基本信息:
- 专利标题： Compensation of Dose Inhomogeneity and Image Distortion.
- 申请号：NL2003304 申请日：2009-07-29
- 公开(公告)号：NL2003304A1 公开(公告)日：2010-02-09
- 发明人： PLATZGUMMER ELMAR , FRAGNER HEINRICH , CERNUSCA STEFAN
- 申请人： IMS NANOFABRICATION AG
- 专利权人： IMS NANOFABRICATION AG
- 当前专利权人： IMS NANOFABRICATION AG
- 优先权： EP08450121 2008-08-07
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01J37/317
公开/授权文献:
- NL2003304C2 COMPENSATION OF DOSE INHOMOGENEITY AND IMAGE DISTORTION. 公开/授权日：2010-09-14