基本信息:
- 专利标题： 증착막의 인-시튜 휨 측정이 가능한 반응기 및 그 측정방법
- 专利标题（英）：Reactor and method for in-situ measuring the bending of vapor deposited film
- 专利标题（中）：用于测量蒸汽沉积膜弯曲度的反应器和方法
- 申请号：KR1020110054464 申请日：2011-06-07
- 公开(公告)号：KR101256923B1 公开(公告)日：2013-04-19
- 发明人： 박현종 , 최준성 , 배준영 , 이원조 , 이동욱 , 박철민 , 신성환 , 김동현
- 申请人： 코닝정밀소재 주식회사
- 申请人地址： 충청남도 아산시 탕정면 만전당길 **
- 专利权人： 코닝정밀소재 주식회사
- 当前专利权人： 코닝정밀소재 주식회사
- 当前专利权人地址： 충청남도 아산시 탕정면 만전당길 **
- 代理人： 김선민
- 主分类号： G01B11/16
- IPC分类号： G01B11/16 ; H01L21/66
이를 위해, 본 발명에 따른 증착막의 인-시튜 휨 측정이 가능한 반응기는 반응기에 있어서, 반응관, 반응관으로 반응가스를 주입하기 위한 가스 주입부, 반응관에 존재하는 잔류 반응가스를 배출하기 위한 가스 배출부, 및 반응관 내의 하부에 위치되며 상·하를 관통하는 구멍이 뚫린 서셉터를 포함하도록 구성되어, 증착막(film)의 휨을 인-시튜로 측정함으로써, 증착막의 성장 진행 중에 발생하는 크랙이나 냉각 중에 발생하는 크랙의 발생 시간 및 조건을 정확하게 측정 가능하여 증착막의 성장 기술 개발 및 재현성 확보에 우수한 효과를 제공한다.
Relates to a vapor-deposited film of the deflection measurement is possible reactor and the measurement method in situ-deposited film of the present invention - more particularly, the deposition reaction proceeds among relates to a warp-situ reactor, the measurement is possible, and the measurement method.
For this purpose, the vapor-deposited film of according to the invention is possible reactor situ bending measurements according to the reactor, the reaction tube, the reaction tube by a gas injection unit for injecting a reaction gas, for discharging the remaining reaction gas in the reaction tube the gas exhaust portion, and the reaction tube bottom is located at the inside is configured to include a susceptor with a hole passing through the upper and the lower, the warp of the deposition layer (film) - by measuring in situ, the crack that occurs during the vapor deposition film growth proceeds and it can accurately measure the time of occurrence and the condition of cracking occurring during cooling and provides an excellent effect in the deposited film growth technology and ensure reproducibility.
公开/授权文献:
- KR1020120135640A 증착막의 인-시튜 휨 측정이 가능한 반응기 및 그 측정방법 公开/授权日：2012-12-17
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01B | 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 |
| ------G01B11/00 | 以采用光学方法为特征的计量设备 |
| --------G01B11/16 | .用于计量固体的变形，例如光学应变仪 |