基本信息:
- 专利标题： 역압대응이 가능한 티 모션 진자식 게이트밸브
- 专利标题（英）：T-motion pendulum-type gate valve with counter-pressure response
- 申请号：KR1020200009562 申请日：2020-01-24
- 公开(公告)号：KR102339882B1 公开(公告)日：2021-12-14
- 主分类号： F16K51/02
- IPC分类号： F16K51/02 ; F16K3/314 ; F16K3/06 ; F16K27/04 ; H01L21/02
摘要：
본발명은디스플레이제조공정이나반도체제조공정의진공장비구성에공정챔버와진공펌프사이의유체의흐름을제어하기위해설치되는진자식게이트밸브에대한것으로회전몸체의내경을압력공간의외경으로하고상부씰플레이트와하부씰플레이트의접촉면을압력공간의내경으로하고상,하부씰플레이트의회전몸체와수평면을경계로하는압력공간을마련하고압력에어의팽창으로상하씰 플레이트가회전몸체의중심선을기준으로대칭으로이동하여밸브본체와밀착하여유체통로를차단하고압력에어공급을중단시 스프링의복원력에의해복귀하는티모션(T-Motion)으로작동하여작동의안전성을높이며압력에어의압력으로상,하부씰플레이트이하우징플랜지와본체의하우징과각각밀착함으로역압대응이가능하고회전몸체내에하나의압력공간이존재함으로에어공급통로를하나만구비하여미끄럼구동부를최소화할 수있으며순서스프링을사용하여상,하부씰 플레이트의동작순서를정하고이를빔센서(Beam Sensor)로읽어밸브의오작동을방지할수 있으며미끄럼구동부의씰링체교체등의장치보수시 회전몸체를밸브하우징외곽의하우징커버내부로이동하고하우징커버제거후 미끄럼구동부의분해조립이가능함으로밸브를공정챔버와진공펌프와의분리하지않고미끄럼구동부및 씰링체의보수가가능하고회전몸체의직선운동없이회전운동만하여회전축을상,하베어링으로양단지지함으로씰 플레이트의처짐을최소화할 수있는구조를가진다. 회전축은랙 피니언구조와실린더의조합이나구동모터에연결되어회전몸체의회전운동력을부여하는구조를특징으로한다.
摘要（英）：
COPYRIGHT KIPO 2022
公开/授权文献:
- KR1020210095780A 역압대응이 가능한 티 모션 진자식 게이트밸브 公开/授权日：2021-08-03
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| F | 机械工程；照明；加热；武器；爆破 |
| --F16 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热 |
| ----F16K | 阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置 |
| ------F16K51/00 | 非专门用于特殊型式的阀或切断装置的其他部件 |
| --------F16K51/02 | .专门适用于高真空设备 |