基本信息:
- 专利标题： INERTIAL SENSOR WITH COUPLE SPRING FOR COMMON MODE REJECTION
- 专利标题（中）：具有共模抑制的共模抑制惯性传感器
- 申请号：EP16174422.2 申请日：2016-06-14
- 公开(公告)号：EP3106833A3 公开(公告)日：2017-05-03
- 发明人： Singer, Stefan , Gerster, Jochen , Herrmann, Stephan , Neff, Albrecht
- 申请人： NXP USA, Inc.
- 申请人地址： 6501 William Cannon Drive West Austin TX 78735 US
- 专利权人： NXP USA, Inc.
- 当前专利权人： NXP USA, Inc.
- 当前专利权人地址： 6501 William Cannon Drive West Austin TX 78735 US
- 代理机构： Freescale law department - EMEA patent ops
- 优先权： US201514742452 20150617
- 主分类号： G01C19/574
- IPC分类号： G01C19/574 ; G01P1/00 ; G01C19/5733
摘要：
A MEMS device includes a two spring systems coupling a pair of movable masses. Each of the spring systems includes a constrained stiff beam and a pair of flexures, where one flexure is directly coupled to one end of the stiff beam and to one of the movable masses and the other flexure is directly coupled to the opposing end of the stiff beam and to the other movable mass. In response to drive movement of the movable masses, the flexures enable pivotal movement the constrained stiff beams such that the stiff beams pivot in opposing directions about their center hinge points. This pivotal movement enables anti-phase linear oscillatory motion of the drive masses while substantially suppressing or otherwise rejecting in-phase motion of the movable masses.
摘要（中）：
MEMS器件包括耦合一对可移动质量的两个弹簧系统。 每个弹簧系统包括约束刚性梁和一对挠曲件，其中一个挠曲件直接联接到刚性梁的一端并且联接到一个可运动质量块，并且另一个挠曲件直接联接到刚性件的相对端 梁和另一个可移动的质量。 响应于可动质量块的驱动运动，挠曲件能够使受约束的刚性梁枢转运动，使得刚性梁围绕其中心铰接点在相反方向上枢转。 这种枢转运动使得驱动质量块的反相线性振荡运动成为可能，同时基本上抑制或以其他方式拒绝可动质量块的同相运动。
公开/授权文献:
- EP3106833A2 INERTIAL SENSOR WITH COUPLE SPRING FOR COMMON MODE REJECTION 公开/授权日：2016-12-21
IPC结构图谱:
| G | 物理 |
| --G01 | 测量；测试 |
| ----G01C | 测量距离、水准或者方位；勘测；导航；陀螺仪；摄影测量学或视频测量学 |
| ------G01C19/00 | 陀螺仪；带有振动部件的转动敏感装置；不带有运动部件的转动敏感装置 |
| --------G01C19/02 | .旋转式陀螺仪 |
| ----------G01C19/5705 | ..使用被驱动做绕轴往复旋转运动的部件 |
| ------------G01C19/5733 | ...结构细节或拓扑 |
| --------------G01C19/574 | ....反相运动中具有两个传感部件的装置 |