2011-09-15
- 公开(公告)号：TWI541617B 公开(公告)日：2016-07-11
- 发明人： 上村聰 , KAMIMURA, SOU , 山中司 , YAMANAKA, TSUKASA , 榎本雄一郎 , ENOMOTO, YUICHIRO , 加藤啟太 , KATO, KEITA
- 申请人： 富士軟片股份有限公司 , FUJIFILM CORPORATION
- 专利权人： 富士軟片股份有限公司,FUJIFILM CORPORATION
- 当前专利权人： 富士軟片股份有限公司,FUJIFILM CORPORATION
- 代理人： 詹銘文; 葉璟宗
- 优先权： 2010-210018 20100917;2011-196046 20110908
- 主分类号： G03F7/32
- IPC分类号： G03F7/32 ; H01L21/027
公开/授权文献:
- TW201214066A 圖案形成方法 METHOD OF FORMING PATTERN 公开/授权日：2012-04-01
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G03 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术 |
| ----G03F | 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备 |
| ------G03F7/00 | 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备 |
| --------G03F7/16 | .涂层处理及其设备 |
| ----------G03F7/30 | ..用液体消除影像的 |
| ------------G03F7/32 | ...所用的液体成分，例如，显影剂 |